ReRAM工艺技术设备技改的项目

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ReRAM工艺技术设备技改的项目



项目名称

ReRAM工艺技术设备技改的项目

中央代码/地方代码

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立项类型

备案

行政区划

火炬管委会

项目类型

其他

法人单位

(略) 半导体 (略)

登记日期

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建设性质

新建

(略) 业

集成电路设计

投资目录

企业投资项目备案

(略) 业

高技术

拟开工时间

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拟建成时间

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建设地点

(略) 区

建设规模及内容

其他:购置半导体工艺专用设备,主要包括PVD 溅射台、金属刻蚀机、ALD 生长设备、介质层生长、Spacer 刻蚀、独立工艺线附属设备(清洗机等)等

总投资(万元)

* 9. * 万元(其中设备及技术投资: * 9. * 万元进口设备、技术用汇: * .0万元)


项目名称

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中央代码/地方代码

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法人单位

(略) 半导体 (略)

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(略) 业

集成电路设计

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企业投资项目备案

(略) 业

高技术

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建设地点

(略) 区

建设规模及内容

其他:购置半导体工艺专用设备,主要包括PVD 溅射台、金属刻蚀机、ALD 生长设备、介质层生长、Spacer 刻蚀、独立工艺线附属设备(清洗机等)等

总投资(万元)

* 9. * 万元(其中设备及技术投资: * 9. * 万元进口设备、技术用汇: * .0万元)
    
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