安徽华鑫 (略) ：

你单位报批的《8英寸MEMS晶圆生产线项目环境影响报告表（重新报批）》（以下简称《报告表》）收悉。根据有关法律法规，结合专家技术评审意见，经研究后提出如下审批意见：

一、原则同意《报告表》结论。项目位于 (略) (略) 中国传感谷东侧地块，占地154亩，总投资(略)万元，项目一期建设内容环评已于2023年3月1 (略) 批复。因项目生产工艺、原辅用料及污染防治措施等建设内容调整，对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》，属于重大变动，需履行重新报批手续。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。

二、项目应重点做好以下工作：

（一）严格落实《报告表》中提出的大气污染防治措施。项目碱性废气（主要为氨）负压收集，经1#和2#酸液 (略) 理后，由48m高排气筒DA001、DA002排放（排气筒一用一备）。硫酸雾、盐酸雾负压收集，经3#-5#碱液 (略) 理后，由48m高排气筒(略)排放（排气筒两用一备）。氯气、一氧化二氮、非含砷工艺含氟废气收集后，经等离子水 (略) (略) 理后，再经密闭管道引入3#-5#碱液 (略) 理后，由48m高排气筒(略)排放（排气筒两用一备）。有机废气在各工序收集，经“沸石转轮+TO吸附燃烧”处理后，由48m高排气筒DA006、DA007排放（排气筒一用一备）。3台天然气锅炉采用低氮燃烧器，燃烧废气汇合后由48m高排气筒DA008排放。含砷工艺尾气收集后，经“设 (略) 理+干式吸附”处理后，由48m高排气筒DA009排放。1号危废库废气收集后，经一套“两级活性炭吸附” (略) 理后，由35米高排气筒DA010排放。2号危废库和3号危废库废气收集后，共用一套“两级活性炭吸附” (略) 理后，由15米高排气筒DA011排放。光刻废液储罐、废异(略)醇储罐呼吸废气收集后，经一套“两级活性炭吸附” (略) 理后，汇入48m高排气筒DA006、DA007排放排气（筒一用一备）。项目氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB (略)-1996）中表2的相关限值；非(略)烷总烃排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准-第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表1排放限值；异(略)醇、(略)酮排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准-第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表2排放限值；氨气执行《恶臭污染物排放标准》（(略)）中的限值；砷烷、磷烷排放参考《江苏省地方标准半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3标准限值；有 (略) 理系统中的二氧化硫、氮氧化物、颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB (略)-1996）中表2的相关限值；锅炉燃烧废气中颗粒物、二氧化硫排放执行《锅炉大气污染物排放标准》（(略)）表3限值，氮氧化物执行《安徽省2020年大气污染防治重点工作任务》（皖大气办〔2020〕2号）中不高于50mg/m3的要求。规范设置各类废气排放口。

项目设置230米的环境防护距离，防护距离范围内不得建设居民集 (略) 、医院、学校等环境敏感点，也不得引入对环境较为敏感的食品、医药、乳制品等企业。

（二）严格落实《报告表》中提出的废水污染防治措施。项目生活污水经化 (略) 理后， (略) (略) 。项目酸碱废水、有机废水、含氟废水、重金属废水等生产废水分质分类收集，经地 (略) 排入传感谷污 (略) (略) 理达标后， (略) 第 (略) 理厂。项目生产废水执行传感谷污 (略) 理中心相关接管限值，生活污 (略) 第 (略) 理厂污水接管要求。规范设置废水排放口。

（三）严格落实噪声污染防治措施。项目噪声源主要为风机、泵、锅炉以及其他生产设备，通 (略) 、选用低噪声设备、安装减震基座等措施降低噪声对环境的影响。项目施工期噪声排放执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（(略)）标准要求；营运期执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)）3类标准要求。

（四）按“资源化、减量化、无害化”原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。项目含氨废液、光刻废液、废异(略)醇、废硫酸、废盐酸、等液态危废，经密闭管道输送至液态 (略) ，交由有资 (略) 置。废树脂、废化学容器及沾染物、废过滤介质、废活性炭、废沸石、废矿物油、废油桶、含氟废液等危废暂存于危废库，委托有资 (略) 理。废包装材料收集至一般固废暂存间后，由当地环卫部门统 (略) 理。生活垃圾委托环卫部门定 (略) 置。项目危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（(略)）要求。

（五）认真落实《报告表》中提出的地下水、土壤污染防治措施。按报告表中要求严格 (略) 防渗措施，危废库、1号生产厂房内1层的集 (略) 、1号生产厂房3层、(略)(略)(略)类化学品仓库、事故池、废水收集管道等重 (略) 应采取重点防渗措施。1号生产厂房内除重 (略) (略) 域以及生产研发楼等一 (略) 应采取一般防渗措施。按照《报告表》中关于地下水、土壤防渗的设计要求落实重 (略) 防渗措施，确保不发生渗漏现象。

（六）项目运营期间，应建 (略) ，加强宣传与沟通工作，及时解决公众担忧的环境问题，满足公众合理的环境诉求。

（七）建立健全企业内部环境管理机制和环境管理体系，制定完善的环保规章制度。强化固定污染源和无组织排放源管理，制定自行监测方案，落实环境管理与监测计划，按规定开展自行监测和信息公开。

三、加强环境风险防控。按《报告表》要求落实各项环境风险防范措施，配备消防、应急材料，做好生产过程环保设施与风险防范设施的运行管理和维护，做好环保设施安全生产工作，严格按照操作规程操作，防止出现环境事故。制定完善突发事件环境风险应急预案，按规定报生态环境主管部门备案， (略) 构建应急联动响应机制，开展应急培训和演练，提高环境风险事故预防 (略) 理能力。按报告表要求设置1400m2事故应急池。

四、做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作。根据《排污许可管理条例》《固定污染源排污许可分类管理名录（2019年版）》等环保法律法规要求，在项目发生实际排污行为之前，你单位应按照要求办理排污许可手续。

五、项目实施中应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。项目竣工后，你单位应按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》 (略) 生态环境行政主管部门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作。

六、《报告表》批准后，若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

七、 (略) 经 (略) 生态环境保护综合行政执法大队负责该项目的监督检查和日常环境管理工作，确保项目按《报告表》及批复要求设计、施工和投入使用。

（企业统一社会信用代码：(略)MA8NT2BM6K）

2024年10月14日

安徽华鑫 (略) ：

你单位报批的《8英寸MEMS晶圆生产线项目环境影响报告表（重新报批）》（以下简称《报告表》）收悉。根据有关法律法规，结合专家技术评审意见，经研究后提出如下审批意见：

一、原则同意《报告表》结论。项目位于 (略) (略) 中国传感谷东侧地块，占地154亩，总投资(略)万元，项目一期建设内容环评已于2023年3月1 (略) 批复。因项目生产工艺、原辅用料及污染防治措施等建设内容调整，对照《污染影响类建设项目重大变动清单（试行）》，属于重大变动，需履行重新报批手续。在严格落实《报告表》提出的各项环保措施的前提下，我局原则同意《报告表》中所列建设项目的性质、规模、工艺、地点和拟采取的环境保护措施。

二、项目应重点做好以下工作：

（一）严格落实《报告表》中提出的大气污染防治措施。项目碱性废气（主要为氨）负压收集，经1#和2#酸液 (略) 理后，由48m高排气筒DA001、DA002排放（排气筒一用一备）。硫酸雾、盐酸雾负压收集，经3#-5#碱液 (略) 理后，由48m高排气筒(略)排放（排气筒两用一备）。氯气、一氧化二氮、非含砷工艺含氟废气收集后，经等离子水 (略) (略) 理后，再经密闭管道引入3#-5#碱液 (略) 理后，由48m高排气筒(略)排放（排气筒两用一备）。有机废气在各工序收集，经“沸石转轮+TO吸附燃烧”处理后，由48m高排气筒DA006、DA007排放（排气筒一用一备）。3台天然气锅炉采用低氮燃烧器，燃烧废气汇合后由48m高排气筒DA008排放。含砷工艺尾气收集后，经“设 (略) 理+干式吸附”处理后，由48m高排气筒DA009排放。1号危废库废气收集后，经一套“两级活性炭吸附” (略) 理后，由35米高排气筒DA010排放。2号危废库和3号危废库废气收集后，共用一套“两级活性炭吸附” (略) 理后，由15米高排气筒DA011排放。光刻废液储罐、废异(略)醇储罐呼吸废气收集后，经一套“两级活性炭吸附” (略) 理后，汇入48m高排气筒DA006、DA007排放排气（筒一用一备）。项目氟化物、氯化氢、氯气、硫酸雾排放执行《大气污染物综合排放标准》（GB (略)-1996）中表2的相关限值；非(略)烷总烃排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准-第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表1排放限值；异(略)醇、(略)酮排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准-第5部分：电子工业》（DB34/4812.5-2024）表2排放限值；氨气执行《恶臭污染物排放标准》（(略)）中的限值；砷烷、磷烷排放参考《江苏省地方标准半导体行业污染物排放标准》（DB32/3747-2020）表3标准限值；有 (略) 理系统中的二氧化硫、氮氧化物、颗粒物执行《大气污染物综合排放标准》（GB (略)-1996）中表2的相关限值；锅炉燃烧废气中颗粒物、二氧化硫排放执行《锅炉大气污染物排放标准》（(略)）表3限值，氮氧化物执行《安徽省2020年大气污染防治重点工作任务》（皖大气办〔2020〕2号）中不高于50mg/m3的要求。规范设置各类废气排放口。

项目设置230米的环境防护距离，防护距离范围内不得建设居民集 (略) 、医院、学校等环境敏感点，也不得引入对环境较为敏感的食品、医药、乳制品等企业。

（二）严格落实《报告表》中提出的废水污染防治措施。项目生活污水经化 (略) 理后， (略) (略) 。项目酸碱废水、有机废水、含氟废水、重金属废水等生产废水分质分类收集，经地 (略) 排入传感谷污 (略) (略) 理达标后， (略) 第 (略) 理厂。项目生产废水执行传感谷污 (略) 理中心相关接管限值，生活污 (略) 第 (略) 理厂污水接管要求。规范设置废水排放口。

（三）严格落实噪声污染防治措施。项目噪声源主要为风机、泵、锅炉以及其他生产设备，通 (略) 、选用低噪声设备、安装减震基座等措施降低噪声对环境的影响。项目施工期噪声排放执行《建筑施工场界环境噪声排放标准》（(略)）标准要求；营运期执行《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)）3类标准要求。

（四）按“资源化、减量化、无害化”原则，落实各类固体废物的收集、处置和综合利用措施。项目含氨废液、光刻废液、废异(略)醇、废硫酸、废盐酸、等液态危废，经密闭管道输送至液态 (略) ，交由有资 (略) 置。废树脂、废化学容器及沾染物、废过滤介质、废活性炭、废沸石、废矿物油、废油桶、含氟废液等危废暂存于危废库，委托有资 (略) 理。废包装材料收集至一般固废暂存间后，由当地环卫部门统 (略) 理。生活垃圾委托环卫部门定 (略) 置。项目危险废物执行《危险废物贮存污染控制标准》（(略)）要求。

（五）认真落实《报告表》中提出的地下水、土壤污染防治措施。按报告表中要求严格 (略) 防渗措施，危废库、1号生产厂房内1层的集 (略) 、1号生产厂房3层、(略)(略)(略)类化学品仓库、事故池、废水收集管道等重 (略) 应采取重点防渗措施。1号生产厂房内除重 (略) (略) 域以及生产研发楼等一 (略) 应采取一般防渗措施。按照《报告表》中关于地下水、土壤防渗的设计要求落实重 (略) 防渗措施，确保不发生渗漏现象。

（六）项目运营期间，应建 (略) ，加强宣传与沟通工作，及时解决公众担忧的环境问题，满足公众合理的环境诉求。

（七）建立健全企业内部环境管理机制和环境管理体系，制定完善的环保规章制度。强化固定污染源和无组织排放源管理，制定自行监测方案，落实环境管理与监测计划，按规定开展自行监测和信息公开。

三、加强环境风险防控。按《报告表》要求落实各项环境风险防范措施，配备消防、应急材料，做好生产过程环保设施与风险防范设施的运行管理和维护，做好环保设施安全生产工作，严格按照操作规程操作，防止出现环境事故。制定完善突发事件环境风险应急预案，按规定报生态环境主管部门备案， (略) 构建应急联动响应机制，开展应急培训和演练，提高环境风险事故预防 (略) 理能力。按报告表要求设置1400m2事故应急池。

四、做好环境影响评价制度与排污许可制衔接相关工作。根据《排污许可管理条例》《固定污染源排污许可分类管理名录（2019年版）》等环保法律法规要求，在项目发生实际排污行为之前，你单位应按照要求办理排污许可手续。

五、项目实施中应严格执行环境保护设施与主体工程同时设计、同时施工、同时投产使用的环境保护“三同时”制度。项目竣工后，你单位应按照《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》 (略) 生态环境行政主管部门规定的标准和程序，及时开展建设项目竣工环境保护验收工作。

六、《报告表》批准后，若建设项目的性质、规模、地点、采用的生产工艺或者防治污染、防止生态破坏的措施发生重大变动，你单位应当重新报批建设项目的环境影响评价文件。

七、 (略) 经 (略) 生态环境保护综合行政执法大队负责该项目的监督检查和日常环境管理工作，确保项目按《报告表》及批复要求设计、施工和投入使用。

（企业统一社会信用代码：(略)MA8NT2BM6K）

2024年10月14日