广州市生态环境局天河分局关于对广东省科学院半导体研究所微纳加工平台建设项目环境影响评价文件拟进行审查的公示

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广州市生态环境局天河分局关于对广东省科学院半导体研究所微纳加工平台建设项目环境影响评价文件拟进行审查的公示


 根据 (略) 半导 (略) 建设项目环境影响评价文件等,按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,我局拟对该项目环境影响评价文件作出审查。为体现公开、公正的原则,强化公众参与,现将该项目环境影响评价文件基本情况予以公示,公示期为 2024年12月 30日至 2025年01月06日(5个工作日),如有意见,请在公示期内来信或 (略) 反映。 

  联系地址: (略) (略) 89号,邮编:

  联系电话:(略)

  传 真:

  听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定,自公示之日起五个工作日内建设单位及有关利害关系 (略) 拟作出的决定提出听证申请。

项目名称

(略) 半导 (略) 建设项目

建设地点

广东广 (略)

建设单位

广东省半导体产 (略)

项目概况

建设单位拟 (略) (略) (略) 161号(自编16栋一 (略) 、二 (略) ,16栋 (略) )建设“ (略) 半导 (略) 建设项目”。本项目总占地面积186㎡(其中项目在16栋占地面积为150㎡,在16栋B占地面积为36㎡),总建筑面积为201㎡(其中项目在16栋建筑面积为165㎡,在16栋B建筑面积为36㎡)。本项目对已建厂房按照研发需求进 (略) 改建,主要建设内容包括研发室、检测室、曝光室、更衣室等以及配套的公用辅助工程、环保工程等。
本项目主要从事半导体技术研发活动,年研发图形化光刻胶薄膜200片/年。项目劳动定员2人,厂内不设食宿,项目年工作时间200天,工作为一班制,每班8小时。

环评机构

广东 (略)

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

(一)大气污染防治措施及环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动,施工期只进行简单装修,施工期间的污染主要是厂房装修、生产设备和环保设备安装产生的粉尘以及车辆运输产生的扬尘,可通过洒 (略) 理。项目施工周期短,随着施工活动结束,这种不利影响随即消失,施工期影响在可接受范围内。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期产生的大气污染物主要为研发过程产生的颗粒物、有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)、硫酸雾、氯化氢等。
①有组织
项目硫酸雾、氯化氢经集中收集后通过1套“碱液喷淋塔” (略) 理后经过20米高排气筒(DA001)排放。有组织排放的硫酸雾、氯化氢满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)表2第二时段二级排放标准要求。
项目有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)经集中收集后通过1套“一级活性炭” (略) 理后经过20米高排气筒(DA002)排放。有组织排放的有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)满足广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值要求。
②无组织
项目颗粒物、未被收集的有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)、硫酸雾、氯化氢以在项目内无组织排放。厂界无组织排放的颗粒物、硫酸雾、氯化氢、非(略)烷总烃满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段无组织排放限值,要求。厂区内无组织排放的非(略)烷总烃满足广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB 44/2367-2022)中 (略) 内VOCs无组织排放限值要求。
(二)地表水污染防治措施及环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动。施工期施工人员均在厂外自行安排食宿,施工期间产生的少量生活污水经现有的三级化 (略) (略) (略) 。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期间生活污水、实验室器皿后续清洗废水中的二次清洗废水及润洗清洗废水、有机清洗台、无机清洗台废水及浓水经三级 (略) 理后达到广东省《水污染物排放限值》(DB 44/26-2001)第二时段三级标准后通过污水排放口(DW001) (略) (略) 进入猎 (略) 理 (略) 理。
(三)噪声污染防治措施及主要环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动,施工期噪声污染主要是厂房装修、生产设备和环保设备安装产生的噪声,噪声可经厂房墙体隔声和自然衰减,涉及振动的机械设备需进行底座减震等措施。项目施工周期短,随着施工活动结束,这种不利影响随即消失,施工期影响在可接受范围内。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期产生的噪声主要包括通风橱、去离子水制备机、空压机、等离子清洗机等机械噪声,通过采取选用低噪声设备,采 (略) 、墙体隔声、基础减振、距离衰减等措施降噪后,项目厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》((略))中2类标准。
(四)固体废物污染防治措施及主要环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动,施工期固体废物主要是装修废弃物,交由相关单 (略) 理,项目施工周期短,随着施工活动结束,这种不利影响随即消失,施工期影响在可接受范围内。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期产生的固体废物包含生活垃圾、废RO滤芯和危险废物(废活性炭、实验室废液及初步清洗废水、喷淋塔废液、废试剂空瓶、废抹布、手套)。
生活垃圾收集后定期交由环卫部门清运。
废RO滤芯属一般固体废物,暂存在一般固体废物暂存间,包装固废收集后交资源回 (略) 理。危险废物分类收集后暂存在危废暂存间,交有危 (略) 置资质 (略) 置。
(五)环境风险防范措施及主要环境影响
项目可能发生的事故主要包括危险物质泄漏、火灾、废气事故性排放引起的环境影响。
项目风险防范措施主要包括设有单独危险化学品仓库或化学品柜储存(略)醇、(略)酮、浓硫酸、盐酸等危险化学品,一般固废暂存间地面应硬底化,且地面铺设环氧树脂等防渗材料;危险废物分类收集,危险废物暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB (略)-2023)进行防风、防雨、防晒、 (略) 理,储存容器应符合相关标准要求。制定严格的生产操作规程,加强作业工人的安全教育,厂房内配备消防栓和消防灭火器材等灭火装置,厂 (略) (略) (略) 的节点安装隔断措施(控制阀门),配备沙包等应急物资,防止事故废水排入外环境;加强废气治理设施的检修及保养,废气治理设施发生故障时立即停止生产并及时维修。危险废物分类收集,危废暂存间严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB (略)-2023)进行防风、防雨、防晒、 (略) 理,储存容器应符合相关标准要求。

公众参与情况

采取信息公示等方式开展公众参与工作。



 根据 (略) 半导 (略) 建设项目环境影响评价文件等,按照建设项目环境影响评价审批程序的有关规定,我局拟对该项目环境影响评价文件作出审查。为体现公开、公正的原则,强化公众参与,现将该项目环境影响评价文件基本情况予以公示,公示期为 2024年12月 30日至 2025年01月06日(5个工作日),如有意见,请在公示期内来信或 (略) 反映。 

  联系地址: (略) (略) 89号,邮编:

  联系电话:(略)

  传 真:

  听证告知:依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定,自公示之日起五个工作日内建设单位及有关利害关系 (略) 拟作出的决定提出听证申请。

项目名称

(略) 半导 (略) 建设项目

建设地点

广东广 (略)

建设单位

广东省半导体产 (略)

项目概况

建设单位拟 (略) (略) (略) 161号(自编16栋一 (略) 、二 (略) ,16栋 (略) )建设“ (略) 半导 (略) 建设项目”。本项目总占地面积186㎡(其中项目在16栋占地面积为150㎡,在16栋B占地面积为36㎡),总建筑面积为201㎡(其中项目在16栋建筑面积为165㎡,在16栋B建筑面积为36㎡)。本项目对已建厂房按照研发需求进 (略) 改建,主要建设内容包括研发室、检测室、曝光室、更衣室等以及配套的公用辅助工程、环保工程等。
本项目主要从事半导体技术研发活动,年研发图形化光刻胶薄膜200片/年。项目劳动定员2人,厂内不设食宿,项目年工作时间200天,工作为一班制,每班8小时。

环评机构

广东 (略)

主要环境影响及预防或减轻不良环境影响的对策和措施

(一)大气污染防治措施及环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动,施工期只进行简单装修,施工期间的污染主要是厂房装修、生产设备和环保设备安装产生的粉尘以及车辆运输产生的扬尘,可通过洒 (略) 理。项目施工周期短,随着施工活动结束,这种不利影响随即消失,施工期影响在可接受范围内。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期产生的大气污染物主要为研发过程产生的颗粒物、有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)、硫酸雾、氯化氢等。
①有组织
项目硫酸雾、氯化氢经集中收集后通过1套“碱液喷淋塔” (略) 理后经过20米高排气筒(DA001)排放。有组织排放的硫酸雾、氯化氢满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)表2第二时段二级排放标准要求。
项目有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)经集中收集后通过1套“一级活性炭” (略) 理后经过20米高排气筒(DA002)排放。有组织排放的有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)满足广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB44/2367-2022)表1挥发性有机物排放限值要求。
②无组织
项目颗粒物、未被收集的有机废气(TVOC、非(略)烷总烃)、硫酸雾、氯化氢以在项目内无组织排放。厂界无组织排放的颗粒物、硫酸雾、氯化氢、非(略)烷总烃满足广东省《大气污染物排放限值》(DB44/27-2001)第二时段无组织排放限值,要求。厂区内无组织排放的非(略)烷总烃满足广东省《固定污染源挥发性有机物综合排放标准》(DB 44/2367-2022)中 (略) 内VOCs无组织排放限值要求。
(二)地表水污染防治措施及环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动。施工期施工人员均在厂外自行安排食宿,施工期间产生的少量生活污水经现有的三级化 (略) (略) (略) 。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期间生活污水、实验室器皿后续清洗废水中的二次清洗废水及润洗清洗废水、有机清洗台、无机清洗台废水及浓水经三级 (略) 理后达到广东省《水污染物排放限值》(DB 44/26-2001)第二时段三级标准后通过污水排放口(DW001) (略) (略) 进入猎 (略) 理 (略) 理。
(三)噪声污染防治措施及主要环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动,施工期噪声污染主要是厂房装修、生产设备和环保设备安装产生的噪声,噪声可经厂房墙体隔声和自然衰减,涉及振动的机械设备需进行底座减震等措施。项目施工周期短,随着施工活动结束,这种不利影响随即消失,施工期影响在可接受范围内。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期产生的噪声主要包括通风橱、去离子水制备机、空压机、等离子清洗机等机械噪声,通过采取选用低噪声设备,采 (略) 、墙体隔声、基础减振、距离衰减等措施降噪后,项目厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》((略))中2类标准。
(四)固体废物污染防治措施及主要环境影响
1、施工期
根据《报告表》,项目租用已建成厂房进行加工生产活动,施工期固体废物主要是装修废弃物,交由相关单 (略) 理,项目施工周期短,随着施工活动结束,这种不利影响随即消失,施工期影响在可接受范围内。
2、营运期
根据《报告表》,项目营运期产生的固体废物包含生活垃圾、废RO滤芯和危险废物(废活性炭、实验室废液及初步清洗废水、喷淋塔废液、废试剂空瓶、废抹布、手套)。
生活垃圾收集后定期交由环卫部门清运。
废RO滤芯属一般固体废物,暂存在一般固体废物暂存间,包装固废收集后交资源回 (略) 理。危险废物分类收集后暂存在危废暂存间,交有危 (略) 置资质 (略) 置。
(五)环境风险防范措施及主要环境影响
项目可能发生的事故主要包括危险物质泄漏、火灾、废气事故性排放引起的环境影响。
项目风险防范措施主要包括设有单独危险化学品仓库或化学品柜储存(略)醇、(略)酮、浓硫酸、盐酸等危险化学品,一般固废暂存间地面应硬底化,且地面铺设环氧树脂等防渗材料;危险废物分类收集,危险废物暂存间按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB (略)-2023)进行防风、防雨、防晒、 (略) 理,储存容器应符合相关标准要求。制定严格的生产操作规程,加强作业工人的安全教育,厂房内配备消防栓和消防灭火器材等灭火装置,厂 (略) (略) (略) 的节点安装隔断措施(控制阀门),配备沙包等应急物资,防止事故废水排入外环境;加强废气治理设施的检修及保养,废气治理设施发生故障时立即停止生产并及时维修。危险废物分类收集,危废暂存间严格按照《危险废物贮存污染控制标准》(GB (略)-2023)进行防风、防雨、防晒、 (略) 理,储存容器应符合相关标准要求。

公众参与情况

采取信息公示等方式开展公众参与工作。


    
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