新增离子注入机项目重庆市直辖市高新区西永大道25号

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新增离子注入机项目重庆市直辖市高新区西永大道25号

建设项目环境影响登记表

填表日期:2025-01-15

新增离子注入机项目
(略) (略) 西永大道25号 50
润西微电子(重庆)有限公司 李虹
3000 50
2025-01-15
新建
在A栋3楼Ba (略) 域新增1台中速流离子注入机(12kV,10mA),生产厂家:APPLED MATERIALS,设备型号:VIISTA 9003DMEHDⅡ
环保措施:
一、技术措施:1、 警示标识:离子注入装置工作场所及装置上设置电离辐射警示标志及中文警示说明;装置安装有工作警示灯,设备工作时开启警示灯,警告无关人员勿靠近照射场地。2、 屏蔽防护措施:设备X射线均产生于机台内部,机台外壳内嵌铅板,防止X射线外泄危害作业人员生命安全。发现故障时,射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。3、辐射监测:公司配备便携式辐射检测仪,定期开展辐射检测;每年委托第三方专业机构开展辐射环境监测。二、 安全管理措施1、 有专职管理人员负责辐射安全管理。2、 建立规章制度:建立有辐射安全管理程序、操作规程、设备检修维护制度、人员培训计划、监测方案等。3、 编制有辐射事故应急预案与演练,每年开展事故应急演练。4、每年组织作业人员开展辐射安全和防护知识培训。5、辐射工作人员均配备个人剂量计,每季度进行计量检测;工作人员每年进行职业健康体检,建立职业健康监护档案。
,重庆, (略) ,重庆

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填表日期:2025-01-15

新增离子注入机项目
(略) (略) 西永大道25号 50
润西微电子(重庆)有限公司 李虹
3000 50
2025-01-15
新建
在A栋3楼Ba (略) 域新增1台中速流离子注入机(12kV,10mA),生产厂家:APPLED MATERIALS,设备型号:VIISTA 9003DMEHDⅡ
环保措施:
一、技术措施:1、 警示标识:离子注入装置工作场所及装置上设置电离辐射警示标志及中文警示说明;装置安装有工作警示灯,设备工作时开启警示灯,警告无关人员勿靠近照射场地。2、 屏蔽防护措施:设备X射线均产生于机台内部,机台外壳内嵌铅板,防止X射线外泄危害作业人员生命安全。发现故障时,射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。3、辐射监测:公司配备便携式辐射检测仪,定期开展辐射检测;每年委托第三方专业机构开展辐射环境监测。二、 安全管理措施1、 有专职管理人员负责辐射安全管理。2、 建立规章制度:建立有辐射安全管理程序、操作规程、设备检修维护制度、人员培训计划、监测方案等。3、 编制有辐射事故应急预案与演练,每年开展事故应急演练。4、每年组织作业人员开展辐射安全和防护知识培训。5、辐射工作人员均配备个人剂量计,每季度进行计量检测;工作人员每年进行职业健康体检,建立职业健康监护档案。
,重庆, (略) ,重庆
    
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