浙江大学2020年11月政府采购意向-MEMS键合加工系统等
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浙江大学2020年11月政府采购意向-MEMS键合加工系统等
| MEMS键合加工系统等 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | MEMS键合加工系统等 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 试验箱及气候环境试验设备 |
| 采购需求概况： | * 、MEMS键合加工系统1玻璃硅片尺寸4，5，6inch圆片，本机台定4inch2双层阳极键合2片玻璃键合在1片硅片两面3温度范围室温- * ℃，<1℃4压力范围0-5KN5电压范围DC0- * V,<1V6极限真空<2.0* * -6Torr7动态压力控制 * - * Torr，<1Torr8卡盘控制腔室内可控制硅片升降及电极切换操作9自动腔盖翻盖式自动密闭腔盖,Leak<1* * -9Pa.m3/s * 、传感器加工气体腔室1腔室大小 * (长)x * (宽)x * (高)2传递腔大腔内径 * mm，长度 * mm3传递腔小腔内径 * mm，长度 * mm4净化等级百级5水氛围控制H2O﹤1ppm6氧氛围控制O2﹤1ppm7腔压设定- * mbar~+ * mbar8腔室漏率对外<0. * Vol%/h，日消耗N2< * L9氛围气体配置控制N2，Ar，Xe气体按比例自由混合控制，精度<1%F.S * 、磁屏蔽筒1体积D=0.5m，长度0.5m2剩磁剩磁小于0.5nT3噪音噪音小于 * fT4均匀性均匀区：L不小于 * (略) 发生器可根据需求定制6其它整体 * 层结构，外层铝合金，中间 * 层高导磁坡莫合金，内层有机玻璃管， * 端封底， * 端活盖，两端具有直径 * mm的开孔；配件：配有消磁器和底座 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| MEMS键合加工系统等 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | MEMS键合加工系统等 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 试验箱及气候环境试验设备 |
| 采购需求概况： | * 、MEMS键合加工系统1玻璃硅片尺寸4，5，6inch圆片，本机台定4inch2双层阳极键合2片玻璃键合在1片硅片两面3温度范围室温- * ℃，<1℃4压力范围0-5KN5电压范围DC0- * V,<1V6极限真空<2.0* * -6Torr7动态压力控制 * - * Torr，<1Torr8卡盘控制腔室内可控制硅片升降及电极切换操作9自动腔盖翻盖式自动密闭腔盖,Leak<1* * -9Pa.m3/s * 、传感器加工气体腔室1腔室大小 * (长)x * (宽)x * (高)2传递腔大腔内径 * mm，长度 * mm3传递腔小腔内径 * mm，长度 * mm4净化等级百级5水氛围控制H2O﹤1ppm6氧氛围控制O2﹤1ppm7腔压设定- * mbar~+ * mbar8腔室漏率对外<0. * Vol%/h，日消耗N2< * L9氛围气体配置控制N2，Ar，Xe气体按比例自由混合控制，精度<1%F.S * 、磁屏蔽筒1体积D=0.5m，长度0.5m2剩磁剩磁小于0.5nT3噪音噪音小于 * fT4均匀性均匀区：L不小于 * (略) 发生器可根据需求定制6其它整体 * 层结构，外层铝合金，中间 * 层高导磁坡莫合金，内层有机玻璃管， * 端封底， * 端活盖，两端具有直径 * mm的开孔；配件：配有消磁器和底座 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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