新增一台氢离子注入机上海市直辖市中国上海自由贸易试验区鸿音路600号
填表日期:2025-02-11
上海 (略) 新增一台氢离子注入机 | |||
(略) 中国(上海)自由贸 (略) (略) 600号 | (略) | ||
上海 (略) | 张锦源 | ||
1000 | 20 | ||
2025-03-31 | |||
扩建 | |||
一、建设内容 上海 (略) 在生产厂房 (略) 域新增一台氢离子注入机台。 二、建设规模 1、新增一台氢离子注入机台:型号 VIISta 1500H ,最大管电压1500kV,最大管电流0.25mA。 2、新增机台一台氢离子注入机后,公司合计辐射机台信息如下: ① 高电流离子注入机台:型号 VIISta Trident ,最大管电压80kV,最大管电流30mA,数量3。 ② 中电流离子注入机台:型号VIISTA 900 3D / VIISTA 900 3D MEHD2II,最大管电压600kV,最大管电流14.5mA ,数量4。 ③ 高能离子注入机台:型号Purion XE ,最大管电压3000kV,最大管电流1.5mA ,数量2。 ④ 氢离子注入机台:型号 VIISta 1500H ,最大管电压1500kV,最大管电流0.25mA,数量1。 ⑤ 全反射X射线荧光分析仪:型号TXRF-V310,最大管电压35kV,最大管电流300mA ,数量1。 3、射线装置具体使用位置:十台离子注入机台位于生产厂房3房3楼 (略) 域,荧光分析仪使用地点位于生产厂房3楼Litho- (略) 域。 | |||
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填表日期:2025-02-11
上海 (略) 新增一台氢离子注入机 | |||
(略) 中国(上海)自由贸 (略) (略) 600号 | (平方米) | (略) | |
上海 (略) | 张锦源 | ||
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2025-03-31 | |||
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一、建设内容 上海 (略) 在生产厂房 (略) 域新增一台氢离子注入机台。 二、建设规模 1、新增一台氢离子注入机台:型号 VIISta 1500H ,最大管电压1500kV,最大管电流0.25mA。 2、新增机台一台氢离子注入机后,公司合计辐射机台信息如下: ① 高电流离子注入机台:型号 VIISta Trident ,最大管电压80kV,最大管电流30mA,数量3。 ② 中电流离子注入机台:型号VIISTA 900 3D / VIISTA 900 3D MEHD2II,最大管电压600kV,最大管电流14.5mA ,数量4。 ③ 高能离子注入机台:型号Purion XE ,最大管电压3000kV,最大管电流1.5mA ,数量2。 ④ 氢离子注入机台:型号 VIISta 1500H ,最大管电压1500kV,最大管电流0.25mA,数量1。 ⑤ 全反射X射线荧光分析仪:型号TXRF-V310,最大管电压35kV,最大管电流300mA ,数量1。 3、射线装置具体使用位置:十台离子注入机台位于生产厂房3房3楼 (略) 域,荧光分析仪使用地点位于生产厂房3楼Litho- (略) 域。 | |||
环保措施: 一、污染防治措施1、警示标志:公司X射线装置工作场所设置电离辐射警示标志及中文警示说明,告诫无关人员勿靠近照射场地。2、屏蔽防护措施:设备为自屏蔽设备;射线装置使用结束后及时关闭;发现故障时,及时将射线装置断电,再由专业的维修和检测人员进入检查。每年对射线机台安全运行情况进行一次年度检测和评估。3、防护用品和监测仪器:公司为辐射工作人员每人配备个人剂量计,配备10台辐射剂量报警仪,1台辐射巡检仪。二、安全管理措施1、有专职管理人员负责辐射安全管理;2、制定规章制度:辐射机台安全操作规程、射线机台操作人员培训制度、自行检查和年度评估制度、监测方案;3、制定辐射事故应急管理措施;4、个人剂量检定、个人剂量档案,职业健康体检、建立个人健康档案;5、辐射操作人员定期安排参加辐射安全和防护知识培训。 | |||
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