中山大学南昌研究院-精密测量中心研发项目

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中山大学南昌研究院-精密测量中心研发项目


项目信息
备案项目编号 点击查看>> - * - 点击查看>>
项目名称 (略) (略) - (略) 研发项目
(略) 属区域 (略) 开发区
建设地点详情 (略) 省, (略) 市, (略) 国家 (略) 技术产业开发区
详细地址 (略) 省 (略) 市 (略) 区瑶湖西 * 路东口光电产业园精 (略)
项目总投资 * 万元
建设规模及内容精 (略) 将利 (略) 提 (略) (略) MEMS精密重力测量仪器的研发工作;置业 (略) 房面积包括:约 * 平米的洁净实验室、 * 平米的普通实验室以及约 * (略) 。置业公司将提供设备总价约 * 万(约 * 台套)。涉及的核心工艺流程主要包括硅片的光刻、镀膜、剥离、再光刻、刻蚀、键合、焊线、封装、环境模拟以及灵敏度测试的研究等。 (略) 投资预计在 * 万元,主要投资内容包括核心技术、研发工艺和知识产权。
建设单位 (略) (略)
开工时间 * 年
竣工时间 * 年
项目类型备案
备案状态已备案

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项目名称 (略) (略) - (略) 研发项目
(略) 属区域 (略) 开发区
建设地点详情 (略) 省, (略) 市, (略) 国家 (略) 技术产业开发区
详细地址 (略) 省 (略) 市 (略) 区瑶湖西 * 路东口光电产业园精 (略)
项目总投资 * 万元
建设规模及内容精 (略) 将利 (略) 提 (略) (略) MEMS精密重力测量仪器的研发工作;置业 (略) 房面积包括:约 * 平米的洁净实验室、 * 平米的普通实验室以及约 * (略) 。置业公司将提供设备总价约 * 万(约 * 台套)。涉及的核心工艺流程主要包括硅片的光刻、镀膜、剥离、再光刻、刻蚀、键合、焊线、封装、环境模拟以及灵敏度测试的研究等。 (略) 投资预计在 * 万元,主要投资内容包括核心技术、研发工艺和知识产权。
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