半导体制造装备生产项目竣工环境保护验收主体工作由浙江联 (略) 组织，浙江 (略) 作为项目检测单位，协助进行本次竣工环境保护验收公示工作，对项目竣工环境保护验收监测报告及自主验收意见进行公开。

根据《建设项目环境保护管理条例》和《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》要求，2024年11月19日，我公司邀请相关单位人员及专家组成验收工作组，根据《浙江联 (略) 半导体制造装备生产项目先行竣工环境保护验收监测表》，严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响评价报告表和审批部门审批意见等要求对本项目进行验收现场检查，提出现场检查意见，会后我司按照意见积极进行整改，现公司项目情况如下：

一、工程建设基本情况

（一）建设地点、规模、主要建设内容

我公司购得丽水南城七百秧F-12-3-4工业地块使用权（现“ (略) (略) 南明山 (略) 2-1号”），总用地面积#m2，计划新建厂房、综合楼等设施，规划总建筑面积#.57m²。项目主要采用先进的生产技术，购置自动提升机、MFC校准仪、颗粒检测仪、氦质谱检测仪等设备，形成年产半导体芯片设备100台套的生产能力（不含机械加工）。

（二）建设过程及环保审批情况

我司于2022年12 (略) (略) 编制了《浙江联 (略) 半导体制造装备生产项目环境影响登记表》，并于同年12月12日取得了项目备案通知书（丽环建备-开[2022]104号）。

本项目于2022年12月开工建设，2024年8月完成建设并进行试运行。2024年11月进行排污许可登记，编号：#MABNNLUJ#Y。

（三）投资情况

本项目总投资#万元，其中环保投资#元，占总投资的0.30%。

（四）验收范围

为该项目的先行验收。

二、工程变动情况

根据现场调查和资料查阅，项目建设内容与环评及批复基本一致，本次验收不包括金加工，为先行验收。

三、环境保护设施落实情况

（一）废水

项目废水主要为生活污水，经化 (略) 理后 (略) (略) 。冷却水循环使用。

（二）废气

项目产生的废气主要为装卸扬，为无组织排放。

（三）噪声

项目噪声主要来自各机械设备运作噪声。通 (略) 和选用低噪设备等措施来降低设备运行时产生的噪声以及减少对周边环境的影响。

（四）固废

项目固废主要为不合格零件和生活垃圾。不合格零件外售进行综合利用；生活垃圾委托环卫部门清运。

四、环境保护设施调试效果

根据项目《竣工环境保护验收监测报告》：

1、废水

验收监测期间，项目废水总排放口中pH值范围、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量排放浓度均符合《污水综合排放标准》（#）中三级标准要求，其中氨氮、总磷符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）要求。

2、废气

验收监测期间，厂界无组织废气总悬浮颗粒物排放浓度符合《大气污染物综合排放标准》（#）无组织排放浓度限值要求。

3、噪声

验收监测期间，项目厂界南侧、西侧和昼间噪声均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（#）中3类标准要求，东侧、北侧能达到4类标准要求。

五、自主验收结论

依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评[2017]4号），我公司半导体制造装备生产项目环保手续齐全。根据《浙江联 (略) 半导体制造装备生产项目（先行）竣工环境保护验收监测表》等资料及环境保护设施现场检查情况，本项目基本按照建设项目环境保护“三同时”的有关要求落实了各项环境保护设施与措施。同时，我司已根据检查组意见积极落实各项措施，我公司认为，可以通过半导体制造装备生产项目先行竣工环境保护验收，并按要求公示验收情况。

公示起止日期：2024年12月2日-2024年12月27日

联系人/电话：李拯亚/#

联芯半导体设备先行验收监测表.pdf

半导体制造装备生产项目竣工环境保护验收主体工作由浙江联 (略) 组织，浙江 (略) 作为项目检测单位，协助进行本次竣工环境保护验收公示工作，对项目竣工环境保护验收监测报告及自主验收意见进行公开。

根据《建设项目环境保护管理条例》和《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》要求，2024年11月19日，我公司邀请相关单位人员及专家组成验收工作组，根据《浙江联 (略) 半导体制造装备生产项目先行竣工环境保护验收监测表》，严格依照国家有关法律法规、建设项目竣工环境保护验收技术规范、本项目环境影响评价报告表和审批部门审批意见等要求对本项目进行验收现场检查，提出现场检查意见，会后我司按照意见积极进行整改，现公司项目情况如下：

一、工程建设基本情况

（一）建设地点、规模、主要建设内容

我公司购得丽水南城七百秧F-12-3-4工业地块使用权（现“ (略) (略) 南明山 (略) 2-1号”），总用地面积#m2，计划新建厂房、综合楼等设施，规划总建筑面积#.57m²。项目主要采用先进的生产技术，购置自动提升机、MFC校准仪、颗粒检测仪、氦质谱检测仪等设备，形成年产半导体芯片设备100台套的生产能力（不含机械加工）。

（二）建设过程及环保审批情况

我司于2022年12 (略) (略) 编制了《浙江联 (略) 半导体制造装备生产项目环境影响登记表》，并于同年12月12日取得了项目备案通知书（丽环建备-开[2022]104号）。

本项目于2022年12月开工建设，2024年8月完成建设并进行试运行。2024年11月进行排污许可登记，编号：#MABNNLUJ#Y。

（三）投资情况

本项目总投资#万元，其中环保投资#元，占总投资的0.30%。

（四）验收范围

为该项目的先行验收。

二、工程变动情况

根据现场调查和资料查阅，项目建设内容与环评及批复基本一致，本次验收不包括金加工，为先行验收。

三、环境保护设施落实情况

（一）废水

项目废水主要为生活污水，经化 (略) 理后 (略) (略) 。冷却水循环使用。

（二）废气

项目产生的废气主要为装卸扬，为无组织排放。

（三）噪声

项目噪声主要来自各机械设备运作噪声。通 (略) 和选用低噪设备等措施来降低设备运行时产生的噪声以及减少对周边环境的影响。

（四）固废

项目固废主要为不合格零件和生活垃圾。不合格零件外售进行综合利用；生活垃圾委托环卫部门清运。

四、环境保护设施调试效果

根据项目《竣工环境保护验收监测报告》：

1、废水

验收监测期间，项目废水总排放口中pH值范围、悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量排放浓度均符合《污水综合排放标准》（#）中三级标准要求，其中氨氮、总磷符合《工业企业废水氮、磷污染物间接排放限值》（DB33/887-2013）要求。

2、废气

验收监测期间，厂界无组织废气总悬浮颗粒物排放浓度符合《大气污染物综合排放标准》（#）无组织排放浓度限值要求。

3、噪声

验收监测期间，项目厂界南侧、西侧和昼间噪声均达到《工业企业厂界环境噪声排放标准》（#）中3类标准要求，东侧、北侧能达到4类标准要求。

五、自主验收结论

依据《建设项目竣工环境保护验收暂行办法》（国环规环评[2017]4号），我公司半导体制造装备生产项目环保手续齐全。根据《浙江联 (略) 半导体制造装备生产项目（先行）竣工环境保护验收监测表》等资料及环境保护设施现场检查情况，本项目基本按照建设项目环境保护“三同时”的有关要求落实了各项环境保护设施与措施。同时，我司已根据检查组意见积极落实各项措施，我公司认为，可以通过半导体制造装备生产项目先行竣工环境保护验收，并按要求公示验收情况。

公示起止日期：2024年12月2日-2024年12月27日

联系人/电话：李拯亚/#

联芯半导体设备先行验收监测表.pdf