阵列波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目
阵列波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目
项目名称 | 阵列波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目项目代码 | 点击查看>> - * - 点击查看>> | |
行业类别 | 制造业-计算机、通信和其他电子设备制造业 | 项目建设性质 | 扩建 |
项目建设地 | (略) 市- (略) 市 (略) 产业集聚区(含 (略) 经济开发区)-延河路 * 号 | 计划开工年限 | 点击查看>> |
估算总投资(万元) | * 0 | 计划完工年限 | 点击查看>> |
建设规模及内容 | 该项目在仕佳光电子产业园 (略) (略) 房, (略) 房改造,建设阵列波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目。工艺技术1:BPM模拟→AWG MASK制作→下包层制作→芯层制作→光刻刻蚀→上包层制作→芯片测试→耦合→测试→外观检验→补偿杆制作→耦合固化→测试检验;工艺技术2: * 次外延片→光栅和 * 次外延→芯片制作→后工艺→芯片封装→光耦合→器件封装;主要设备:MOCVD、LPCVD、涂胶机、去胶机、退火炉、光刻机、切割机等设备 * 余台(套)。
单位名称 | (略) 仕佳 (略) | 法人代表姓名 | 葛海泉 |
单位性质 | 股份制企业 |
(略) 门 | 审批事项 | 审批时间 | 审批结果 | 审批文号 | 监管告知信息 |
(略) 市 (略) 产业集聚区(含 (略) 经济开发区) (略) | 企业投资项目备案 | 点击查看>> | 已备案 | 点击查看>> - * - 点击查看>> | 暂无告知信息 |
项目名称 | 阵列波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目项目代码 | 点击查看>> - * - 点击查看>> | |
行业类别 | 制造业-计算机、通信和其他电子设备制造业 | 项目建设性质 | 扩建 |
项目建设地 | (略) 市- (略) 市 (略) 产业集聚区(含 (略) 经济开发区)-延河路 * 号 | 计划开工年限 | 点击查看>> |
估算总投资(万元) | * 0 | 计划完工年限 | 点击查看>> |
建设规模及内容 | 该项目在仕佳光电子产业园 (略) (略) 房, (略) 房改造,建设阵列波导光栅(AWG)及半导体激光器芯片、器件开发及产业化项目。工艺技术1:BPM模拟→AWG MASK制作→下包层制作→芯层制作→光刻刻蚀→上包层制作→芯片测试→耦合→测试→外观检验→补偿杆制作→耦合固化→测试检验;工艺技术2: * 次外延片→光栅和 * 次外延→芯片制作→后工艺→芯片封装→光耦合→器件封装;主要设备:MOCVD、LPCVD、涂胶机、去胶机、退火炉、光刻机、切割机等设备 * 余台(套)。
单位名称 | (略) 仕佳 (略) | 法人代表姓名 | 葛海泉 |
单位性质 | 股份制企业 |
(略) 门 | 审批事项 | 审批时间 | 审批结果 | 审批文号 | 监管告知信息 |
(略) 市 (略) 产业集聚区(含 (略) 经济开发区) (略) | 企业投资项目备案 | 点击查看>> | 已备案 | 点击查看>> - * - 点击查看>> | 暂无告知信息 |
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