高纯电子气体项目一期环境影响报告书--审批前公示-102车间

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高纯电子气体项目一期环境影响报告书--审批前公示-102车间

根据建设项目环境影响评价审批的有关规定,经审查,我局拟对《六安先 (略) 高纯电子气体项目(一期)环境影响报告书》作出审批意见。为保证审批的严肃性、公正性及公众知情权,现将该项目环评文件基本情况予以公示。公示期为公示发布后五个工作日,如有意见,请于公示期内将书面 (略) (略) 环境影响评价与排放管理科。

联系电话:0564-(略) 地址: (略) (略) (略) (略) 政务服务中心

听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

一、项目名称:高纯电子气体项目(一期)

二、建设单位:六安先 (略)

三、建设地点:安徽省六安叶集 (略) ( (略) 以东、 (略) 以西、 (略) 以北、 (略) 以南)

四、项目基本情况

根据设计方案,厂区总占地约120亩,本次项目占地70亩。主要建设高纯电子气体产品生产线及配套工程设施,主要生 (略) 包括101车间、102车间、103车间、气体检测室;储运设施有201仓库、202仓库、203仓库、204仓库、205仓库、206仓库、207仓库、208仓库、 (略) 、 (略) 等;公用工程及辅助设施有综合楼、控制室、变配电室、公辅工程间、消防泵房等。新增产品生产能力:电子混合气(略)瓶(磷烷、(略)硼烷、锗烷、硅烷、(略)硅烷、(略)烷、(略)炔、(略)烷、氟气、(略)烷、惰性气体+氢气、氮气、氩气、二氧化碳、氖气、氪气、氙气等等平衡气);高纯气体分装5631.31吨/年(硅烷、氢气、一氧化二氮、二氧化碳、氧气、氦气、氮气/液氮、氩气/液氩等);储存经营氯气50吨/年、三氟化硼2吨/年、三(略)基铝2吨/年、三(略)基硼2吨/年、三氟化氮50吨/年。

五、产业政策符合性、规划符合性

(一)产业政策符合性

对照《产业结构调整指导目录(2024年本)》,本项目属于第一类“鼓励类”第十一项第7款“超净高纯试剂、光刻胶、电子气体、新型显示和先进封装材料等电子化学品及关键原料的开发与生产”。

(二)规划符合性

根据《安徽省人民政府关于同意认定第一批安徽省 (略) 的批复》(皖政秘[2021]93号,2021年4月19日),叶集经 (略) 化 (略) 更名为六安叶集 (略) ,规范面积为2.14平方公里。安徽六安叶集经 (略) 管委会组织编制了《六安叶集 (略) 总体规划(2020~2035)》,规划主导产业为化工新材料和精细化工。

本项目位于六安叶集 (略) (略) 以东、 (略) 以西、 (略) 以北、 (略) 以南, (略) 用地规划;拟建项目产品各类分装气体、各类混合气生产和储存经营类产品等属于C3985电子专用材料制造中的电子化工材料,满足六安叶集 (略) 空间准入要求,属于鼓励类项目。

因此,拟建项目与六安叶集 (略) 总体发展规划相符。

六、产污环节

本项目产品工艺流程可分为分装类和混配类两大类。

项目产污环节一览表

污染类别

产生工序

污染物

污染因子

备注

废气

102车间

一氧化二氮分装废气

氮氧化物

管道收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA001)排放

氟气混配工艺废气

氟化物

分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA001)排放

103车间

硅烷分装废气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、(略)硅烷混合气、锗烷混合气混配过程中的工艺废气

硅烷、磷化氢、(略)硼烷、(略)硅烷、锗烷

分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA002)排放

(略)烷混合气、(略)炔混合气、(略)烷混合气混配过程中的工艺废气

(略)烷、(略)炔、非(略)烷总烃

经分管收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA002)排放

磷化氢混氢管束

磷化氢混氢过程中的置换废气

磷化氢

经管道收集至103车间配套液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA002)排放

气体检测室

硅烷、硅烷混合气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、锗烷混合气、(略)硅烷混合气、(略)烷混合气气瓶检测废气

硅烷、磷化氢、(略)硼烷、(略)硅烷、锗烷、(略)硅烷、非(略)烷总烃

经管道收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高排气筒(DA003)排放

氟气混合气、一氧化二氮气瓶检测废气

氟化物、氮氧化物

经管道收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高排气筒(DA004)排放

废水

初期雨水

COD、BOD5、SS

(略) (略) 理 (略) 污水总排口接管叶集 (略) (略) 理厂

生活污水

COD、BOD5、SS、NH3-N

噪声

生产加工全过程

Laq

设备运行

/

固体废物

(略) 理

废吸附剂

/

委托有资 (略) 置

(略)

生活垃圾

/

环卫部门清运

七、主要污染防治措施

(一)施工期环境保护措施

项目施工期对外环境的影响主要表现为建设过程中产生的少量扬尘和噪声,避开夜间和午间施工、厂区采取洒水抑尘等措施,施工期对外环境的影响是短暂的,可以接受。

(二)营运期环境保护措施

1、大气环境:本项目大气污染物主要是车间产品生产过程的工艺废气和气体检测室的检测废气。

(1)102车间

①一氧化二氮分装过程中的工艺废气经分管收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA001排气筒达标排放。

②氟气混合气、惰性气体混合气混配过程中的工艺废气经分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA001排气筒达标排放。

(2)103车间

①硅烷分装废气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、(略)硅烷混合气锗烷混合气混配过程中的工艺废气经分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA002排气筒达标排放;

②(略)烷混合气、(略)炔混合气、(略)烷混合气混配过程中的工艺废气经分管收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA002排气筒达标排放。

③磷化氢混氢过程中,产生的置换废气,经管道收集至103车间配套液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA002排气筒达标排放。

(3)气体检测室

①硅烷、硅烷混合气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、锗烷混合气、(略)硅烷混合气、(略)烷混合气气瓶检测废气经收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高的DA003排气筒达标排放。

②氟气混合气、一氧化二氮气瓶检测废气经收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高的DA004排气筒达标排放。

2、地表水环境:本项目采用雨污分流制,雨水经 (略) (略) ,污水进 (略) 。本项目废水主要初期雨水及生活污水。生活污水进入化粪池后与生产废水一 (略) (略) 理站,由 (略) (略) ,纳入叶集 (略) (略) 理 (略) 理。

3、声环境:噪声污染主要来自设备噪声、风机及各类水泵等,建设单位选用低噪声设备、设置减震垫等措施。

4、固体废弃物:本项目危险固体废物主要 (略) 理产生的废吸附剂,收集至危废库后委托有资质单 (略) 理。生活垃圾由环卫部门统 (略) 置。

八、环境防护距离

综合考虑大气环境防护距离、卫生防护距离及环境风险等因素,综合考虑本项目项目性质与对周边环境影响程度,项目建成后全厂环境防护距离确定为:以厂界为执行边界600m的范围。项目环境防护距离内 (略) 、学校、医院等环境敏感目标分布,满足环境防护距离要求。

九、环境风险

厂区拟设1座初期雨水收集池(规模为900m3),用于初期雨水的收集,初期 (略) 理后排放,规模能够满足初期雨水最大产生量。事故池规模为1300m3,高程 (略) 低,厂区事故废水能够通过导流渠自流进入,配套切换阀,确保事故废水不排入外环境。厂区设立突发环境事 (略) 置小组,配备突发事件环境风险应急物资,编制突发事件风险应急预案,并定期演练。

十、总量指标

项目建成后排放大气污染物总量控制指标为NOx:0.005t/a、非(略)烷总烃:0.(略) t/a,总量较小,不需要申请总量。废水中COD、(略)不需申请总量。

十一、环评总体结论

六安先 (略) 高纯电子气体项目(一期)符合国家产业政策,符合六安叶集 (略) 总体发展规划(2020~2030年)及规划环评要求,符合“三线一单”及国家和地方相关政策要求。项目采用了先进的生产工艺,符合清洁生产要求。在落实相应污染防治措施的前提下,各项污染物可以做到达标排放,排放的主要污染物可以满足总量控制指标要求,不 (略) 域环境质量的原有功能级别。在采取相应环境风险防范措施后,环境风险可接受。

因此,本评价认为,项目在建设和生产运行过程中,在严格执行“三同时”制度、落实环评报告中提出的各项污染防治措施的前提下,从环境影响角度,项目建设是可行的。

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根据建设项目环境影响评价审批的有关规定,经审查,我局拟对《六安先 (略) 高纯电子气体项目(一期)环境影响报告书》作出审批意见。为保证审批的严肃性、公正性及公众知情权,现将该项目环评文件基本情况予以公示。公示期为公示发布后五个工作日,如有意见,请于公示期内将书面 (略) (略) 环境影响评价与排放管理科。

联系电话:0564-(略) 地址: (略) (略) (略) (略) 政务服务中心

听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

一、项目名称:高纯电子气体项目(一期)

二、建设单位:六安先 (略)

三、建设地点:安徽省六安叶集 (略) ( (略) 以东、 (略) 以西、 (略) 以北、 (略) 以南)

四、项目基本情况

根据设计方案,厂区总占地约120亩,本次项目占地70亩。主要建设高纯电子气体产品生产线及配套工程设施,主要生 (略) 包括101车间、102车间、103车间、气体检测室;储运设施有201仓库、202仓库、203仓库、204仓库、205仓库、206仓库、207仓库、208仓库、 (略) 、 (略) 等;公用工程及辅助设施有综合楼、控制室、变配电室、公辅工程间、消防泵房等。新增产品生产能力:电子混合气(略)瓶(磷烷、(略)硼烷、锗烷、硅烷、(略)硅烷、(略)烷、(略)炔、(略)烷、氟气、(略)烷、惰性气体+氢气、氮气、氩气、二氧化碳、氖气、氪气、氙气等等平衡气);高纯气体分装5631.31吨/年(硅烷、氢气、一氧化二氮、二氧化碳、氧气、氦气、氮气/液氮、氩气/液氩等);储存经营氯气50吨/年、三氟化硼2吨/年、三(略)基铝2吨/年、三(略)基硼2吨/年、三氟化氮50吨/年。

五、产业政策符合性、规划符合性

(一)产业政策符合性

对照《产业结构调整指导目录(2024年本)》,本项目属于第一类“鼓励类”第十一项第7款“超净高纯试剂、光刻胶、电子气体、新型显示和先进封装材料等电子化学品及关键原料的开发与生产”。

(二)规划符合性

根据《安徽省人民政府关于同意认定第一批安徽省 (略) 的批复》(皖政秘[2021]93号,2021年4月19日),叶集经 (略) 化 (略) 更名为六安叶集 (略) ,规范面积为2.14平方公里。安徽六安叶集经 (略) 管委会组织编制了《六安叶集 (略) 总体规划(2020~2035)》,规划主导产业为化工新材料和精细化工。

本项目位于六安叶集 (略) (略) 以东、 (略) 以西、 (略) 以北、 (略) 以南, (略) 用地规划;拟建项目产品各类分装气体、各类混合气生产和储存经营类产品等属于C3985电子专用材料制造中的电子化工材料,满足六安叶集 (略) 空间准入要求,属于鼓励类项目。

因此,拟建项目与六安叶集 (略) 总体发展规划相符。

六、产污环节

本项目产品工艺流程可分为分装类和混配类两大类。

项目产污环节一览表

污染类别

产生工序

污染物

污染因子

备注

废气

102车间

一氧化二氮分装废气

氮氧化物

管道收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA001)排放

氟气混配工艺废气

氟化物

分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA001)排放

103车间

硅烷分装废气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、(略)硅烷混合气、锗烷混合气混配过程中的工艺废气

硅烷、磷化氢、(略)硼烷、(略)硅烷、锗烷

分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA002)排放

(略)烷混合气、(略)炔混合气、(略)烷混合气混配过程中的工艺废气

(略)烷、(略)炔、非(略)烷总烃

经分管收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA002)排放

磷化氢混氢管束

磷化氢混氢过程中的置换废气

磷化氢

经管道收集至103车间配套液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高排气筒(DA002)排放

气体检测室

硅烷、硅烷混合气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、锗烷混合气、(略)硅烷混合气、(略)烷混合气气瓶检测废气

硅烷、磷化氢、(略)硼烷、(略)硅烷、锗烷、(略)硅烷、非(略)烷总烃

经管道收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高排气筒(DA003)排放

氟气混合气、一氧化二氮气瓶检测废气

氟化物、氮氧化物

经管道收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高排气筒(DA004)排放

废水

初期雨水

COD、BOD5、SS

(略) (略) 理 (略) 污水总排口接管叶集 (略) (略) 理厂

生活污水

COD、BOD5、SS、NH3-N

噪声

生产加工全过程

Laq

设备运行

/

固体废物

(略) 理

废吸附剂

/

委托有资 (略) 置

(略)

生活垃圾

/

环卫部门清运

七、主要污染防治措施

(一)施工期环境保护措施

项目施工期对外环境的影响主要表现为建设过程中产生的少量扬尘和噪声,避开夜间和午间施工、厂区采取洒水抑尘等措施,施工期对外环境的影响是短暂的,可以接受。

(二)营运期环境保护措施

1、大气环境:本项目大气污染物主要是车间产品生产过程的工艺废气和气体检测室的检测废气。

(1)102车间

①一氧化二氮分装过程中的工艺废气经分管收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA001排气筒达标排放。

②氟气混合气、惰性气体混合气混配过程中的工艺废气经分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA001排气筒达标排放。

(2)103车间

①硅烷分装废气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、(略)硅烷混合气锗烷混合气混配过程中的工艺废气经分管收集后汇总至“液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA002排气筒达标排放;

②(略)烷混合气、(略)炔混合气、(略)烷混合气混配过程中的工艺废气经分管收集后汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA002排气筒达标排放。

③磷化氢混氢过程中,产生的置换废气,经管道收集至103车间配套液氮深冷回收” (略) 理后,汇总至车间配套的1套“干式吸附” (略) 理后经25m高的DA002排气筒达标排放。

(3)气体检测室

①硅烷、硅烷混合气、磷化氢混合气、(略)硼烷混合气、锗烷混合气、(略)硅烷混合气、(略)烷混合气气瓶检测废气经收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高的DA003排气筒达标排放。

②氟气混合气、一氧化二氮气瓶检测废气经收集后汇总至1套“干式吸附” (略) 理后经15m高的DA004排气筒达标排放。

2、地表水环境:本项目采用雨污分流制,雨水经 (略) (略) ,污水进 (略) 。本项目废水主要初期雨水及生活污水。生活污水进入化粪池后与生产废水一 (略) (略) 理站,由 (略) (略) ,纳入叶集 (略) (略) 理 (略) 理。

3、声环境:噪声污染主要来自设备噪声、风机及各类水泵等,建设单位选用低噪声设备、设置减震垫等措施。

4、固体废弃物:本项目危险固体废物主要 (略) 理产生的废吸附剂,收集至危废库后委托有资质单 (略) 理。生活垃圾由环卫部门统 (略) 置。

八、环境防护距离

综合考虑大气环境防护距离、卫生防护距离及环境风险等因素,综合考虑本项目项目性质与对周边环境影响程度,项目建成后全厂环境防护距离确定为:以厂界为执行边界600m的范围。项目环境防护距离内 (略) 、学校、医院等环境敏感目标分布,满足环境防护距离要求。

九、环境风险

厂区拟设1座初期雨水收集池(规模为900m3),用于初期雨水的收集,初期 (略) 理后排放,规模能够满足初期雨水最大产生量。事故池规模为1300m3,高程 (略) 低,厂区事故废水能够通过导流渠自流进入,配套切换阀,确保事故废水不排入外环境。厂区设立突发环境事 (略) 置小组,配备突发事件环境风险应急物资,编制突发事件风险应急预案,并定期演练。

十、总量指标

项目建成后排放大气污染物总量控制指标为NOx:0.005t/a、非(略)烷总烃:0.(略) t/a,总量较小,不需要申请总量。废水中COD、(略)不需申请总量。

十一、环评总体结论

六安先 (略) 高纯电子气体项目(一期)符合国家产业政策,符合六安叶集 (略) 总体发展规划(2020~2030年)及规划环评要求,符合“三线一单”及国家和地方相关政策要求。项目采用了先进的生产工艺,符合清洁生产要求。在落实相应污染防治措施的前提下,各项污染物可以做到达标排放,排放的主要污染物可以满足总量控制指标要求,不 (略) 域环境质量的原有功能级别。在采取相应环境风险防范措施后,环境风险可接受。

因此,本评价认为,项目在建设和生产运行过程中,在严格执行“三同时”制度、落实环评报告中提出的各项污染防治措施的前提下,从环境影响角度,项目建设是可行的。

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