起偏器及检偏器系统等招标预告
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起偏器及检偏器系统等招标预告
| 起偏器及检偏器系统等 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 起偏器及检偏器系统等 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | *椭偏角度测量范围：Ψ：0o- * o，Δ：0o– * o，全角度范围无测量死角、并可 * 次测量完成。*光谱范围： * nm - * nm，覆盖紫外、可见光、近红外段，全光谱范围内自动测量。高度、倾斜度可调节的样品载物台，直径 * mm样品尺寸：可测量最大6英寸直径样片，样品最大厚度8 mm*膜厚测量范围：至少1 nm - * μm可测量层数：单层膜、多层膜，软件上对层数无限制。*黑白 CCD 摄像头，1.3 百万像素，带照明和成像光学件*入射角范围： * ° - * °，准确度优于 0. * ° 椭偏测量准确度：δ(Ψ) ≤ ±0. * °， δ(Δ) ≤ ±0. * °膜厚测量精度：≤ 0. * nm ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）折射率n测量精度：≤ 0. * ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）测量时间：< * 秒 （测量整个光谱范围内的Ψ / Δ曲线，不少于 * 个波长点）设备配置要求：*光源：氘灯-卤素钨灯组合灯泡（深紫外-可见光段）+ 傅里叶红外光谱仪FTIR的卤素灯泡（近红外段）。测量光斑：直径1.5 mm ~ 3 mm，可调节。*起偏器：计算机控制，光学棱镜，消光率1 x * -6，角度精度优于0. * °。*检偏器（分析器）：采用步进扫描分析器技术，测 (略) 件的运动/转动、具有高信噪比。计算机控制，光学棱镜，消光率1 x * -6，角度精度优于0. * °。探测器：深紫外-可见光段：高灵敏度硅CCD阵列探测器，像素分辨率< 0.5 nm近红外段：傅里叶红外光谱仪FTIR，光谱分辨率1 ~ * cm-1补偿器：全光谱范围内采用宽带补偿器，消除测量死区dead spot。*样品台：样品水平放置、真空吸附，样品台直径 * mm；*样品准直：配置精密的样品准直透镜ACT和光学显微镜，用于样品的高度和倾斜度（俯仰）自动调节、实现高度和俯仰的自动准直。样品观测：配置视频摄像头Camera，可对 (略) 显微观测。控制器机箱：模块化设计；可通过微控制器控 (略) 分硬件；计算机与控制器之 (略) 网口联接。计算机：台式商用PC机， (略) 理器，内存≥ 4 GB，硬盘≥ * G， (略) 卡、键盘和鼠标等，Windows操作系统；≥ * 吋平板液晶显示器。椭偏测量/分析软件：软件应功能强大、材料数据库丰富、易于使用； (略) 材料组分、梯度不均匀性、表面和界面粗糙度、以及各向异性特性的分析； (略) 理真实样品的各种特性，如退偏、非均匀性、散射、背反射等；软件应能方便、快速地输出测量结果；软件应包括交互式操作模式和Recipe操作模式； |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 起偏器及检偏器系统等 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 起偏器及检偏器系统等 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他仪器仪表 |
| 采购需求概况： | *椭偏角度测量范围：Ψ：0o- * o，Δ：0o– * o，全角度范围无测量死角、并可 * 次测量完成。*光谱范围： * nm - * nm，覆盖紫外、可见光、近红外段，全光谱范围内自动测量。高度、倾斜度可调节的样品载物台，直径 * mm样品尺寸：可测量最大6英寸直径样片，样品最大厚度8 mm*膜厚测量范围：至少1 nm - * μm可测量层数：单层膜、多层膜，软件上对层数无限制。*黑白 CCD 摄像头，1.3 百万像素，带照明和成像光学件*入射角范围： * ° - * °，准确度优于 0. * ° 椭偏测量准确度：δ(Ψ) ≤ ±0. * °， δ(Δ) ≤ ±0. * °膜厚测量精度：≤ 0. * nm ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）折射率n测量精度：≤ 0. * ( * nm SiO2/Si标准片，1 Sigma标准偏差）测量时间：< * 秒 （测量整个光谱范围内的Ψ / Δ曲线，不少于 * 个波长点）设备配置要求：*光源：氘灯-卤素钨灯组合灯泡（深紫外-可见光段）+ 傅里叶红外光谱仪FTIR的卤素灯泡（近红外段）。测量光斑：直径1.5 mm ~ 3 mm，可调节。*起偏器：计算机控制，光学棱镜，消光率1 x * -6，角度精度优于0. * °。*检偏器（分析器）：采用步进扫描分析器技术，测 (略) 件的运动/转动、具有高信噪比。计算机控制，光学棱镜，消光率1 x * -6，角度精度优于0. * °。探测器：深紫外-可见光段：高灵敏度硅CCD阵列探测器，像素分辨率< 0.5 nm近红外段：傅里叶红外光谱仪FTIR，光谱分辨率1 ~ * cm-1补偿器：全光谱范围内采用宽带补偿器，消除测量死区dead spot。*样品台：样品水平放置、真空吸附，样品台直径 * mm；*样品准直：配置精密的样品准直透镜ACT和光学显微镜，用于样品的高度和倾斜度（俯仰）自动调节、实现高度和俯仰的自动准直。样品观测：配置视频摄像头Camera，可对 (略) 显微观测。控制器机箱：模块化设计；可通过微控制器控 (略) 分硬件；计算机与控制器之 (略) 网口联接。计算机：台式商用PC机， (略) 理器，内存≥ 4 GB，硬盘≥ * G， (略) 卡、键盘和鼠标等，Windows操作系统；≥ * 吋平板液晶显示器。椭偏测量/分析软件：软件应功能强大、材料数据库丰富、易于使用； (略) 材料组分、梯度不均匀性、表面和界面粗糙度、以及各向异性特性的分析； (略) 理真实样品的各种特性，如退偏、非均匀性、散射、背反射等；软件应能方便、快速地输出测量结果；软件应包括交互式操作模式和Recipe操作模式； |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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