碳化硅功率器件检测检验平台备案
碳化硅功率器件检测检验平台备案
项目名称 | 碳化硅 (略) | ||
建设内容及规模 | 本项目拟购置膜厚仪、光学轮廓仪、光学显微镜等量测设备约23台(套),提升SiC外延生长、晶圆制造产线检测能力,提高缺陷分析效率,产品良率,降低产线返工率,优化检测流程,提高生产效率。 | ||
项目代码 | 项目单位 | 长飞先进半导体(武汉)有限公司 | |
法人代表姓名 | 庄丹 | 项目单位性质 | 私营企业 |
所 (略) 划 | 项目所属行业 | 工业/电子 | |
总投资 | 8500 | 建设性质 | 技改及其他 |
拟开工时间 | 2024-12 | 备案证状态 | 尚未审核 |
申报日期 | 2024-12-31 17:30:15 |
项目名称 | 碳化硅 (略) | ||
建设内容及规模 | 本项目拟购置膜厚仪、光学轮廓仪、光学显微镜等量测设备约23台(套),提升SiC外延生长、晶圆制造产线检测能力,提高缺陷分析效率,产品良率,降低产线返工率,优化检测流程,提高生产效率。 | ||
项目代码 | 项目单位 | 长飞先进半导体(武汉)有限公司 | |
法人代表姓名 | 庄丹 | 项目单位性质 | 私营企业 |
所 (略) 划 | 项目所属行业 | 工业/电子 | |
总投资 | 8500 | 建设性质 | 技改及其他 |
拟开工时间 | 2024-12 | 备案证状态 | 尚未审核 |
申报日期 | 2024-12-31 17:30:15 |
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