SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目

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SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目


    项目信息
    备案项目编号 点击查看>> - * - 点击查看>>
    项目名称SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目
    (略) 在地 (略) (略) (略) 文翰 (略) 面地块
    项目总投资 * 4.0万元
    项目规模及内容购置晶片 (略) 件 * 套,形成SiC外延炉、离子注入机、高温氧化炉、高温激活炉母机和工程机共 * 台;购进加工检测仪器和软件 * 台/套, (略) (略) 配套条件改造,实现SiC芯片成套装备产业化,年产能为 * 套。建设期间形成收入3.3亿元,满产后收入 * 亿元,利润6亿元。
    建设单位季华实验室
    备案机关 (略) 市 (略) 区 (略)
    备案申报日期 * 日
    复核通过日期 * 日
    项目起止年限 * 日- * 日
    项目当前状态办结(通过)

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    项目名称SiC芯片制造成套装备开发及产业化项目
    (略) 在地 (略) (略) (略) 文翰 (略) 面地块
    项目总投资 * 4.0万元
    项目规模及内容购置晶片 (略) 件 * 套,形成SiC外延炉、离子注入机、高温氧化炉、高温激活炉母机和工程机共 * 台;购进加工检测仪器和软件 * 台/套, (略) (略) 配套条件改造,实现SiC芯片成套装备产业化,年产能为 * 套。建设期间形成收入3.3亿元,满产后收入 * 亿元,利润6亿元。
    建设单位季华实验室
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