心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目分期

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心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目分期

项目名称
心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目（分期）
项目名称
心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目（分期）
建设单位
上海心芯相 (略)
所属行业
研究和试验发展
建设地点
(略) (略) (略) 泥 (略) 1568号
项目基本信息
上海心芯相 (略) (略) (略) (略) 1568号10号厂房建设“心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目”，主要从事28纳米及以下先进铜互连工艺设备的研发，不涉及设备生产，研发使用晶圆3000片／年（进行约#片（次）研发试验），晶圆回收可以回收晶圆 5000 片（次）／年。
设计单位
河北生 (略) 上海分公司
计划开工日期
2023-11-01
环评项目登记号
／
环评批文文号
沪自贸临管环保许评[2023]49 号
环评批文日期
2023-05-30
联系人
金明臻
联系电话
电子邮箱
*@*ystech-innova.com
实际开工日期
2023-11-01
实际开工日期
2023-11-01
施工期环保措施落实情况（pdf）
施工期环保落实措施.pdf 点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
2024-07-20
竣工日期
2024-07-20
开始调试日期
2024-07-20
联系人
金明臻
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
环保落实措施.pdf 点击下载
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
项目名称
心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目（分期）
项目名称
心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目（分期）
建设单位
上海心芯相 (略)
所属行业
研究和试验发展
建设地点
(略) (略) (略) 泥 (略) 1568号
项目基本信息
上海心芯相 (略) (略) (略) (略) 1568号10号厂房建设“心芯相连先进铜互连工艺设备研发与制造一期项目”，主要从事28纳米及以下先进铜互连工艺设备的研发，不涉及设备生产，研发使用晶圆3000片／年（进行约#片（次）研发试验），晶圆回收可以回收晶圆 5000 片（次）／年。
设计单位
河北生 (略) 上海分公司
计划开工日期
2023-11-01
环评项目登记号
／
环评批文文号
沪自贸临管环保许评[2023]49 号
环评批文日期
2023-05-30
联系人
金明臻
联系电话
电子邮箱
*@*ystech-innova.com
实际开工日期
2023-11-01
实际开工日期
2023-11-01
施工期环保措施落实情况（pdf）
施工期环保落实措施.pdf 点击下载
施工期环境监测结果（pdf）
开始调试日期
2024-07-20
竣工日期
2024-07-20
开始调试日期
2024-07-20
联系人
金明臻
联系电话
非重大调整报告（pdf）
环保措施落实情况（pdf）
环保落实措施.pdf 点击下载
公示起始日期
公示起始日期
验收报告
    
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