友达光电昆山有限公司X射线静电消除仪及离子注入机应用项目江苏省苏州市昆山市经济技术开发区龙腾路6号
友达光电昆山有限公司X射线静电消除仪及离子注入机应用项目江苏省苏州市昆山市经济技术开发区龙腾路6号
填表日期:2024-11-05
友达光电(昆山)有限公司X射线静电消除仪及离子注入机应用项目 | |||
(略) (略) 经济技 (略) (略) 6号 | (略) | ||
友达光电(昆山)有限公司 | 柯富仁 | ||
(略) | 30 | ||
2024-12-01 | |||
新建 | |||
一、建设内容 A栋阵列工程使用X射线静电消除仪及离子注入机。 二、建设规模 1、使用 Head L9491/Controller C(略)型X射线静电消除仪(最大管电压 9.5kV,最大管电流150uA,数量 12 台); 2、使用SXB-05/10 Series型X射线静电消除仪(最大管电压 12.5kV,最大管电流150uA,数量 1 台); 3、使用iG6代离子注入机(最大管电压 80kV,最大管电流110 mA,数量 6 台); 射线装置具体使用位置:X射线静电消除仪使用地点位于薄膜工程车间,离子注入机使用地点位于蚀刻工程车间。 | |||
环保措施: 一、污染防治措施 1、警示标识:公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明,并且安装工作警示灯,设备工作时开启警示灯,告诫无关人员勿靠近照射场地;2、屏蔽防护措施:X射线静电消除仪及离子注入机均与机台Interlock进行联动,设备全自动运转时无需人员作业,当进行维修保养时须对射线装置进行关闭后才可实行运作;或者发现故障时,射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器:公司为10名辐射工作人员配备个人剂量计,配备1台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理2、规章制度:操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案3、辐射事故应急措施4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案5、10人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
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填表日期:2024-11-05
友达光电(昆山)有限公司X射线静电消除仪及离子注入机应用项目 | |||
(略) (略) 经济技 (略) (略) 6号 | (平方米) | (略) | |
友达光电(昆山)有限公司 | 柯富仁 | ||
(略) | 30 | ||
2024-12-01 | |||
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一、建设内容 A栋阵列工程使用X射线静电消除仪及离子注入机。 二、建设规模 1、使用 Head L9491/Controller C(略)型X射线静电消除仪(最大管电压 9.5kV,最大管电流150uA,数量 12 台); 2、使用SXB-05/10 Series型X射线静电消除仪(最大管电压 12.5kV,最大管电流150uA,数量 1 台); 3、使用iG6代离子注入机(最大管电压 80kV,最大管电流110 mA,数量 6 台); 射线装置具体使用位置:X射线静电消除仪使用地点位于薄膜工程车间,离子注入机使用地点位于蚀刻工程车间。 | |||
环保措施: 一、污染防治措施 1、警示标识:公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明,并且安装工作警示灯,设备工作时开启警示灯,告诫无关人员勿靠近照射场地;2、屏蔽防护措施:X射线静电消除仪及离子注入机均与机台Interlock进行联动,设备全自动运转时无需人员作业,当进行维修保养时须对射线装置进行关闭后才可实行运作;或者发现故障时,射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器:公司为10名辐射工作人员配备个人剂量计,配备1台辐射监测仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理2、规章制度:操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案3、辐射事故应急措施4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案5、10人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
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