上海交通大学2020年9月政府采购意向-晶圆对准键合系统
上海交通大学2020年9月政府采购意向-晶圆对准键合系统
晶圆对准键合系统 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 年9月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 晶圆对准键合系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 分析仪器 |
采购需求概况: | 标的:晶圆对准键合系统;主要功能:用于MEMS及生物芯片、以及光电混合集成Si-Si键合及Si-玻璃等的Si-Si键合及Si-玻璃键合的必要设备数量:1套;质量:带晶圆及掩模版对准、曝光系统;可键合基片:6",4",3",破片;最大压力: * kN;带温控热吸盘:RT- * C;可实现热压及阳极键合;服务:1年质保;安全:无特别要求。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
晶圆对准键合系统 | |
(略) 在采购意向: | (略) * 年9月政府采购意向 |
采购单位: | (略) |
采购项目名称: | 晶圆对准键合系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 分析仪器 |
采购需求概况: | 标的:晶圆对准键合系统;主要功能:用于MEMS及生物芯片、以及光电混合集成Si-Si键合及Si-玻璃等的Si-Si键合及Si-玻璃键合的必要设备数量:1套;质量:带晶圆及掩模版对准、曝光系统;可键合基片:6",4",3",破片;最大压力: * kN;带温控热吸盘:RT- * C;可实现热压及阳极键合;服务:1年质保;安全:无特别要求。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
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