根据建设项目竣工环保验收程序的有关规定，现将宁 (略) 冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）竣工环境保护验收情况公示如下：

项目名称：冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）

建设单位：宁 (略)

建设地点： (略) 杭 (略) (略) 58号

建设内容：建设冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）。目前企业已完成第一阶段的建设。本项目第一阶段除光阻涂布以及相位移型光掩膜板的二次干式蚀刻外，包含其它所有主要工序；主要设备包括1台电子束光刻机、1台激光束光刻机、1台显影机、1台电浆蚀刻机、2台光掩膜板洗净机、1台干法蚀刻系统、1台湿法蚀刻系统等，产能为年产5040片6英寸光掩膜版，剩余作为第二阶段验收内容。

主要环保措施：

（1）废水治理措施：本项目生产废 (略) (略) 理站（二级吹脱+酸碱中和）处理后， (略) 政污水管道，其中光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水及修补检查后清洗废水进入酸 (略) 理 (略) 理系统二级吹脱，吹脱后废水与其余废水一起进入酸 (略) 理系统。酸 (略) 理系 (略) 理规模20t/h， (略) 理系 (略) 理规模1.5t/h。生活污水经隔油池、 (略) 理后排放。

（2）废气治理措施：本项目第一阶段工艺废气主要为工艺酸碱废气（包括干式蚀刻废气，缺陷修补、干式蚀刻废气，光阻剥离、光阻剥离后清洗、修补检查后清洗废气）、盐酸储罐呼吸气、工艺有机废气（缺陷修补等废气）、柴油储罐呼吸气、备用柴油发电机烟气。干式蚀刻废气经吸附式Scrub (略) 理，与其他酸碱废气（工艺酸碱废气、盐酸储罐呼吸气）一起经2套碱液 (略) 理后，通过1根25m排气筒排放；工艺有机废气经2套活性炭吸 (略) 理后通过1个15m排气筒排放；柴油储罐呼吸气无组织排放；备用柴油发电机烟气经汇集后，通过1根25m的排气筒排放。

（3）噪声防治措施：选购低噪声、低振动环保型设备，从源头降低噪声源强；合理布置厂 (略) ，高噪声设备尽量远离厂房边界布置；水泵及风机均安装减振垫；④设备定期维护保养，保持其良好的运行效果。

（4）固体废物治理措施：本项目产生的废基板、废保护膜、废包装材料、废RO膜、废离子交换树脂、纯水制备废活性炭交相关单位综合利用；含铬废蚀刻液、废光阻液、废润滑油、 (略) 理废活性炭、危险化学品废包装材料、废滤筒、沾染酸碱或有机溶剂的抹布、手 (略) 汇聚锦土危废 (略) 处理。其中，含铬废蚀刻液、废光阻液第一阶段不会产生。由于企业新 (略) 理系统，会产生硫酸铵，预计每5 (略) 理一次，届时将与有资质单位签订危 (略) 置。一般固废暂存间、危废暂存间均已按要求建设。一般固废暂存间、危废暂存间均已按要求建设。

公示期限：2024.12.24~2025.1.21（20个工作日）

公众可登录http://**-main.html查询该项目验收调查报告和验收意见。公众对该建设项目如有意见和建议可于公示期限内向建设单位反映，反映问题请留下联系方式（姓名、地址、电话或邮箱），以便得到及时答复反馈。

建设单位名称：宁 (略)

联系人：胡科闰

电话：(略)

宁 (略)

2024年12月24日

• （公示版）冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）竣工环境保护验收监测报告表.pdf

根据建设项目竣工环保验收程序的有关规定，现将宁 (略) 冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）竣工环境保护验收情况公示如下：

项目名称：冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）

建设单位：宁 (略)

建设地点： (略) 杭 (略) (略) 58号

建设内容：建设冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）。目前企业已完成第一阶段的建设。本项目第一阶段除光阻涂布以及相位移型光掩膜板的二次干式蚀刻外，包含其它所有主要工序；主要设备包括1台电子束光刻机、1台激光束光刻机、1台显影机、1台电浆蚀刻机、2台光掩膜板洗净机、1台干法蚀刻系统、1台湿法蚀刻系统等，产能为年产5040片6英寸光掩膜版，剩余作为第二阶段验收内容。

主要环保措施：

（1）废水治理措施：本项目生产废 (略) (略) 理站（二级吹脱+酸碱中和）处理后， (略) 政污水管道，其中光阻剥离废水、光阻剥离后清洗废水及修补检查后清洗废水进入酸 (略) 理 (略) 理系统二级吹脱，吹脱后废水与其余废水一起进入酸 (略) 理系统。酸 (略) 理系 (略) 理规模20t/h， (略) 理系 (略) 理规模1.5t/h。生活污水经隔油池、 (略) 理后排放。

（2）废气治理措施：本项目第一阶段工艺废气主要为工艺酸碱废气（包括干式蚀刻废气，缺陷修补、干式蚀刻废气，光阻剥离、光阻剥离后清洗、修补检查后清洗废气）、盐酸储罐呼吸气、工艺有机废气（缺陷修补等废气）、柴油储罐呼吸气、备用柴油发电机烟气。干式蚀刻废气经吸附式Scrub (略) 理，与其他酸碱废气（工艺酸碱废气、盐酸储罐呼吸气）一起经2套碱液 (略) 理后，通过1根25m排气筒排放；工艺有机废气经2套活性炭吸 (略) 理后通过1个15m排气筒排放；柴油储罐呼吸气无组织排放；备用柴油发电机烟气经汇集后，通过1根25m的排气筒排放。

（3）噪声防治措施：选购低噪声、低振动环保型设备，从源头降低噪声源强；合理布置厂 (略) ，高噪声设备尽量远离厂房边界布置；水泵及风机均安装减振垫；④设备定期维护保养，保持其良好的运行效果。

（4）固体废物治理措施：本项目产生的废基板、废保护膜、废包装材料、废RO膜、废离子交换树脂、纯水制备废活性炭交相关单位综合利用；含铬废蚀刻液、废光阻液、废润滑油、 (略) 理废活性炭、危险化学品废包装材料、废滤筒、沾染酸碱或有机溶剂的抹布、手 (略) 汇聚锦土危废 (略) 处理。其中，含铬废蚀刻液、废光阻液第一阶段不会产生。由于企业新 (略) 理系统，会产生硫酸铵，预计每5 (略) 理一次，届时将与有资质单位签订危 (略) 置。一般固废暂存间、危废暂存间均已按要求建设。一般固废暂存间、危废暂存间均已按要求建设。

公示期限：2024.12.24~2025.1.21（20个工作日）

公众可登录http://**-main.html查询该项目验收调查报告和验收意见。公众对该建设项目如有意见和建议可于公示期限内向建设单位反映，反映问题请留下联系方式（姓名、地址、电话或邮箱），以便得到及时答复反馈。

建设单位名称：宁 (略)

联系人：胡科闰

电话：(略)

宁 (略)

2024年12月24日

• （公示版）冠石科技光掩膜版制造项目（第一阶段）竣工环境保护验收监测报告表.pdf