杭州积海半导体有限公司新增三类射线装置的应用项目浙江省杭州市钱塘区东垦路811号
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杭州积海半导体有限公司新增三类射线装置的应用项目浙江省杭州市钱塘区东垦路811号
填表日期：2024-09-13
| 杭 (略) 新增三类射线装置的应用项目 | |||
| (略) 钱 (略) 811号 | *.27 | ||
| 杭 (略) | 陈忠国 | ||
| *.24 | * | ||
| 2025-01-01 | |||
| 新建 | |||
| 本项目电离辐射增加6种类型的15台Ⅲ类射线装置（其中离子注入装置1台、x射线衍射仪1台、原子力显微镜1台、扫描电镜1台、双束电镜8台、透射电子显微镜3台） ①.离子注入装置编号：IHCF103、装置名称：Extraction、型号：Hitek、品牌：AMAT、产地：美国、电压电流：100kv、安装位置：该机台位于主厂房FAB L50层 IHCF103机台的内部、使用目的：萃取、辐射装置措施：铅板防护。 ②. X射线衍射仪编号： VXDZ101、型号：7300LSI、品牌：Bruker、产地：以色列、电压电流：220V/30A、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 VXDZ101机台的内部、使用目的：量测、辐射装置措施：腔体内部量测，开门/开腔即停止。 ③.自动原子力显微镜编号： VAMZ101、型号：Insight AFP、品牌：Bruker、产地：美国、电压电流：220V/9.09A、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 VAMZ101机台的内部、使用目的：量测表面形貌、辐射装置措施：腔体内部量测，开门/开腔即停止。 ④. 扫描电镜编号：ASME101、型号：Verios 5 UC、品牌：Thermo fisher、产地：美国、电压电流：30KV/100nA、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 LAB实验室ASME101机台的内部、使用目的：量测工艺尺寸与成分组成、辐射装置措施：真空腔体量测，开腔即切断电源。 ⑤. 双束电镜共8台编号：*/ AFIE101/ AFCE101、型号：Helios 5 HX/ Helios 5 UX/ Helios 5 CX/ Helios 5 EXL、品牌：Thermo fisher、产地：美国、电压电流：30KV/100nA、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 LAB实验室及FAB L10层、使用目的：量测工艺尺寸与成分组成、辐射装置措施：真空腔体量测，开腔即切断电源。 ⑥. 透射电子显微镜共3台：*、型号：Spectra 200/Metrios AX、品牌：Thermo fisher、产地：美国、电压电流：200KV/50nA、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 LAB实验室、使用目的：量测工艺尺寸与成分组成、辐射装置措施：真空腔体量测，开腔即切断电源。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1.正常工况时: 上述机台内部有多重互锁装置及防止幅射外泄的隔离层保护所以无辐射外泄之可能性。2.事故工况时: 当上述互锁装置失效时仍能介由操作区与机台间的隔离门防止操作人员照射到外泄辐射。3.机台防护设计，射线装置设有独立的真空腔体，满足空间要求和辐射防护要求。4.采取的污染防治措施(自屏蔽装置设计参数)①屏壁金属层: 机台具有独立腔体，分别为暂存腔与分析腔.腔体内均有防止幅射外泄的屏壁金属层; ②隔离匣门: 样品传送区与暂存腔和分腔间各有一道隔离匣门且具有互锁功能;同一时间内只允许其中一道隔离匣门开启.否则会因互锁装置作动自动将X 射线的电源关闭.③铅玻璃金属门:操作区与样品传送区之间有铅玻璃金属门隔离.当上述互锁装置失效时仍能介由此隔离门防止操作人员照射到外泄辐射。5.警示标识：机台范围内设置黄色警戒线，告诫无关人员请勿靠近。二、安全管理措施1.有专职管理人员负责辐射安全管理。2.规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素和射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案。3.辐射事故应急措施。4.个人剂量检定（每三个月送检一次）并建立个人剂量档案；职业健康检查（每两年一次）并建立个人健康档案5.所有辐射工作人员参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
填表日期：2024-09-13
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| (略) 钱 (略) 811号 | *.27 | ||
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| 本项目电离辐射增加6种类型的15台Ⅲ类射线装置（其中离子注入装置1台、x射线衍射仪1台、原子力显微镜1台、扫描电镜1台、双束电镜8台、透射电子显微镜3台） ①.离子注入装置编号：IHCF103、装置名称：Extraction、型号：Hitek、品牌：AMAT、产地：美国、电压电流：100kv、安装位置：该机台位于主厂房FAB L50层 IHCF103机台的内部、使用目的：萃取、辐射装置措施：铅板防护。 ②. X射线衍射仪编号： VXDZ101、型号：7300LSI、品牌：Bruker、产地：以色列、电压电流：220V/30A、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 VXDZ101机台的内部、使用目的：量测、辐射装置措施：腔体内部量测，开门/开腔即停止。 ③.自动原子力显微镜编号： VAMZ101、型号：Insight AFP、品牌：Bruker、产地：美国、电压电流：220V/9.09A、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 VAMZ101机台的内部、使用目的：量测表面形貌、辐射装置措施：腔体内部量测，开门/开腔即停止。 ④. 扫描电镜编号：ASME101、型号：Verios 5 UC、品牌：Thermo fisher、产地：美国、电压电流：30KV/100nA、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 LAB实验室ASME101机台的内部、使用目的：量测工艺尺寸与成分组成、辐射装置措施：真空腔体量测，开腔即切断电源。 ⑤. 双束电镜共8台编号：*/ AFIE101/ AFCE101、型号：Helios 5 HX/ Helios 5 UX/ Helios 5 CX/ Helios 5 EXL、品牌：Thermo fisher、产地：美国、电压电流：30KV/100nA、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 LAB实验室及FAB L10层、使用目的：量测工艺尺寸与成分组成、辐射装置措施：真空腔体量测，开腔即切断电源。 ⑥. 透射电子显微镜共3台：*、型号：Spectra 200/Metrios AX、品牌：Thermo fisher、产地：美国、电压电流：200KV/50nA、安装位置：该机台位于主厂房FAB L10层 LAB实验室、使用目的：量测工艺尺寸与成分组成、辐射装置措施：真空腔体量测，开腔即切断电源。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1.正常工况时: 上述机台内部有多重互锁装置及防止幅射外泄的隔离层保护所以无辐射外泄之可能性。2.事故工况时: 当上述互锁装置失效时仍能介由操作区与机台间的隔离门防止操作人员照射到外泄辐射。3.机台防护设计，射线装置设有独立的真空腔体，满足空间要求和辐射防护要求。4.采取的污染防治措施(自屏蔽装置设计参数)①屏壁金属层: 机台具有独立腔体，分别为暂存腔与分析腔.腔体内均有防止幅射外泄的屏壁金属层; ②隔离匣门: 样品传送区与暂存腔和分腔间各有一道隔离匣门且具有互锁功能;同一时间内只允许其中一道隔离匣门开启.否则会因互锁装置作动自动将X 射线的电源关闭.③铅玻璃金属门:操作区与样品传送区之间有铅玻璃金属门隔离.当上述互锁装置失效时仍能介由此隔离门防止操作人员照射到外泄辐射。5.警示标识：机台范围内设置黄色警戒线，告诫无关人员请勿靠近。二、安全管理措施1.有专职管理人员负责辐射安全管理。2.规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、放射性同位素和射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案。3.辐射事故应急措施。4.个人剂量检定（每三个月送检一次）并建立个人剂量档案；职业健康检查（每两年一次）并建立个人健康档案5.所有辐射工作人员参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
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