华虹半导体制造无锡有限公司X射线荧光分析仪、高电流离子注入机、高能质子注入机、高能离子注入机、中电流离子注入机应用项目江苏省无锡市新吴区新洲路30-1号
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华虹半导体制造无锡有限公司X射线荧光分析仪、高电流离子注入机、高能质子注入机、高能离子注入机、中电流离子注入机应用项目江苏省无锡市新吴区新洲路30-1号
填表日期：2025-01-03
| 华虹半导体制造（无锡）有限公司X射线荧光分析仪、高电流离子注入机、高能质子注入机、高能离子注入机、中电流离子注入机应用项目 | |||
| (略) (略) (略) 30-1号 | 741.27 | ||
| 华虹半导体制造（无锡）有限公司 | 张素心 | ||
| * | 1260 | ||
| 2025-01-01 | |||
| 新建 | |||
| 一、建设内容 FAB9A 3F D区使用X射线荧光分析仪 FAB三楼AAbay使用高能离子注入机、中电流离子注入机 FAB三楼ABbay使用高电流离子注入机、中电流离子注入机 FAB三楼SAbay使用高电流离子注入机 FAB三楼SCbay使用中电流离子注入机 FAB一楼CJbay使用高能质子注入机、中电流离子注入机 二、建设规模 使用XRF WX310型X射线荧光仪（最大管电压40KV、最大管电流90mA，数量1台）； 使用Purion XE型高能离子注入机（最大管电压90KV、最大管电流225A，数量3台）； 使用VIIsta 900XPT型中电流离子注入机（最大管电压70KV、最大管电流185A，数量2台）； 使用Purion H200型高电流离子注入机（最大管电压60KV、最大管电流225A，数量1台）； 使用VIIsta Trident XP2型高电流离子注入机（最大管电压60KV、最大管电流240A，数量6台）； 使用PURION H5型高电流离子注入机（最大管电压60KV、最大管电流225A，数量1台）； 使用*/GP型中电流离子注入机（最大管电压180KV、最大管电流200A，数量5台）； 使用VIIsta 1500H型高能质子注入机（最大管电压80KV、最大管电流150A，数量1台）； 使用VIIsta 550H型高能质子注入机（最大管电压80KV、最大管电流150A，数量1台）； 使用CI P900型中电流离子注入机（最大管电压80KV、最大管电流150A，数量1台）。 射线装置具体使用位置：X射线荧光分析仪使用地点位于FAB9A 3F D区；Purion XE型高能离子注入机3台、VIIsta 900XPT型中电流离子注入机2台使用地点位于FAB三楼AAbay；Purion H200高电流离子注入机1台、VIIsta Trident XP2高电流离子注入机1台、PURION H5高电流离子注入机1台、*/GP中电流离子注入机1台使用地点位于FAB三楼ABbay；VIIsta Trident XP2高电流离子注入机5台使用地点位于FAB三楼SAbay；*/GP中电流离子注入机4台使用地点位于FAB三楼SCbay；VIIsta 1500H高能质子注入机1台、VIIsta 550H高能质子注入机1台、CI P900中电流离子注入机1台使用地点位于FAB一楼CJbay。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1、警示标识：公司 X 射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地；公司应在射线装置周围 1m 处设置警戒线，以防止无关人员进入。2、屏蔽防护措施：X 射线测厚仪工作场所 (略) 罩隔离；公司设备待机状态时、人员近距离对合金板材试片测试时以及偶尔人工对合金板材进 (略) 理时，须对射线装置进行关闭后才可实行运作；或者发现故障时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器：公司为13 名辐射工作人员配备个人剂量计，配备 6 台辐射报警仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案3、辐射事故应急措施4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案5、13人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
填表日期：2025-01-03
| 华虹半导体制造（无锡）有限公司X射线荧光分析仪、高电流离子注入机、高能质子注入机、高能离子注入机、中电流离子注入机应用项目 | |||
| (略) (略) (略) 30-1号 | 741.27 | ||
| 华虹半导体制造（无锡）有限公司 | 张素心 | ||
| * | 1260 | ||
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| 一、建设内容 FAB9A 3F D区使用X射线荧光分析仪 FAB三楼AAbay使用高能离子注入机、中电流离子注入机 FAB三楼ABbay使用高电流离子注入机、中电流离子注入机 FAB三楼SAbay使用高电流离子注入机 FAB三楼SCbay使用中电流离子注入机 FAB一楼CJbay使用高能质子注入机、中电流离子注入机 二、建设规模 使用XRF WX310型X射线荧光仪（最大管电压40KV、最大管电流90mA，数量1台）； 使用Purion XE型高能离子注入机（最大管电压90KV、最大管电流225A，数量3台）； 使用VIIsta 900XPT型中电流离子注入机（最大管电压70KV、最大管电流185A，数量2台）； 使用Purion H200型高电流离子注入机（最大管电压60KV、最大管电流225A，数量1台）； 使用VIIsta Trident XP2型高电流离子注入机（最大管电压60KV、最大管电流240A，数量6台）； 使用PURION H5型高电流离子注入机（最大管电压60KV、最大管电流225A，数量1台）； 使用*/GP型中电流离子注入机（最大管电压180KV、最大管电流200A，数量5台）； 使用VIIsta 1500H型高能质子注入机（最大管电压80KV、最大管电流150A，数量1台）； 使用VIIsta 550H型高能质子注入机（最大管电压80KV、最大管电流150A，数量1台）； 使用CI P900型中电流离子注入机（最大管电压80KV、最大管电流150A，数量1台）。 射线装置具体使用位置：X射线荧光分析仪使用地点位于FAB9A 3F D区；Purion XE型高能离子注入机3台、VIIsta 900XPT型中电流离子注入机2台使用地点位于FAB三楼AAbay；Purion H200高电流离子注入机1台、VIIsta Trident XP2高电流离子注入机1台、PURION H5高电流离子注入机1台、*/GP中电流离子注入机1台使用地点位于FAB三楼ABbay；VIIsta Trident XP2高电流离子注入机5台使用地点位于FAB三楼SAbay；*/GP中电流离子注入机4台使用地点位于FAB三楼SCbay；VIIsta 1500H高能质子注入机1台、VIIsta 550H高能质子注入机1台、CI P900中电流离子注入机1台使用地点位于FAB一楼CJbay。 | |||
| 环保措施: 一、污染防治措施1、警示标识：公司 X 射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明，并且安装工作警示灯，设备工作时开启警示灯，告诫无关人员勿靠近照射场地；公司应在射线装置周围 1m 处设置警戒线，以防止无关人员进入。2、屏蔽防护措施：X 射线测厚仪工作场所 (略) 罩隔离；公司设备待机状态时、人员近距离对合金板材试片测试时以及偶尔人工对合金板材进 (略) 理时，须对射线装置进行关闭后才可实行运作；或者发现故障时，射线装置断电，再由专业的维修和检测人员进入检查。3、防护用品和监测仪器：公司为13 名辐射工作人员配备个人剂量计，配备 6 台辐射报警仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理2、规章制度：操作规程、岗位职责、辐射防护和安全保卫制度、设备检修维护制度、射线装置使用登记制度、人员培训计划、监测方案3、辐射事故应急措施4、个人剂量检定、个人剂量档案、职业健康体检、个人健康档案5、13人参加辐射安全和防护知识培训 | |||
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