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VOC提标改造项目江苏省扬州市经济技术开发区扬州经济开发区鸿大路29号
填表日期：2025-02-21
| 扬州中芯晶 (略) VOC提标改造项目 | |||
| (略) 经济技 (略) 扬州经 (略) (略) 29号 | 160 | ||
| 扬州中芯晶 (略) | 高祺 | ||
| 300 | 203.8 | ||
| 2025-10-31 | |||
| 改建 | |||
| 1. 扬州中芯晶 (略) 主要生产半导体芯片，原料主要为单晶片、光刻胶、显影漂洗液等，硅片清洗、光刻和去胶工序所产生的废气组分主要为*醇、*酮、*酸*酯等VOCs污染物； 2.现有治理设施为一套*m3/h的“三级蜂窝活性炭吸附” (略) 理系统，污染物排放浓度为47.4mg/m3，满足《半导体行业污染物排放标准》（DB 32/3747-2020）； 3.现计划将车间的VOCs废气进行分质收集并增大收集风量，收集率由90％提升至98％，将治理设施改造为一套*m3/h的“三级干式过滤 沸石转轮-TO直接燃烧” (略) 理系统，去除率由85％提升至95％。改造后污染物排放浓度预期达到14.3mg/m3； 4.改造前VOCs排放量5.94吨/年，改造后VOCs排放量1.74吨/年，预计减排4.2吨/年。 本项目配套电控及自动化实时监控系统等；新增部分废气收集管道和配套的引风管道、排气管道等；增设压缩空气、助燃天然气管道及调压控制设施等。 | |||
| 有环保措施: 车间VOCs废气采取干式过滤、沸石转轮、TO直接燃烧措施后通过1根15m排气筒排放至大气 其他措施: 施工期间车间停产无废气产生 | |||
| 生活污水 其他措施: 施工期间车间停产无生活污水产生 生产废水 其他措施: 施工期间车间停产无废水产生 | |||
| 环保措施: (略) 理过程中产生的废滤袋交由有资质 (略) 理；施工期间车间停产无固废产生 | |||
| 有环保措施: 选用相对低能耗低噪音的优质设备；生产车间的门窗均采用隔音效果较好的门窗；各设备安装时将对设备基座安装防震垫圈；施工期间车间停产无噪声产生 | |||
| 有环保措施: 施工期间车间停产不对生态产生影响 | |||
填表日期：2025-02-21
| 扬州中芯晶 (略) VOC提标改造项目 | |||
| (略) 经济技 (略) 扬州经 (略) (略) 29号 | 160 | ||
| 扬州中芯晶 (略) | 高祺 | ||
| 300 | 203.8 | ||
| 2025-10-31 | |||
| 改建 | |||
| 1. 扬州中芯晶 (略) 主要生产半导体芯片，原料主要为单晶片、光刻胶、显影漂洗液等，硅片清洗、光刻和去胶工序所产生的废气组分主要为*醇、*酮、*酸*酯等VOCs污染物； 2.现有治理设施为一套*m3/h的“三级蜂窝活性炭吸附” (略) 理系统，污染物排放浓度为47.4mg/m3，满足《半导体行业污染物排放标准》（DB 32/3747-2020）； 3.现计划将车间的VOCs废气进行分质收集并增大收集风量，收集率由90％提升至98％，将治理设施改造为一套*m3/h的“三级干式过滤 沸石转轮-TO直接燃烧” (略) 理系统，去除率由85％提升至95％。改造后污染物排放浓度预期达到14.3mg/m3； 4.改造前VOCs排放量5.94吨/年，改造后VOCs排放量1.74吨/年，预计减排4.2吨/年。 本项目配套电控及自动化实时监控系统等；新增部分废气收集管道和配套的引风管道、排气管道等；增设压缩空气、助燃天然气管道及调压控制设施等。 | |||
| 有环保措施: 车间VOCs废气采取干式过滤、沸石转轮、TO直接燃烧措施后通过1根15m排气筒排放至大气 其他措施: 施工期间车间停产无废气产生 | |||
| 生活污水 其他措施: 施工期间车间停产无生活污水产生 生产废水 其他措施: 施工期间车间停产无废水产生 | |||
| 环保措施: (略) 理过程中产生的废滤袋交由有资质 (略) 理；施工期间车间停产无固废产生 | |||
| 有环保措施: 选用相对低能耗低噪音的优质设备；生产车间的门窗均采用隔音效果较好的门窗；各设备安装时将对设备基座安装防震垫圈；施工期间车间停产无噪声产生 | |||
| 有环保措施: 施工期间车间停产不对生态产生影响 | |||
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