关于TCL环鑫半导体天津有限公司节能型功率半导体芯片生产线建设项目环境影响评价拟审批公示

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关于TCL环鑫半导体天津有限公司节能型功率半导体芯片生产线建设项目环境影响评价拟审批公示

1、天津滨海高新技术产 (略) 政务服务办公室按照《中华人民共和国环境影响评价法》《中华人民共和国行政许可法》《中华人民共和国政府信息公开条例》以及相关法规、规章和规定的要求,公示建设项目环境影响评价拟审批信息。

2、公示时限: 5个工作日。

3、公示期间,公众(包括个人、团体等)可以通过邮件或信函(以邮戳为准)方式提出意见。

邮箱:*@*ttp://**

信函请寄至天津滨海高新技术产 (略) 华苑科技园开华道20号,天津滨 (略) 政务服务办公室收(邮编:#)。请在信封上注明:TCL环鑫半导体(天津)有限公司节能型功率半导体芯片生产线建设项目的意见。

4、听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可提出听证申请。

5、相关资料由行政许可申请人提供、并以其所提交的形式进行公开。上述资料和信息中如有错漏,使用上述信息和资料作为依据者自行承担责任。

项目名称

节能型功率半导体芯片生产线建设项目

建设地点

天津滨海高新技术产 (略) 华 (略) (环外) (略) 12号

建设单位

TCL环鑫半导体(天津)有限公司

环境影响评价机构

津诚环安(天津) (略)

项目概况

TCL环鑫半导体(天津)有限公司,成立于2008年,原名天津 (略) 于2022年更名,位于天津滨海高新技术产 (略) 华 (略) (环外) (略) 12号。TCL环鑫半导体(天津)有限 (略) 环欧半 (略) 共用B座建筑,该公司拟投资#万元,建设节能型功率半导体芯片生产线建设项目,对B座车间现有6英寸功率半导体芯片生产线进行扩建,主要依托现有生产装置并增加超高温氧化炉、超高温退火炉、刻蚀机、高温离子注入机、等离子去胶机、蒸发台、C膜溅射、背面激光退火、激光退火炉、背面减薄机以及检测设备等设备数量,另有部分设备利用现有生产设备进行升级改造,生产设备合计约60台套。项目投产后现有6英寸SBD、VDMOS、TMBS、FRD功率芯片年产#片产能不变,新增6英寸FRD、IGBT节能型功率半导体芯片年产#片的生产能力。该项目环保投资#元,主要用于营运期废气收集及防治措施、环境风险防控、固体废物收集及贮存措施等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

(一)涂胶、显影、有机去胶、胶盘清洗工序有机废气 (略) 收集后,依托现有1套“活性炭吸附-脱附+催化燃烧装置”净化后,经1根现有高度提高至28m排气筒P6排放;车 (略) 域酸碱废气 (略) 收集后,依托现有1套“二级碱液喷淋塔”净化后,经1根现有高度提高至28m排气筒P5排放;车 (略) 域酸碱废气 (略) 收集后,依托现有1套“三级碱液喷淋塔”净化后,经1根现有28m排气筒P9排放。

排气筒P6排放的二#苯、TRVOC、非#烷总烃的排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)相关限值要求,酚类的排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(#)相关限值要求,臭气浓度、#酸#酯排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)相关限值要求;排气筒P5排放的HCl、氟化物、氯气、硫酸雾、二氧化硫、氮氧化物、镍及其化合物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(#)相关限值要求,氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准(DB12/059-2018)相关限值要求;排气筒P9排放的HCl、氟化物、氯气、硫酸雾、二氧化硫、氮氧化物、镍及其化合物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(#)相关限值要求,氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)相关限值要求。

(二)本项目酸碱废水、含氟废水、研磨废水依托中环股 (略) (略) 理,出水根据进水水量由中环股 (略) 理站出水池泵至环鑫半 (略) 污水总排口DW002;镍银生产废水依托现有环鑫镍 (略) (略) 理,废水经车间排口DW001 (略) (略) ,与经化粪池沉淀后的生活污水、清净下水(循环水排污水、超纯水/纯水制备排浓水)混合,一同通过环鑫半导体总排口DW0 (略) (略) ,最终 (略) (略) 理 (略) 理。

车间排口DW001总镍、总银排放浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》(#)中1类污染物排放限值要求;厂区总排口DW002排水水质pH、CODCr、SS、石油类、TOC、氨氮、总氮、总磷、LAS、氟化物等污染物排放浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》(#)中污染物排放限值,BOD5排放浓度须满足《污水综合排放标准》(DB12/356-2018)三级标准。

(三)室内各生产设备和室外风机、冷却塔等设备为主要噪声源,应优先选用低噪声设备,采取减振、隔声等措施,确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(#)3类、4类标准限值要求。

(四)固体废物分类收集。生活垃圾袋装收集, (略) 管理部门清运;废光刻胶、有机去胶废液、废#酮、废异#醇、废汞灯、镍银污泥、空玻璃试剂瓶、空塑料试剂瓶、废碱袋、废化学试剂、沾染废物、废酸、废活性炭纤维毡、废活性炭(含滤材)、含镍废液浓缩污泥、废油、铅酸蓄电池、废硼源(含醇废水、主要成分异#醇)、废塑料环、废硒鼓墨盒、废灯管、COD废液(在线监测装置)、氨氮废液(在线监测装置)属于危险废物,依托现有危险废物暂存间存储,定期交由有资质单 (略) 理;废芯粒及硅片/不合格硅片、废金属靶材及废金属片、纯水制备废树脂、废膜材料属于一般工业固体废物,由物资回 (略) 理。 (略) 置去向合理,避免产生二次污染。

(五)加强对危险物料的管理,制定应急预案,落实各项事故防范、减缓措施,有效避免事故发生。

公众参与情况

--

公示时间

2025年3月11日至2025年3月17日

(略) 政务服务办公室

2025年3月10日

1、天津滨海高新技术产 (略) 政务服务办公室按照《中华人民共和国环境影响评价法》《中华人民共和国行政许可法》《中华人民共和国政府信息公开条例》以及相关法规、规章和规定的要求,公示建设项目环境影响评价拟审批信息。

2、公示时限: 5个工作日。

3、公示期间,公众(包括个人、团体等)可以通过邮件或信函(以邮戳为准)方式提出意见。

邮箱:*@*ttp://**

信函请寄至天津滨海高新技术产 (略) 华苑科技园开华道20号,天津滨 (略) 政务服务办公室收(邮编:#)。请在信封上注明:TCL环鑫半导体(天津)有限公司节能型功率半导体芯片生产线建设项目的意见。

4、听证权利告知:依据《中华人民共和国行政许可法》,自公示起五日内申请人、利害关系人可提出听证申请。

5、相关资料由行政许可申请人提供、并以其所提交的形式进行公开。上述资料和信息中如有错漏,使用上述信息和资料作为依据者自行承担责任。

项目名称

节能型功率半导体芯片生产线建设项目

建设地点

天津滨海高新技术产 (略) 华 (略) (环外) (略) 12号

建设单位

TCL环鑫半导体(天津)有限公司

环境影响评价机构

津诚环安(天津) (略)

项目概况

TCL环鑫半导体(天津)有限公司,成立于2008年,原名天津 (略) 于2022年更名,位于天津滨海高新技术产 (略) 华 (略) (环外) (略) 12号。TCL环鑫半导体(天津)有限 (略) 环欧半 (略) 共用B座建筑,该公司拟投资#万元,建设节能型功率半导体芯片生产线建设项目,对B座车间现有6英寸功率半导体芯片生产线进行扩建,主要依托现有生产装置并增加超高温氧化炉、超高温退火炉、刻蚀机、高温离子注入机、等离子去胶机、蒸发台、C膜溅射、背面激光退火、激光退火炉、背面减薄机以及检测设备等设备数量,另有部分设备利用现有生产设备进行升级改造,生产设备合计约60台套。项目投产后现有6英寸SBD、VDMOS、TMBS、FRD功率芯片年产#片产能不变,新增6英寸FRD、IGBT节能型功率半导体芯片年产#片的生产能力。该项目环保投资#元,主要用于营运期废气收集及防治措施、环境风险防控、固体废物收集及贮存措施等。

主要环境影响及预防或者减轻不良环境影响的对策和措施

(一)涂胶、显影、有机去胶、胶盘清洗工序有机废气 (略) 收集后,依托现有1套“活性炭吸附-脱附+催化燃烧装置”净化后,经1根现有高度提高至28m排气筒P6排放;车 (略) 域酸碱废气 (略) 收集后,依托现有1套“二级碱液喷淋塔”净化后,经1根现有高度提高至28m排气筒P5排放;车 (略) 域酸碱废气 (略) 收集后,依托现有1套“三级碱液喷淋塔”净化后,经1根现有28m排气筒P9排放。

排气筒P6排放的二#苯、TRVOC、非#烷总烃的排放浓度及排放速率须满足《工业企业挥发性有机物排放控制标准》(DB12/524-2020)相关限值要求,酚类的排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(#)相关限值要求,臭气浓度、#酸#酯排放速率须满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)相关限值要求;排气筒P5排放的HCl、氟化物、氯气、硫酸雾、二氧化硫、氮氧化物、镍及其化合物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(#)相关限值要求,氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准(DB12/059-2018)相关限值要求;排气筒P9排放的HCl、氟化物、氯气、硫酸雾、二氧化硫、氮氧化物、镍及其化合物排放浓度及排放速率须满足《大气污染物综合排放标准》(#)相关限值要求,氨排放速率及臭气浓度须满足《恶臭污染物排放标准》(DB12/059-2018)相关限值要求。

(二)本项目酸碱废水、含氟废水、研磨废水依托中环股 (略) (略) 理,出水根据进水水量由中环股 (略) 理站出水池泵至环鑫半 (略) 污水总排口DW002;镍银生产废水依托现有环鑫镍 (略) (略) 理,废水经车间排口DW001 (略) (略) ,与经化粪池沉淀后的生活污水、清净下水(循环水排污水、超纯水/纯水制备排浓水)混合,一同通过环鑫半导体总排口DW0 (略) (略) ,最终 (略) (略) 理 (略) 理。

车间排口DW001总镍、总银排放浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》(#)中1类污染物排放限值要求;厂区总排口DW002排水水质pH、CODCr、SS、石油类、TOC、氨氮、总氮、总磷、LAS、氟化物等污染物排放浓度须满足《电子工业水污染物排放标准》(#)中污染物排放限值,BOD5排放浓度须满足《污水综合排放标准》(DB12/356-2018)三级标准。

(三)室内各生产设备和室外风机、冷却塔等设备为主要噪声源,应优先选用低噪声设备,采取减振、隔声等措施,确保厂界噪声满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(#)3类、4类标准限值要求。

(四)固体废物分类收集。生活垃圾袋装收集, (略) 管理部门清运;废光刻胶、有机去胶废液、废#酮、废异#醇、废汞灯、镍银污泥、空玻璃试剂瓶、空塑料试剂瓶、废碱袋、废化学试剂、沾染废物、废酸、废活性炭纤维毡、废活性炭(含滤材)、含镍废液浓缩污泥、废油、铅酸蓄电池、废硼源(含醇废水、主要成分异#醇)、废塑料环、废硒鼓墨盒、废灯管、COD废液(在线监测装置)、氨氮废液(在线监测装置)属于危险废物,依托现有危险废物暂存间存储,定期交由有资质单 (略) 理;废芯粒及硅片/不合格硅片、废金属靶材及废金属片、纯水制备废树脂、废膜材料属于一般工业固体废物,由物资回 (略) 理。 (略) 置去向合理,避免产生二次污染。

(五)加强对危险物料的管理,制定应急预案,落实各项事故防范、减缓措施,有效避免事故发生。

公众参与情况

--

公示时间

2025年3月11日至2025年3月17日

(略) 政务服务办公室

2025年3月10日

    
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