光刻机先进光学加工与装调中心备案
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光刻机先进光学加工与装调中心备案
| 项目名称 | 光刻机先进光学加工与装调中心 | ||
| 建设内容及规模 | 以中国蔡司光学工厂为目标，完善先进光学加工能力，建立相应的精密检测与光刻整机的总装能力。主要针对先进光刻机，项目对于环境要求高，防微振等级需达VC-E标准，局部环境温度控制精度在±0.02℃。对应的加工与检测设备精度均在纳米范围。项目建成后将成为中国在大口径、复杂曲面、高精度光学加工基地 | ||
| 项目代码 | 2411-*-04-05-* | 项目单位 | 联光元和（孝感） (略) |
| 法人代表姓名 | 严祥军 | 项目单位性质 | 私营企业 |
| 所 (略) 划 | 项目所属行业 | 高技术/ | |
| 总投资 | * | 建设性质 | 新建 |
| 拟开工时间 | 2024-12 | 备案证状态 | 有效 |
| 申报日期 | 2024-11-12 16:06:19 |
| 项目名称 | 光刻机先进光学加工与装调中心 | ||
| 建设内容及规模 | 以中国蔡司光学工厂为目标，完善先进光学加工能力，建立相应的精密检测与光刻整机的总装能力。主要针对先进光刻机，项目对于环境要求高，防微振等级需达VC-E标准，局部环境温度控制精度在±0.02℃。对应的加工与检测设备精度均在纳米范围。项目建成后将成为中国在大口径、复杂曲面、高精度光学加工基地 | ||
| 项目代码 | 2411-*-04-05-* | 项目单位 | 联光元和（孝感） (略) |
| 法人代表姓名 | 严祥军 | 项目单位性质 | 私营企业 |
| 所 (略) 划 | 项目所属行业 | 高技术/ | |
| 总投资 | * | 建设性质 | 新建 |
| 拟开工时间 | 2024-12 | 备案证状态 | 有效 |
| 申报日期 | 2024-11-12 16:06:19 |
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