微纳动力微粒操作设备及芯片研发项目拟审查项目
微纳动力微粒操作设备及芯片研发项目拟审查项目
建设地点: (略) 昌平区高 (略) 2号楼1至6层101的5层、1层106室
公示时间:2024-09-14
受理时间:2024-09-03
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:废气:本项目硅片预清洗、清洗、光刻胶涂覆、显影等过程中产生的非*烷总烃,硅片预清洗过程中产生的硫酸雾,由通风橱负压收集+SDG+VOCs二级活性炭吸附装置处理(TA001)处理后,由1根27m排气筒(DA001)集中排放;PECVD薄膜沉积腔体清洁产生的氟化物,经管道密闭收集+POU尾气处理装置(TA002)+SDG+VOCs二级活性炭吸附箱(TA001)处理后,由1根27m排气筒(DA001)集中排放。废水:本项目研发过程中产生的实验废水经一体化污水处理设备处理后和生活污水一起排入领先基业大厦化粪池, (略) (略) 最终排入昌平区TBD再生水厂处理。噪声:噪声主要来源于设备和风机等设备运行产生的噪声,采取建筑隔声、基础减振、合理布局、低噪声设备等降噪措施。固体废物:生活垃圾由当地环卫部门统一清运处理;一般工业固体废物废金属靶材厂家回购,废玻璃片外售物资回收部门;危险废物废*酮、废无水*醇、废酸液、前两次清洗废水、废光刻胶、废PCB板、废芯片、废显影液、废活性炭和污泥暂存危废暂存间,定 (略) 处置。
公众参与情况:该项目已完成受理情况公示,公示期间未收到反馈意见
联系人:熊弘毅
联系电话:*
环评单位名称:北京中气 (略)
审批部门: (略) 昌平区生态环境局
邮政编码:*
邮寄地址: (略) (略) 15号
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
行政相对人名称:微纳动力(北京) (略)
建设地点: (略) 昌平区高 (略) 2号楼1至6层101的5层、1层106室
公示时间:2024-09-14
受理时间:2024-09-03
主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施:废气:本项目硅片预清洗、清洗、光刻胶涂覆、显影等过程中产生的非*烷总烃,硅片预清洗过程中产生的硫酸雾,由通风橱负压收集+SDG+VOCs二级活性炭吸附装置处理(TA001)处理后,由1根27m排气筒(DA001)集中排放;PECVD薄膜沉积腔体清洁产生的氟化物,经管道密闭收集+POU尾气处理装置(TA002)+SDG+VOCs二级活性炭吸附箱(TA001)处理后,由1根27m排气筒(DA001)集中排放。废水:本项目研发过程中产生的实验废水经一体化污水处理设备处理后和生活污水一起排入领先基业大厦化粪池, (略) (略) 最终排入昌平区TBD再生水厂处理。噪声:噪声主要来源于设备和风机等设备运行产生的噪声,采取建筑隔声、基础减振、合理布局、低噪声设备等降噪措施。固体废物:生活垃圾由当地环卫部门统一清运处理;一般工业固体废物废金属靶材厂家回购,废玻璃片外售物资回收部门;危险废物废*酮、废无水*醇、废酸液、前两次清洗废水、废光刻胶、废PCB板、废芯片、废显影液、废活性炭和污泥暂存危废暂存间,定 (略) 处置。
公众参与情况:该项目已完成受理情况公示,公示期间未收到反馈意见
联系人:熊弘毅
联系电话:*
环评单位名称:北京中气 (略)
审批部门: (略) 昌平区生态环境局
邮政编码:*
邮寄地址: (略) (略) 15号
传真电话:*
设定依据:1、《中华人民共和国环境保护法》第十九条、第四十一条、第六十一条、第六十三条。2、《中华人民共和国环境影响评价法》第二十二条、第二十三条、第二十四条、第二十五条。3、《中华人民共和国大气污染防治法》第十八条、第二十二条。4、《中华人民共和国水污染防治法》第十九条。5、《中华人民共和国环境噪声污染防治法》第十三条。6、《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》第十三条、第十四条。7、《中华人民共和国放射性污染防治法》第二十九条。8、《建设项目环境保护管理条例》第六条。
行政相对人名称:微纳动力(北京) (略)
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