第三代半导体衬底及装备产业化项目（二期）
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第三代半导体衬底及装备产业化项目（二期）
| 项目信息 | |
|---|---|
| 备案项目编号 | 点击查看>> - * - 点击查看>> |
| 项目名称 | 第 * 代半导体衬底及装备产业化项目（ * 期） |
| (略) 在地 | (略) 市 (略) 湖工业北路4号 |
| 项目总投资 | * 6.0万元 |
| 项目规模及内容 | 本项目计划投资4. * 亿元，建 (略) 房 * (略) 务配套工程，总建筑面积约为 * 5平方米，拟购置生产设备 * 台（套），建设 * 条双腔4英寸PSS生产线，达产后产能达到 * 万片/月（按4英寸计算），主要设备包括匀胶机、曝光机、显影机、ICP刻蚀机、ADI/AOI自动光学检测设备、雷刻机等。 |
| 建设单位 | (略) 市中 (略) |
| 备案机关 | (略) 市 (略) (略) |
| 备案申报日期 | * 日 |
| 复核通过日期 | * 日 |
| 项目起止年限 | * 日- * 日 |
| 项目当前状态 | 办结（通过） |
| 项目信息 | |
|---|---|
| 备案项目编号 | 点击查看>> - * - 点击查看>> |
| 项目名称 | 第 * 代半导体衬底及装备产业化项目（ * 期） |
| (略) 在地 | (略) 市 (略) 湖工业北路4号 |
| 项目总投资 | * 6.0万元 |
| 项目规模及内容 | 本项目计划投资4. * 亿元，建 (略) 房 * (略) 务配套工程，总建筑面积约为 * 5平方米，拟购置生产设备 * 台（套），建设 * 条双腔4英寸PSS生产线，达产后产能达到 * 万片/月（按4英寸计算），主要设备包括匀胶机、曝光机、显影机、ICP刻蚀机、ADI/AOI自动光学检测设备、雷刻机等。 |
| 建设单位 | (略) 市中 (略) |
| 备案机关 | (略) 市 (略) (略) |
| 备案申报日期 | * 日 |
| 复核通过日期 | * 日 |
| 项目起止年限 | * 日- * 日 |
| 项目当前状态 | 办结（通过） |
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