新增V类放射源项目安徽省合肥市新站高新技术产业开发区合肥综合保税区内西淝河路88号
新增V类放射源项目安徽省合肥市新站高新技术产业开发区合肥综合保税区内西淝河路88号
填表日期:2024-11-21
合肥晶 (略) (略) 新增V类放射源项目 | |||
(略) 新站高新技术产 (略) 合肥综 (略) (略) 88号 | 4 | ||
合肥晶 (略) (略) | 蔡国智 | ||
570 | 5.7 | ||
2025-03-04 | |||
新建 | |||
一、建设内容: 我司于制程使用Ⅴ类放射源机台,用于晶圆盒内部气体成分定量分析,从而保证制程的良率。 二、建设规模: 1、我司目前6台X射线衍射仪、29台离子植入机、1台含V类放射源设备,已取得辐射安全许可证, 近期因生产需要将新增晶圆盒内部气体分析仪1台,型号为QUP301(核素为Ni-63),数量共计1台。 三、射线装置具体使用位置:使用地点位于皖芯生产车间洁净室洗 (略) 作使用。 | |||
环保措施: 1.机台年度监测按照规定办理,于厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测。2.我司已建立辐射安全管理及防护小组,负责本单位的辐射安全及防护工作,针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行定期检测辐射剂量、作业人员培训等,建立相关计划及制度,以达到完善管理及监督之目的。3.设备于安装、测试、维护之过程中皆遵守设备安装标准程序,以利于辐射防护管理和控制,并于设 (略) 张贴辐射警示标语及图标作为提示。4.辐射作业人员均配个人辐射剂量片,定期送有资质检测机构进行检测,检测结果均邮件形式告知各辐射作业人员。5.人员于操作前须完成法规要求辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程,均由经过考试合格的人员操作。6.我司每年进行辐射事件应急演练,演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。 | |||
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填表日期:2024-11-21
合肥晶 (略) (略) 新增V类放射源项目 | |||
(略) 新站高新技术产 (略) 合肥综 (略) (略) 88号 | (平方米) | 4 | |
合肥晶 (略) (略) | 蔡国智 | ||
570 | 5.7 | ||
2025-03-04 | |||
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一、建设内容: 我司于制程使用Ⅴ类放射源机台,用于晶圆盒内部气体成分定量分析,从而保证制程的良率。 二、建设规模: 1、我司目前6台X射线衍射仪、29台离子植入机、1台含V类放射源设备,已取得辐射安全许可证, 近期因生产需要将新增晶圆盒内部气体分析仪1台,型号为QUP301(核素为Ni-63),数量共计1台。 三、射线装置具体使用位置:使用地点位于皖芯生产车间洁净室洗 (略) 作使用。 | |||
环保措施: 1.机台年度监测按照规定办理,于厂内定期实施辐射作业人员个人剂量监测和工作场所辐射剂量监测。2.我司已建立辐射安全管理及防护小组,负责本单位的辐射安全及防护工作,针对辐射工作人员的健康、个人剂量及工作场所及放射设备进行定期检测辐射剂量、作业人员培训等,建立相关计划及制度,以达到完善管理及监督之目的。3.设备于安装、测试、维护之过程中皆遵守设备安装标准程序,以利于辐射防护管理和控制,并于设 (略) 张贴辐射警示标语及图标作为提示。4.辐射作业人员均配个人辐射剂量片,定期送有资质检测机构进行检测,检测结果均邮件形式告知各辐射作业人员。5.人员于操作前须完成法规要求辐射防护专业培训及厂内设备操作训练、安全操作规程,均由经过考试合格的人员操作。6.我司每年进行辐射事件应急演练,演练结束之后针对演练内容及演练过程进行总结。 | |||
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