杭州富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目一期浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号滨富合作区
杭州富芯12英寸模拟集成电路芯片生产线项目一期浙江省杭州市富阳区灵桥镇滨富大道135号滨富合作区
填表日期:2024-12-20
杭州富芯12英寸模 (略) 芯片生产线项目(一期) | |||
(略) (略) 灵桥镇滨富大道135号(滨 (略) ) | # | ||
杭 (略) | 李荐民 | ||
# | # | ||
2025-02-10 | |||
新建 | |||
一、建设内容:本项目 (略) 制造,拟建设12英寸、加工精度90-55n (略) 芯片生产线。本次洁净车间新增10台射线装置; 二、建设规模:1.本次新增10台射线装置使用规模:VIIsta 900XPT 三台,最大萃取电压80kv;VIIsta HCS一台,最大萃取电压60kv;Pruion XE 四台,最大萃取电压90kv;Pruion VXE 一台,最大萃取电压90kv;VIIsta Trident XP2 一台,最大萃取电压80kv。使用位置均在洁净车间扩散部离子 (略) 域。2. 原有射线装置使用规模:已安装使用射线装置7台(已办理辐射安全许可证)。 | |||
环保措施: 环保措施:环保措施:一、污染防护措施:1.防护设计:依据《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》(#)等要求,本项目中已安装并使用的7台射线装置和本次新增的10台射线装置均设置在洁净车间内,均具有单独 (略) 域,满足使用设备的空间要求和辐射防护要求,洁净 (略) 合理;2.警示标识:每台设备均设置有工作指示灯和电离辐射标志并有中文说明。3.通风设置:洁净车间内采用新风系统排风进行空气更新,符合设计标准要求;4.防护用品和监测仪器:本项目设备配备有个人剂量计26个,个人辐射剂量报警仪1个。二、安全管理措施:1.有专职管理人员负责辐射安全管理;2.规则制度:辐射防护和安全保卫制度、操作规程、岗位职责、设备检修维护制度、人员培训制度、监测方案;3.有辐射事故应急措施;4.个人剂量监测、职业健康体检,并建立个人剂量档案和个人健康档案;5.参加辐射安全和防护知识培训 。 | |||
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填表日期:2024-12-20
杭州富芯12英寸模 (略) 芯片生产线项目(一期) | |||
(略) (略) 灵桥镇滨富大道135号(滨 (略) ) | (平方米) | # | |
杭 (略) | 李荐民 | ||
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2025-02-10 | |||
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一、建设内容:本项目 (略) 制造,拟建设12英寸、加工精度90-55n (略) 芯片生产线。本次洁净车间新增10台射线装置; 二、建设规模:1.本次新增10台射线装置使用规模:VIIsta 900XPT 三台,最大萃取电压80kv;VIIsta HCS一台,最大萃取电压60kv;Pruion XE 四台,最大萃取电压90kv;Pruion VXE 一台,最大萃取电压90kv;VIIsta Trident XP2 一台,最大萃取电压80kv。使用位置均在洁净车间扩散部离子 (略) 域。2. 原有射线装置使用规模:已安装使用射线装置7台(已办理辐射安全许可证)。 | |||
环保措施: 环保措施:环保措施:一、污染防护措施:1.防护设计:依据《电离辐射防护与辐射源安全基本标准》(#)等要求,本项目中已安装并使用的7台射线装置和本次新增的10台射线装置均设置在洁净车间内,均具有单独 (略) 域,满足使用设备的空间要求和辐射防护要求,洁净 (略) 合理;2.警示标识:每台设备均设置有工作指示灯和电离辐射标志并有中文说明。3.通风设置:洁净车间内采用新风系统排风进行空气更新,符合设计标准要求;4.防护用品和监测仪器:本项目设备配备有个人剂量计26个,个人辐射剂量报警仪1个。二、安全管理措施:1.有专职管理人员负责辐射安全管理;2.规则制度:辐射防护和安全保卫制度、操作规程、岗位职责、设备检修维护制度、人员培训制度、监测方案;3.有辐射事故应急措施;4.个人剂量监测、职业健康体检,并建立个人剂量档案和个人健康档案;5.参加辐射安全和防护知识培训 。 | |||
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