高端光掩模清洗变更项目建设项目环境影响登记表
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高端光掩模清洗变更项目建设项目环境影响登记表
| 高端光掩模清洗变更项目 | |||
| (略) 市直辖市 (略) 区宜山路 * 号 | * | ||
| 上 (略) | TERRY WAYNE RUSSELL | ||
| 李宇星 | |||
| * | * | ||
| 点击查看>> | |||
| 改建 | |||
| 为提高高端光掩模的良率，提高资料利用率，我司在研发楼新增1台板盒清洗机，并同时增加高端清洗机台中碱洗和纯水清洗的频次，因此增加了氨水和纯水的用量，预计平均小时新增碱洗/水洗废水量为9. * m3/h，每日新增废水量为 * .3t/d。由此，我司在提高良率的同时，减少了单片产品污染物排放和化学品/水的消耗。此外新增CD测量仪和UT修剪机，不涉及产排污。 | |||
| 生产废水 有环保措施: 新增的碱洗水和纯水采取酸碱中和措施后通过生产废水排口排放 (略) 理厂 | |||
| 高端光掩模清洗变更项目 | |||
| (略) 市直辖市 (略) 区宜山路 * 号 | * | ||
| 上 (略) | TERRY WAYNE RUSSELL | ||
| 李宇星 | |||
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| 为提高高端光掩模的良率，提高资料利用率，我司在研发楼新增1台板盒清洗机，并同时增加高端清洗机台中碱洗和纯水清洗的频次，因此增加了氨水和纯水的用量，预计平均小时新增碱洗/水洗废水量为9. * m3/h，每日新增废水量为 * .3t/d。由此，我司在提高良率的同时，减少了单片产品污染物排放和化学品/水的消耗。此外新增CD测量仪和UT修剪机，不涉及产排污。 | |||
| 生产废水 有环保措施: 新增的碱洗水和纯水采取酸碱中和措施后通过生产废水排口排放 (略) 理厂 | |||
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