碳化硅功率器件检测检验平台备案

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碳化硅功率器件检测检验平台备案

项目名称 碳化硅 (略)
建设内容及规模 本项目拟购置膜厚仪、光学轮廓仪、光学显微镜等量测设备约23台(套),提升SiC外延生长、晶圆制造产线检测能力,提高缺陷分析效率,产品良率,降低产线返工率,优化检测流程,提高生产效率。
项目代码 项目单位 长飞先进半导体(武汉)有限公司
法人代表姓名 庄丹 项目单位性质 私营企业
所 (略) 划 项目所属行业 工业/电子
总投资 8500 建设性质 技改及其他
拟开工时间 2024-12 备案证状态 尚未审核
申报日期 2024-12-31 17:30:15
项目名称 碳化硅 (略)
建设内容及规模 本项目拟购置膜厚仪、光学轮廓仪、光学显微镜等量测设备约23台(套),提升SiC外延生长、晶圆制造产线检测能力,提高缺陷分析效率,产品良率,降低产线返工率,优化检测流程,提高生产效率。
项目代码 项目单位 长飞先进半导体(武汉)有限公司
法人代表姓名 庄丹 项目单位性质 私营企业
所 (略) 划 项目所属行业 工业/电子
总投资 8500 建设性质 技改及其他
拟开工时间 2024-12 备案证状态 尚未审核
申报日期 2024-12-31 17:30:15
    
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