备案项目编号:2412-(略)-04-05-(略)
项目名称:集成电路零部件广东省工程研究中心
项目所在地: (略) (略) 云埔 (略) 42号中 (略) 国际人才创业园
项目总投资:5000.(略)元
项目规模及内容:本项目计划投资(略)元，围 (略) 关键零部件严重依赖进口、自主可控能力薄弱等核心问题，依托已有约60 (略) 开展集成电路零部件广东省工程研究中心的建设（不涉及产能建设），聚焦薄膜沉积、量检测、涂胶显影三大设备的关键零部件研发，突破精密加工、耐腐蚀技术等多项关键共性技术，并开发复合式大抽速干泵等核心装备零部件。
建设单位:广东 (略) (略) 与系 (略)
备案机关: (略) 发 (略)
备案申报日期:2024/12/25 16:56:28
复核通过日期:2024-12-25
项目起止年限:2025-01-01至2027-12-01
项目当前状态:办结（通过）

备案项目编号:2412-(略)-04-05-(略)
项目名称:集成电路零部件广东省工程研究中心
项目所在地: (略) (略) 云埔 (略) 42号中 (略) 国际人才创业园
项目总投资:5000.(略)元
项目规模及内容:本项目计划投资(略)元，围 (略) 关键零部件严重依赖进口、自主可控能力薄弱等核心问题，依托已有约60 (略) 开展集成电路零部件广东省工程研究中心的建设（不涉及产能建设），聚焦薄膜沉积、量检测、涂胶显影三大设备的关键零部件研发，突破精密加工、耐腐蚀技术等多项关键共性技术，并开发复合式大抽速干泵等核心装备零部件。
建设单位:广东 (略) (略) 与系 (略)
备案机关: (略) 发 (略)
备案申报日期:2024/12/25 16:56:28
复核通过日期:2024-12-25
项目起止年限:2025-01-01至2027-12-01
项目当前状态:办结（通过）