-离子束抛光机招标预告

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离子束抛光机
(略) 在采购意向：中 (略) * 年 * 月政府采购意向
采购单位：中 (略)
采购项目名称：离子束抛光机
预算金额： * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：
A 点击查看>> 其他专用仪器仪表
采购需求概况：
1. 主真空室：a) 加工的样品口径≥ * mm；高度≥ * mm；b) 可承载的工件最大≥ * kg；c) 工件重复装卡定位精度≤0.1mm； d) 极限真空：< 1? * -3pa；e) 工作真空度：< 1.5? * -2pa；f) 整个加工腔体达到工作真空度的抽真空时间：≤1.5 hours。2. 运动机构：3轴3联动运动模式， X、Y、Z * 轴联动，可自由设定原点与零点；a) X、 (略) 程：≥ * mm；b) (略) 程：≥ * mm；c)定位精度： X、Y、Z直线轴定位精度：≤?0. * mm；d) X、Y、Z直线轴重复定位精度：≤?0. * mm；e) 运动速度：直线轴快速移动速度： * mm/min3. 离子源：采用成熟的 * . * MHz射频离子源或空心阴极离子源；a) 去除函数形状为高斯型；b) 离子束输出束斑口径分档可调，涵盖5- * mm（FWHM）；c)离子最大能量：≥ * eV；d) 在长时连续工作时具有良好的去除函数稳定性，1 (略) 程峰值去除效率稳定性误差低于 * %，体积去除效率稳定性误差低于5%，FWHM稳定性优于0.3mm，束流等关键参数稳定性优于1%。4. 可加工面型：平面、球面、非球面5. 可加工基底：融石英、ULE、Si、SiC等材料
预计采购时间： 点击查看>>
备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。


离子束抛光机
(略) 在采购意向：中 (略) * 年 * 月政府采购意向
采购单位：中 (略)
采购项目名称：离子束抛光机
预算金额： * . 点击查看>> 万元(人民币)
采购品目：
A 点击查看>> 其他专用仪器仪表
采购需求概况：
1. 主真空室：a) 加工的样品口径≥ * mm；高度≥ * mm；b) 可承载的工件最大≥ * kg；c) 工件重复装卡定位精度≤0.1mm； d) 极限真空：< 1? * -3pa；e) 工作真空度：< 1.5? * -2pa；f) 整个加工腔体达到工作真空度的抽真空时间：≤1.5 hours。2. 运动机构：3轴3联动运动模式， X、Y、Z * 轴联动，可自由设定原点与零点；a) X、 (略) 程：≥ * mm；b) (略) 程：≥ * mm；c)定位精度： X、Y、Z直线轴定位精度：≤?0. * mm；d) X、Y、Z直线轴重复定位精度：≤?0. * mm；e) 运动速度：直线轴快速移动速度： * mm/min3. 离子源：采用成熟的 * . * MHz射频离子源或空心阴极离子源；a) 去除函数形状为高斯型；b) 离子束输出束斑口径分档可调，涵盖5- * mm（FWHM）；c)离子最大能量：≥ * eV；d) 在长时连续工作时具有良好的去除函数稳定性，1 (略) 程峰值去除效率稳定性误差低于 * %，体积去除效率稳定性误差低于5%，FWHM稳定性优于0.3mm，束流等关键参数稳定性优于1%。4. 可加工面型：平面、球面、非球面5. 可加工基底：融石英、ULE、Si、SiC等材料
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备注：

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。

    
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