根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我局拟对《半导体外延材料产业化项目环境影响报告书》作出审批意见。为保证审批意见的严肃性和公正性，现将该项目环境响评价文件的基本情况予以公示。公示期为5个工作日。若对本项目建设有不同意见，请于公示期内将书面意见 (略) (略) 行政审批服务科。

联系电话：0550-(略)

地址： (略) 龙蟠大道 (略) 数据 (略) （市政务 (略) ） (略) 窗口（(略)）

一、项目名称

半导体外延材料产业化项目

二、建设地点

(略) (略) (略) 666号

三、建设单位

安徽晶 (略)

四、环境影响评价机构

(略)

五、项目概况

该项目位于 (略) (略) (略) 666号，占地面积约250亩，总投资(略)万元，新建厂房(略)平方米，购置CVD等设备，设计年产6英寸、8英寸硅外延片(略)片、4英寸碳化硅外延片(略)片。

六、主要环境预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、项目设计实施中，应进一步优化本项目主体工程、公用工程、储运工程及污染防治设施的工程设计，采用先进的生产工艺、装备 (略) 理工艺，提高清洁生产水平，减少各类污染物排放。

2、落实《报告书》提出的废气污染防治措施。加强生产工艺废气 (略) 理，生产、输送、储存过程采用密闭或负 (略) 理，严格控制无组织排放，定期开展泄漏检测工作，按规范要求设置废气排放口。硅外延炉产生废气经三级水喷淋系 (略) 理后，分别通过25m排气筒（DA001~DA288）排入大气环境；硅外延片检测中产生的碱性废气，经负压密闭收集后通入二级酸洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA289排放，硅外延片检测中产生的酸性废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA290排放；硅外延片碱洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级酸洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA289排放；硅外延片酸洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA290排放；硅外延片干燥产生的废气，经负压密闭收集后经过二级活性炭纤维装置后通过现有25m排气筒DA291排放；碳化硅外延炉产生废气经三级水喷淋系 (略) 理后，分别通过25m排气筒（DA292~DA499）排入大气环境；碳化硅外延片碱洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级酸洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA500排放；碳化硅外延片酸洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA501排放；碳化硅外延片干燥产生的废气，经负压密闭收集后经过二级活性炭纤维装置后通过现有25m排气筒DA502排放；外延炉石英件清洗中产生的废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA290排放；氯化氢站和三氯氢硅站内酸性排气经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA503排放；危废固废库 (略) 域，收集的废气经二级水 (略) 理后由15m高排气筒DA504排放； (略) 理站废气密闭收集后通入二级酸碱洗涤塔，处理后通过1根15高排气筒DA505排放；锅炉天然气燃烧废气经锅炉自带水冷预混低氮燃 (略) 理后由25m高排气筒DA506排放；食堂油烟经油烟 (略) 理后经烟道至顶楼排放。生产工艺及储运过程中产生的颗粒物、盐酸酸雾（以氯化氢计）和氢氟酸酸雾（以氟化物计）、氮氧化物排放执行《大气污染物综合排放标准》（(略)）表2中大气污染物排放限值要求；非(略)烷总烃、异(略)醇排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/4812.5-2024）中排放限值；厂界非(略)烷总烃无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（(略)）中限值，厂区内挥发性有机物无组织排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/4812.5-2024）表 (略) 内VOCs无组织排放限值；NH3、H2S、臭气浓度排放参照执行《恶臭污染物排放标准》（(略)）相关限值要求；食堂油烟执行《饮食业油烟排放标准（试行）》（(略)）标准大型规模要求。锅炉燃烧废气执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB (略)-2014）表3中特别排放限值标准，其中氮氧化物按照《 (略) 锅炉及工业炉窑综合整治工作方案》（滁大气办〔2019〕19号文）的要求，排放浓度不高于50mg/m3。

3、落实《报告书》提出的废水污染防治措施。厂区实行雨污分流、清污分流，项目污水采用分类收集、 (略) 理，按规范要求设置废水排放口。生活污水包括食堂废水经隔油池+化 (略) (略) (略) ，生产废水中含氟废水进入含 (略) 理系统，含氮废水进入含氮废水系统，纯水站浓水、循环冷却水排水、废气治理设施废水、锅炉排水等进入综 (略) 理系统，生产废水 (略) (略) 理后与生活 (略) (略) 接入省 (略) (略) 工业专 (略) 理 (略) 理，处理达标后经汪郢河排入滁河，废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（(略)）表1间接排放限值、表2单位产品基准排水量要求和省 (略) (略) 工业专 (略) 理厂接管限值要求，氯化物排放执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T (略)-2015）中表一B级标准要求。

4、落实《报告书》提出的噪声污染防治措施。项目应选用低噪声设备，对噪声源采 (略) 、安装减振消声设施等措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)）表1 (略) 标准要求。

5、落实《报告书》提出的固体废物污染防治措施。加强固体废物的环境管理，分类收集固体废物。落实危险废物厂内暂存措施 (略) 置措施，防止二次污染，危险废物暂存场所建设应符合《危险废物贮存污染控制标准》（(略)）有关规定。化学品包装、废活性炭、 (略) 理膜、废矿物油、含油抹布及手套、废汞、废酸、废铅蓄电池等危险废物需委托有资 (略) 理处置；其他一般固体废物 (略) 理处置。

七、相关部门意见

项目备案表（代码：2401-(略)-04-01-(略)）

(略) (略) 生 (略) 预审意见（2024年5月27日）

八、听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。

根据建设项目环境影响评价审批程序的有关规定，我局拟对《半导体外延材料产业化项目环境影响报告书》作出审批意见。为保证审批意见的严肃性和公正性，现将该项目环境响评价文件的基本情况予以公示。公示期为5个工作日。若对本项目建设有不同意见，请于公示期内将书面意见 (略) (略) 行政审批服务科。

联系电话：0550-(略)

地址： (略) 龙蟠大道 (略) 数据 (略) （市政务 (略) ） (略) 窗口（(略)）

一、项目名称

半导体外延材料产业化项目

二、建设地点

(略) (略) (略) 666号

三、建设单位

安徽晶 (略)

四、环境影响评价机构

(略)

五、项目概况

该项目位于 (略) (略) (略) 666号，占地面积约250亩，总投资(略)万元，新建厂房(略)平方米，购置CVD等设备，设计年产6英寸、8英寸硅外延片(略)片、4英寸碳化硅外延片(略)片。

六、主要环境预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1、项目设计实施中，应进一步优化本项目主体工程、公用工程、储运工程及污染防治设施的工程设计，采用先进的生产工艺、装备 (略) 理工艺，提高清洁生产水平，减少各类污染物排放。

2、落实《报告书》提出的废气污染防治措施。加强生产工艺废气 (略) 理，生产、输送、储存过程采用密闭或负 (略) 理，严格控制无组织排放，定期开展泄漏检测工作，按规范要求设置废气排放口。硅外延炉产生废气经三级水喷淋系 (略) 理后，分别通过25m排气筒（DA001~DA288）排入大气环境；硅外延片检测中产生的碱性废气，经负压密闭收集后通入二级酸洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA289排放，硅外延片检测中产生的酸性废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA290排放；硅外延片碱洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级酸洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA289排放；硅外延片酸洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA290排放；硅外延片干燥产生的废气，经负压密闭收集后经过二级活性炭纤维装置后通过现有25m排气筒DA291排放；碳化硅外延炉产生废气经三级水喷淋系 (略) 理后，分别通过25m排气筒（DA292~DA499）排入大气环境；碳化硅外延片碱洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级酸洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA500排放；碳化硅外延片酸洗产生的废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA501排放；碳化硅外延片干燥产生的废气，经负压密闭收集后经过二级活性炭纤维装置后通过现有25m排气筒DA502排放；外延炉石英件清洗中产生的废气，经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA290排放；氯化氢站和三氯氢硅站内酸性排气经负压密闭收集后通入二级碱洗洗涤塔，处理后通过25m排气筒DA503排放；危废固废库 (略) 域，收集的废气经二级水 (略) 理后由15m高排气筒DA504排放； (略) 理站废气密闭收集后通入二级酸碱洗涤塔，处理后通过1根15高排气筒DA505排放；锅炉天然气燃烧废气经锅炉自带水冷预混低氮燃 (略) 理后由25m高排气筒DA506排放；食堂油烟经油烟 (略) 理后经烟道至顶楼排放。生产工艺及储运过程中产生的颗粒物、盐酸酸雾（以氯化氢计）和氢氟酸酸雾（以氟化物计）、氮氧化物排放执行《大气污染物综合排放标准》（(略)）表2中大气污染物排放限值要求；非(略)烷总烃、异(略)醇排放执行安徽省地方标准《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/4812.5-2024）中排放限值；厂界非(略)烷总烃无组织排放执行《大气污染物综合排放标准》（(略)）中限值，厂区内挥发性有机物无组织排放执行《固定源挥发性有机物综合排放标准 第5部分：电子工业》（DB 34/4812.5-2024）表 (略) 内VOCs无组织排放限值；NH3、H2S、臭气浓度排放参照执行《恶臭污染物排放标准》（(略)）相关限值要求；食堂油烟执行《饮食业油烟排放标准（试行）》（(略)）标准大型规模要求。锅炉燃烧废气执行《锅炉大气污染物排放标准》（GB (略)-2014）表3中特别排放限值标准，其中氮氧化物按照《 (略) 锅炉及工业炉窑综合整治工作方案》（滁大气办〔2019〕19号文）的要求，排放浓度不高于50mg/m3。

3、落实《报告书》提出的废水污染防治措施。厂区实行雨污分流、清污分流，项目污水采用分类收集、 (略) 理，按规范要求设置废水排放口。生活污水包括食堂废水经隔油池+化 (略) (略) (略) ，生产废水中含氟废水进入含 (略) 理系统，含氮废水进入含氮废水系统，纯水站浓水、循环冷却水排水、废气治理设施废水、锅炉排水等进入综 (略) 理系统，生产废水 (略) (略) 理后与生活 (略) (略) 接入省 (略) (略) 工业专 (略) 理 (略) 理，处理达标后经汪郢河排入滁河，废水排放执行《电子工业水污染物排放标准》（(略)）表1间接排放限值、表2单位产品基准排水量要求和省 (略) (略) 工业专 (略) 理厂接管限值要求，氯化物排放执行《污水排入城镇下水道水质标准》（GB/T (略)-2015）中表一B级标准要求。

4、落实《报告书》提出的噪声污染防治措施。项目应选用低噪声设备，对噪声源采 (略) 、安装减振消声设施等措施，确保厂界噪声符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)）表1 (略) 标准要求。

5、落实《报告书》提出的固体废物污染防治措施。加强固体废物的环境管理，分类收集固体废物。落实危险废物厂内暂存措施 (略) 置措施，防止二次污染，危险废物暂存场所建设应符合《危险废物贮存污染控制标准》（(略)）有关规定。化学品包装、废活性炭、 (略) 理膜、废矿物油、含油抹布及手套、废汞、废酸、废铅蓄电池等危险废物需委托有资 (略) 理处置；其他一般固体废物 (略) 理处置。

七、相关部门意见

项目备案表（代码：2401-(略)-04-01-(略)）

(略) (略) 生 (略) 预审意见（2024年5月27日）

八、听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证。