光学3D表面轮廓仪招标预告
光学3D表面轮廓仪招标预告
光学3D表面轮廓仪 | |
(略) 在采购意向: | 中国 (略) 学院 * 年 * 月政府采购意向 |
采购单位: | 中国 (略) 学院 |
采购项目名称: | 光学3D表面轮廓仪 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 光学测试仪器 |
采购需求概况: | 1.采用白光干涉原理。2.光源:白光LED3.影像系统不低于 * .干涉物镜不少于 * ×, * ×5.光学ZOOM:1×6.物镜塔台不低于5孔,电动控制。7.XY位移平台:尺寸≥ * × * ㎜,移动范围≥ * × * ㎜,负载≥ * kg,光栅闭环反馈,电动/手动控制兼容。8.水平调整≤±4.5°,手动控制或电动控制。9. (略) 程≥ * mm,控制方式:电动。 * .Z向扫描范围≥ * mm * .Z向分辨率≤0.1nm * .可测样品反射率:0. * %~ * % * .粗糙度RMS重复性≤0. * nm * .台阶测量准确度≤0.7%,重复性≤0.1% 1σ * .具有EPSI扫描模式,可高精度、大范围测量,适用于超 (略) 有类型表面。 * .具有镜头防撞保护模块:软件ZSTOP设置功能、硬件机械电子传感器。 * .具有环境噪声评价功能模块。 * .具有 * 通道气浮隔震模块:可手动充气、可空压机充气、可外接气源充气。 * .具备自动对焦、自动测量功能。 * .具备自动多区域测量、自动拼接测量功能. * .具备分析功能:参数分析、几何分析、结构分析、频率分析、功能分析。 * .具有预编程功能,可 * 键分析测量数据. * .具有批量数据的多文件分析功能。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
光学3D表面轮廓仪 | |
(略) 在采购意向: | 中国 (略) 学院 * 年 * 月政府采购意向 |
采购单位: | 中国 (略) 学院 |
采购项目名称: | 光学3D表面轮廓仪 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 光学测试仪器 |
采购需求概况: | 1.采用白光干涉原理。2.光源:白光LED3.影像系统不低于 * .干涉物镜不少于 * ×, * ×5.光学ZOOM:1×6.物镜塔台不低于5孔,电动控制。7.XY位移平台:尺寸≥ * × * ㎜,移动范围≥ * × * ㎜,负载≥ * kg,光栅闭环反馈,电动/手动控制兼容。8.水平调整≤±4.5°,手动控制或电动控制。9. (略) 程≥ * mm,控制方式:电动。 * .Z向扫描范围≥ * mm * .Z向分辨率≤0.1nm * .可测样品反射率:0. * %~ * % * .粗糙度RMS重复性≤0. * nm * .台阶测量准确度≤0.7%,重复性≤0.1% 1σ * .具有EPSI扫描模式,可高精度、大范围测量,适用于超 (略) 有类型表面。 * .具有镜头防撞保护模块:软件ZSTOP设置功能、硬件机械电子传感器。 * .具有环境噪声评价功能模块。 * .具有 * 通道气浮隔震模块:可手动充气、可空压机充气、可外接气源充气。 * .具备自动对焦、自动测量功能。 * .具备自动多区域测量、自动拼接测量功能. * .具备分析功能:参数分析、几何分析、结构分析、频率分析、功能分析。 * .具有预编程功能,可 * 键分析测量数据. * .具有批量数据的多文件分析功能。 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
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