华力12英寸先进生产线建设项目新增辐射设备建设项目环境影响登记表
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华力12英寸先进生产线建设项目新增辐射设备建设项目环境影响登记表
| 华力 * 英寸先进生产线建设项目新增辐射设备 | |||
| (略) 市直辖市 (略) 区良腾路6号 | * | ||
| (略) 华力 (略) | 张素心 | ||
| 任俊百 | |||
| * | * | ||
| 点击查看>> | |||
| 新建 | |||
| (略) 华力 (略) * 英寸先进生产线建设项目新增1台辐射设备。1台全反射X射线荧光分析仪TXRF * ，位于Fab6 3楼 | |||
| 环保措施: X射线分析仪保护装置：1.1 屏壁金属层：机台具有两个独立腔体，分别为暂存腔与分析腔。腔体内均有防止幅射外泄的屏壁金属层；X射线管是安置在分析腔内。1.2 隔离匣门：样品传送区与暂存腔及暂存腔与分腔间各有 * 道隔离匣门且具有互锁功能；同 * 时间内只允许其中 * 道隔离匣门开启，否则会因互锁装置作动自动将X射线的电源关闭。1.3 铅玻璃金属门：操作区与样品传送区之间有铅玻璃金属门隔离。当上述互锁装置失效时仍能由此隔离门防止操作人员照射到外泄幅射。 | |||
| 华力 * 英寸先进生产线建设项目新增辐射设备 | |||
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| 环保措施: X射线分析仪保护装置：1.1 屏壁金属层：机台具有两个独立腔体，分别为暂存腔与分析腔。腔体内均有防止幅射外泄的屏壁金属层；X射线管是安置在分析腔内。1.2 隔离匣门：样品传送区与暂存腔及暂存腔与分腔间各有 * 道隔离匣门且具有互锁功能；同 * 时间内只允许其中 * 道隔离匣门开启，否则会因互锁装置作动自动将X射线的电源关闭。1.3 铅玻璃金属门：操作区与样品传送区之间有铅玻璃金属门隔离。当上述互锁装置失效时仍能由此隔离门防止操作人员照射到外泄幅射。 | |||
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