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绍兴比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目浙江省绍兴市袍江开发区浙江省绍兴市越城区马山街道马山路168号地块
填表日期：2024-12-25
| 绍兴比亚迪半导体离子注入机X射线装置应用项目 | |||
| (略) 袍 (略) (略) (略) 马山 (略) 168号（PJ-02-D-1）地块 | # | ||
| 绍兴 (略) | 陈刚 | ||
| # | 30 | ||
| 2025-02-01 | |||
| 新建 | |||
| 绍兴比亚迪半导体新增22台离子注入机X射线装置应用项目 使用的22台离子注入机放置在绍兴比亚迪半导体FAB车间前道工序离 (略) 域 22台离子注入机情况如下： 3 台 Axcelis punon M 注入机的管电压 900Kv，管电流 500ua，用于前道工序芯片离子注入。 12 台 Applied vlsta 900 3D 注入机的管电压 900KV，管电流 1.5ma，用于前道工序芯片离子 注入。 1台Apphed vlsta javlin 注入机的管电压 900Ky,管电流 1.5ma,用于前道工序芯片离子注入。 5台ULVACIH-86OPSICI注入机的管电压 900KV，管电流 1ma,用于前道工序芯片离子注入。 1台中科信 CI-S400A5 注入机的管电压 900KV，管电流 1.5ma，用于前道工序芯片离了注入。 | |||
| 环保措施: 环保措施:一?辐射影响防治措施1源项控制:设备有较为完善的辐射防护措施， (略) 域有铅板进行防护，并 (略) 域的工作环境要求为真空状态，如出现漏缝，空气进 (略) ，高能电子束无法开启，也不会伴随辐射产生。注入机通电运行时有联锁装置无法打开铅门，只有在断电后联锁装置才会释放才能打开防护门。机身前后四周及内部设有紧急停止按钮，异常情况下周围工作人员可立即切断电源。2距离防护:离 (略) 域X射线装置工作场所设置明显的电离辐射警示标志，设备上安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯及工作状态指示灯，告诫无关人员勿靠近此场所。射线装 (略) 域与设 (略) 隔离，防止无关人员进入。3屏蔽防护措施:注入机进行离子注入时芯片均在装置内部进行操作，主射线不朝向机门，设离子源部分，束线管道部分设有铅板防护，设备机身门板含有铅板进行屏蔽防护。二 规范管理1根据相关辐射安全管理规定，进行日常管理，并根据辐射事故应急预案组织定期演练。2根据公司设备维护保养和检修规范，由专职工程师定期保养维护和安全检查。3有专职管理人员负责辐射安全管理4防护用品和监测仪器:公司为30名辐射工作人员配备30只个人剂量计（具体人数视日后产线生产情况需求而定），1台辐射监测仪。5有辐射工作人员的职业安全档案，个人剂量贴每季度按时送检并建立个人剂量档案，辐射工作人员按照法规进 (略) 定期对全体辐射工作人员进行辐射安全和防护知识培训。三 噪声影响本射线装置工作时将产生一定的噪声，其噪声值小于60db，经装置机壳及车间墙壁隔声，工作环境满足声环境要求。 | |||
填表日期：2024-12-25
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| 绍兴 (略) | 陈刚 | ||
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| 绍兴比亚迪半导体新增22台离子注入机X射线装置应用项目 使用的22台离子注入机放置在绍兴比亚迪半导体FAB车间前道工序离 (略) 域 22台离子注入机情况如下： 3 台 Axcelis punon M 注入机的管电压 900Kv，管电流 500ua，用于前道工序芯片离子注入。 12 台 Applied vlsta 900 3D 注入机的管电压 900KV，管电流 1.5ma，用于前道工序芯片离子 注入。 1台Apphed vlsta javlin 注入机的管电压 900Ky,管电流 1.5ma,用于前道工序芯片离子注入。 5台ULVACIH-86OPSICI注入机的管电压 900KV，管电流 1ma,用于前道工序芯片离子注入。 1台中科信 CI-S400A5 注入机的管电压 900KV，管电流 1.5ma，用于前道工序芯片离了注入。 | |||
| 环保措施: 环保措施:一?辐射影响防治措施1源项控制:设备有较为完善的辐射防护措施， (略) 域有铅板进行防护，并 (略) 域的工作环境要求为真空状态，如出现漏缝，空气进 (略) ，高能电子束无法开启，也不会伴随辐射产生。注入机通电运行时有联锁装置无法打开铅门，只有在断电后联锁装置才会释放才能打开防护门。机身前后四周及内部设有紧急停止按钮，异常情况下周围工作人员可立即切断电源。2距离防护:离 (略) 域X射线装置工作场所设置明显的电离辐射警示标志，设备上安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯及工作状态指示灯，告诫无关人员勿靠近此场所。射线装 (略) 域与设 (略) 隔离，防止无关人员进入。3屏蔽防护措施:注入机进行离子注入时芯片均在装置内部进行操作，主射线不朝向机门，设离子源部分，束线管道部分设有铅板防护，设备机身门板含有铅板进行屏蔽防护。二 规范管理1根据相关辐射安全管理规定，进行日常管理，并根据辐射事故应急预案组织定期演练。2根据公司设备维护保养和检修规范，由专职工程师定期保养维护和安全检查。3有专职管理人员负责辐射安全管理4防护用品和监测仪器:公司为30名辐射工作人员配备30只个人剂量计（具体人数视日后产线生产情况需求而定），1台辐射监测仪。5有辐射工作人员的职业安全档案，个人剂量贴每季度按时送检并建立个人剂量档案，辐射工作人员按照法规进 (略) 定期对全体辐射工作人员进行辐射安全和防护知识培训。三 噪声影响本射线装置工作时将产生一定的噪声，其噪声值小于60db，经装置机壳及车间墙壁隔声，工作环境满足声环境要求。 | |||
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