备案项目编号:2409-*-04-05-*
项目名称:广东省科学院半导体研究所微纳加工平台建设项目
项目所在地: (略) 天河区五山街 (略) 161号（自编15栋一楼东北区、16栋一楼西南区、二楼东北区）
项目总投资:1500.*元
项目规模及内容:本项目主要从事半导体技术研发活动，年研发图形化薄膜200片；建设内容主要包括研发室、检测室、设备室、更衣室等，以及配套的公用辅助工程、环保工程等；建筑面积约201平方米，占地面积约186平方米；主要研发设备包括：1台电子束曝光机、1台有机清洗台、1台无机清洗台、1台匀胶通风橱、1台显微镜、以及1台台阶仪等。
建设单位: (略) 半导体研究所
备案机关: (略) 天河区发展和改革局
备案申报日期:2024/09/20 18:01:32
复核通过日期:2024-09-26
项目起止年限:2024-12-01至2025-02-01
项目当前状态:办结（通过）

备案项目编号:2409-*-04-05-*
项目名称:广东省科学院半导体研究所微纳加工平台建设项目
项目所在地: (略) 天河区五山街 (略) 161号（自编15栋一楼东北区、16栋一楼西南区、二楼东北区）
项目总投资:1500.*元
项目规模及内容:本项目主要从事半导体技术研发活动，年研发图形化薄膜200片；建设内容主要包括研发室、检测室、设备室、更衣室等，以及配套的公用辅助工程、环保工程等；建筑面积约201平方米，占地面积约186平方米；主要研发设备包括：1台电子束曝光机、1台有机清洗台、1台无机清洗台、1台匀胶通风橱、1台显微镜、以及1台台阶仪等。
建设单位: (略) 半导体研究所
备案机关: (略) 天河区发展和改革局
备案申报日期:2024/09/20 18:01:32
复核通过日期:2024-09-26
项目起止年限:2024-12-01至2025-02-01
项目当前状态:办结（通过）