项目名称

华东光电集成器件研究所环境影响微系统研发条件建设项目

建设地点

(略) 蚌埠经 (略) (略)

建设单位

华东光电集成器件研究所

环境影响评价机构

安徽省柏瑞 (略)

项目概况

本项目为改建项目，依托华东光电集成器件研究 (略) ，新增一台电镀系统设备，提升微系统3D异构集成能力，不扩大原有研发能力。项目主要研发产品为半导 (略) 加工，产能为3000晶圆片/年，本次改建不新增产能。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1.废气

本项目产生的废气主要为酸性废气、有机废气等。电镀线产生的硫酸雾废气通过设备自带的废气收集装置收集后引入车间废气管道进入现有项目碱液喷 (略) 理，处理达标后通过现有DA012排气筒排放；产生的(略)醇和其他有机废气通过设备自带的废气收集装置收集后引入车间废气管道进入现有项目二级活性炭吸 (略) 理，处理达标后通过现有DA013排气筒排放。

2.废水

本项目不新增外排废水，产生的硅片冲洗废水、洗槽废水作为危 (略) 置。

3.噪声

主要噪声源为电镀设备、等离子清洗设备等，通过选用低噪声设备、安装减震基座、加强周边环境绿化等措施，减少噪声的影响。采取各项措施后，厂界东、南、北侧厂界噪声应符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)） (略) 标准限值要求，西侧厂界应符 (略) 标准限值要求。

4.固体废物

本项目危险废物主要为镀铜废液、镀镍废液、镀金、镀锡银废液、电镀液包装物等，暂存于现有危险废物暂存间后，委托有资 (略) 置。

5.环境风险

本项目建成后危险物质包括铸膜液、电镀液等。针对危险 (略) 贮存、运输、利用、处置，设置完善的专业设施和风险防控措施，危废间内进行防腐防 (略) 理。 (略) 设置容积为400 m3的事故池，设置截断阀，事故状态下消防废水进入应急事故池。

公众参与情况

我局受理该项目环评文件后， (略) (略) 网站进行了环境影响报告表公示，公示期间未收到反馈信息。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对该项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证，逾期不提交听证申请的，视为放弃听证权利。或者依据《中华人民共和国行政许可法》第三十六条的规定到本机关进行陈述、申辩。逾期不到的，视为放弃陈述、申辩权。

相关部门意见

蚌 (略) (略) 备案，项目代码：2411-(略)-04-03-(略)。

项目名称

华东光电集成器件研究所环境影响微系统研发条件建设项目

建设地点

(略) 蚌埠经 (略) (略)

建设单位

华东光电集成器件研究所

环境影响评价机构

安徽省柏瑞 (略)

项目概况

本项目为改建项目，依托华东光电集成器件研究 (略) ，新增一台电镀系统设备，提升微系统3D异构集成能力，不扩大原有研发能力。项目主要研发产品为半导 (略) 加工，产能为3000晶圆片/年，本次改建不新增产能。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

1.废气

本项目产生的废气主要为酸性废气、有机废气等。电镀线产生的硫酸雾废气通过设备自带的废气收集装置收集后引入车间废气管道进入现有项目碱液喷 (略) 理，处理达标后通过现有DA012排气筒排放；产生的(略)醇和其他有机废气通过设备自带的废气收集装置收集后引入车间废气管道进入现有项目二级活性炭吸 (略) 理，处理达标后通过现有DA013排气筒排放。

2.废水

本项目不新增外排废水，产生的硅片冲洗废水、洗槽废水作为危 (略) 置。

3.噪声

主要噪声源为电镀设备、等离子清洗设备等，通过选用低噪声设备、安装减震基座、加强周边环境绿化等措施，减少噪声的影响。采取各项措施后，厂界东、南、北侧厂界噪声应符合《工业企业厂界环境噪声排放标准》（(略)） (略) 标准限值要求，西侧厂界应符 (略) 标准限值要求。

4.固体废物

本项目危险废物主要为镀铜废液、镀镍废液、镀金、镀锡银废液、电镀液包装物等，暂存于现有危险废物暂存间后，委托有资 (略) 置。

5.环境风险

本项目建成后危险物质包括铸膜液、电镀液等。针对危险 (略) 贮存、运输、利用、处置，设置完善的专业设施和风险防控措施，危废间内进行防腐防 (略) 理。 (略) 设置容积为400 m3的事故池，设置截断阀，事故状态下消防废水进入应急事故池。

公众参与情况

我局受理该项目环评文件后， (略) (略) 网站进行了环境影响报告表公示，公示期间未收到反馈信息。

听证权利告知

依据《中华人民共和国行政许可法》第四十七条的规定，自公示起五个工作日内申请人、利害关系人可对该项目拟作出的建设项目环境影响评价文件审批意见要求听证，逾期不提交听证申请的，视为放弃听证权利。或者依据《中华人民共和国行政许可法》第三十六条的规定到本机关进行陈述、申辩。逾期不到的，视为放弃陈述、申辩权。

相关部门意见

蚌 (略) (略) 备案，项目代码：2411-(略)-04-03-(略)。