项目名称：

长飞先进第三代半导体产线技改项目

建设地点：

(略) (略) (略) 82号

建设单位：

安徽长飞先 (略)

环评机构：

南大环境规 (略) (江苏)有限公司。

公示时间

2024.10.29-2024.11.5

项目概况：

不新增用地，不新增构筑物，对现有研发方案中*片/年的碳化硅半导体芯片和*片/年的氮化镓半导体芯片进行研发工艺的改进，提高研发产品的质量，优化研发产品的结构，研发产能保持不变。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1.地表水环境：落实雨污分流制度。厂区排水实行雨污分流，经厂 (略) (略) 理后的废水和生活污水、纯水制备废水、冷却塔废水、锅炉软水制备废水和锅炉排水、工艺设备冷却废水等废 (略) (略)

2.大气环境：离子注入工艺废气、干法刻蚀工艺废气、化学气相沉积工艺废气经过PS装置与盐酸雾、硫酸雾、磷酸雾、硝酸雾、氟化物等经酸 (略) 理系统两级碱液喷淋 (略) 理后依托现有1根25m高的酸性废气排气筒（DA001）达标排放；外延生长废气（氯化氢、*烷、*烯）经PS装置后经过碱液 (略) 理，经1根25m高的排气筒（DA008）达标排放；碱洗、氮化镓外延生长产生的氨气依托现有碱 (略) 理系统酸液喷淋 (略) 理后依托现有1根25m高的碱性废气排气筒（DA003）排放；有机清洗、光刻、去胶、划片等工序产生的有机废气（异*醇、*酮、N-*基吡咯烷酮、*醇等）依托企业现有的沸石转轮焚 (略) 理后经1根25m高的有机废气排气筒（DA002）达标排放；TO助燃废气（氮氧化物、二氧化硫、颗粒物）依托有机废气排气筒达标排放；依托现有天然气锅炉燃烧废气经低氮 (略) 理后依托企业现有的1根25m高的锅炉废气排气筒（DA007）达标排放；污水站产生的废气（硫化氢、氨气）经酸喷淋+碱喷淋后依托企业现有的1根25m高的污水站废气排气筒（DA005）达标排放。

3.声环境：选用低噪设备，合理安排施工机械安放位置和施工时间，并针对性采取隔声消声、减振、距离衰减等措施降低噪声。

4.固体废物：建设一般固废和危险废物暂存库，一般固废经收集后，暂存于固废仓库，收集后外售；危险废物储存于危废仓库内，定期交由有资 (略) 置。生活垃圾交由环卫部门统一清运。

5.环境风险：强化环境风险防范和应急措施。

公众参与情况：

\

有关部门意见：

\

公众反馈意见的联系方式

受理部门：

(略) 民服务中心生态环境窗口

联系电话

0553-*

通讯地址

邮编

*

项目名称：

长飞先进第三代半导体产线技改项目

建设地点：

(略) (略) (略) 82号

建设单位：

安徽长飞先 (略)

环评机构：

南大环境规 (略) (江苏)有限公司。

公示时间

2024.10.29-2024.11.5

项目概况：

不新增用地，不新增构筑物，对现有研发方案中*片/年的碳化硅半导体芯片和*片/年的氮化镓半导体芯片进行研发工艺的改进，提高研发产品的质量，优化研发产品的结构，研发产能保持不变。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施：

1.地表水环境：落实雨污分流制度。厂区排水实行雨污分流，经厂 (略) (略) 理后的废水和生活污水、纯水制备废水、冷却塔废水、锅炉软水制备废水和锅炉排水、工艺设备冷却废水等废 (略) (略)

2.大气环境：离子注入工艺废气、干法刻蚀工艺废气、化学气相沉积工艺废气经过PS装置与盐酸雾、硫酸雾、磷酸雾、硝酸雾、氟化物等经酸 (略) 理系统两级碱液喷淋 (略) 理后依托现有1根25m高的酸性废气排气筒（DA001）达标排放；外延生长废气（氯化氢、*烷、*烯）经PS装置后经过碱液 (略) 理，经1根25m高的排气筒（DA008）达标排放；碱洗、氮化镓外延生长产生的氨气依托现有碱 (略) 理系统酸液喷淋 (略) 理后依托现有1根25m高的碱性废气排气筒（DA003）排放；有机清洗、光刻、去胶、划片等工序产生的有机废气（异*醇、*酮、N-*基吡咯烷酮、*醇等）依托企业现有的沸石转轮焚 (略) 理后经1根25m高的有机废气排气筒（DA002）达标排放；TO助燃废气（氮氧化物、二氧化硫、颗粒物）依托有机废气排气筒达标排放；依托现有天然气锅炉燃烧废气经低氮 (略) 理后依托企业现有的1根25m高的锅炉废气排气筒（DA007）达标排放；污水站产生的废气（硫化氢、氨气）经酸喷淋+碱喷淋后依托企业现有的1根25m高的污水站废气排气筒（DA005）达标排放。

3.声环境：选用低噪设备，合理安排施工机械安放位置和施工时间，并针对性采取隔声消声、减振、距离衰减等措施降低噪声。

4.固体废物：建设一般固废和危险废物暂存库，一般固废经收集后，暂存于固废仓库，收集后外售；危险废物储存于危废仓库内，定期交由有资 (略) 置。生活垃圾交由环卫部门统一清运。

5.环境风险：强化环境风险防范和应急措施。

公众参与情况：

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有关部门意见：

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公众反馈意见的联系方式

受理部门：

(略) 民服务中心生态环境窗口

联系电话

0553-*

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