武汉大学2020年8至9月政府采购意向-高真空蒸发镀膜设备

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武汉大学2020年8至9月政府采购意向-高真空蒸发镀膜设备


高真空蒸发镀膜设备
(略) 在采购意向： (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：高真空蒸发镀膜设备
预算金额： * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：
A 点击查看>> 真空应用设备
采购需求概况：
(1)采购标的名称:高真空蒸发镀膜设备(2)采购标的需实现的主要功能或者目标:真空镀膜室极限真空度：3E-5 Pa，基板加热至 * °。电子束及电阻热烝镀系统配有电子束蒸发源6个坩埚，配有热蒸发水冷电极3个，蒸发距离可调。衬底承载系统3套，采用公转方式，膜厚均匀性达 +-3%。样品尺寸直径不大于 * mm。(3)采购标的数量: * 台(4)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:（1）属于高端薄膜物理沉积设备。实现 * 氧化硅, * 氧化钛, * 氧化铪, * 氧化 * 钽, 铝,钛,银,金,铂等材料的蒸发镀膜。主要用于低维微腔发光器件的科学研究，对多层氧化物薄膜器件的制备是必不可少的设备。(2）1台。（3）真空镀膜室极限真空度：3E-5 Pa，基板加热至 * °。电子束及电阻热烝镀系统配有电子束蒸发源6个坩埚，配有热蒸发水冷电极3个，蒸发距离可调。衬底承载系统3套，采用公转方式，膜厚均匀性达 +-3%。样品尺寸直径不大于 * mm。服务包括安装调试、检修和保修1年。
预计采购时间： 点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。



高真空蒸发镀膜设备
(略) 在采购意向： (略) * 月政府采购意向
采购单位： (略)
采购项目名称：高真空蒸发镀膜设备
预算金额： * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：
A 点击查看>> 真空应用设备
采购需求概况：
(1)采购标的名称:高真空蒸发镀膜设备(2)采购标的需实现的主要功能或者目标:真空镀膜室极限真空度：3E-5 Pa，基板加热至 * °。电子束及电阻热烝镀系统配有电子束蒸发源6个坩埚，配有热蒸发水冷电极3个，蒸发距离可调。衬底承载系统3套，采用公转方式，膜厚均匀性达 +-3%。样品尺寸直径不大于 * mm。(3)采购标的数量: * 台(4)采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求:（1）属于高端薄膜物理沉积设备。实现 * 氧化硅, * 氧化钛, * 氧化铪, * 氧化 * 钽, 铝,钛,银,金,铂等材料的蒸发镀膜。主要用于低维微腔发光器件的科学研究，对多层氧化物薄膜器件的制备是必不可少的设备。(2）1台。（3）真空镀膜室极限真空度：3E-5 Pa，基板加热至 * °。电子束及电阻热烝镀系统配有电子束蒸发源6个坩埚，配有热蒸发水冷电极3个，蒸发距离可调。衬底承载系统3套，采用公转方式，膜厚均匀性达 +-3%。样品尺寸直径不大于 * mm。服务包括安装调试、检修和保修1年。
预计采购时间： 点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。


    
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