(略)
(略)
*
年
*
月采购意向项目政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展
政府采购意向公开工作的通知》（财库〔
*
〕
*
号）等有关规
定， (略)
*
年
*
月采购意向项目采购意向公开如下
：
序
号
采购项目
名称
采购品目
采购需求概况
预算
金额
（万
元）
预 计
采 购
时间
备注
1
MEMS
键
合加工系
统等
A 点击查看>>
3
试验箱及
气候环境试
验设备
* 、
MEMS
键 合 加 工 系 统
1
玻 璃 硅 片 尺 寸
4
，
5
，
6inch
圆片，本机
台
定
4inch
2
双层阳极键合
2
片玻璃
键 合 在
1
片 硅 片 两 面
3
温度范围
室 温
-
* °C
，
<1°C
4
压力范围
0-5KN
5
电压范围
DC0-
* V,<1V
6
极限真空
<2.0* * -
6Torr
*
* -
*

7
动态压力控制
* -
* Torr
，
<1Torr
8
卡盘控制
腔室内可控
制 硅 片 升 降 及 电 极 切 换 操 作
9
自动腔盖
翻盖式自动
密 闭 腔 盖
,Leak<1* * -9Pa.m3/s
* 、 传 感 器 加 工 气 体 腔 室
1
腔 室 大 小
* (
长
)x * (
宽
)x * (
高
)
2
传递腔大腔
内 径
* mm
， 长 度
* mm
3
传递腔小腔
内 径
*
mm
， 长 度
* mm
4
净化等级
百 级
5
水氛围控制
H2O﹤1ppm
6
氧氛围控制
O2﹤1ppm
7
腔压设定
-
* mbar~+ * mbar
8
腔室漏率
对 外
<0. * Vol%/h
，日消耗
N2< * L
9
氛 围 气 体 配 置 控 制
N2
，
Ar
，
Xe
气体按比例自

由 混 合 控 制 ， 精 度
<1%F.S
* 、 磁 屏 蔽 筒
1
体积
D=0.5m
，长度
0.5m
2
剩磁
剩 磁 小 于
0.5nT
3
噪音
噪 音 小 于
* fT
4
均匀性
均匀区：
L
不小于
* mm
5
磁场发生器
可根据需求
定
制
6
其它
整体 * 层结构，外层
铝合金，中间 * 层高导磁坡莫合金，
内层有机玻璃管， * 端封底， * 端活
盖，两端具有直径
* mm
的开孔；
配件：配有消磁器和底座
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体
(略) 和采购文件为准。
(略)
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(略)
(略)
*
年
*
月采购意向项目政府采购意向
为便于供应商及时了解政府采购信息，根据《 (略) 关于开展
政府采购意向公开工作的通知》（财库〔
*
〕
*
号）等有关规
定， (略)
*
年
*
月采购意向项目采购意向公开如下
：
序
号
采购项目
名称
采购品目
采购需求概况
预算
金额
（万
元）
预 计
采 购
时间
备注
1
MEMS
键
合加工系
统等
A 点击查看>>
3
试验箱及
气候环境试
验设备
* 、
MEMS
键 合 加 工 系 统
1
玻 璃 硅 片 尺 寸
4
，
5
，
6inch
圆片，本机
台
定
4inch
2
双层阳极键合
2
片玻璃
键 合 在
1
片 硅 片 两 面
3
温度范围
室 温
-
* °C
，
<1°C
4
压力范围
0-5KN
5
电压范围
DC0-
* V,<1V
6
极限真空
<2.0* * -
6Torr
*
* -
*

7
动态压力控制
* -
* Torr
，
<1Torr
8
卡盘控制
腔室内可控
制 硅 片 升 降 及 电 极 切 换 操 作
9
自动腔盖
翻盖式自动
密 闭 腔 盖
,Leak<1* * -9Pa.m3/s
* 、 传 感 器 加 工 气 体 腔 室
1
腔 室 大 小
* (
长
)x * (
宽
)x * (
高
)
2
传递腔大腔
内 径
* mm
， 长 度
* mm
3
传递腔小腔
内 径
*
mm
， 长 度
* mm
4
净化等级
百 级
5
水氛围控制
H2O﹤1ppm
6
氧氛围控制
O2﹤1ppm
7
腔压设定
-
* mbar~+ * mbar
8
腔室漏率
对 外
<0. * Vol%/h
，日消耗
N2< * L
9
氛 围 气 体 配 置 控 制
N2
，
Ar
，
Xe
气体按比例自

由 混 合 控 制 ， 精 度
<1%F.S
* 、 磁 屏 蔽 筒
1
体积
D=0.5m
，长度
0.5m
2
剩磁
剩 磁 小 于
0.5nT
3
噪音
噪 音 小 于
* fT
4
均匀性
均匀区：
L
不小于
* mm
5
磁场发生器
可根据需求
定
制
6
其它
整体 * 层结构，外层
铝合金，中间 * 层高导磁坡莫合金，
内层有机玻璃管， * 端封底， * 端活
盖，两端具有直径
* mm
的开孔；
配件：配有消磁器和底座
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体
(略) 和采购文件为准。
(略)
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