原子层沉积系统招标预告
原子层沉积系统招标预告
原子层沉积系统 | |
(略) 在采购意向: | 中 (略) * 年 * 月政府采购意向 |
采购单位: | 中 (略) |
采购项目名称: | 原子层沉积系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
采购需求概况: | 名称: 原子层沉积系统数量: 1台主要功能:最大样品尺寸6英寸;最高温度: * ?C;含5路液态前驱物源系统;含1路臭氧前驱体源;含自动传样的进样腔;目标:沉积器件加工钝化介电层、绝缘层,如氧化铝、氧化硅、氧化铪;质保期: 1年以上售后维保:国内必须设有维护点; * 小时维修响应 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
原子层沉积系统 | |
(略) 在采购意向: | 中 (略) * 年 * 月政府采购意向 |
采购单位: | 中 (略) |
采购项目名称: | 原子层沉积系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
采购需求概况: | 名称: 原子层沉积系统数量: 1台主要功能:最大样品尺寸6英寸;最高温度: * ?C;含5路液态前驱物源系统;含1路臭氧前驱体源;含自动传样的进样腔;目标:沉积器件加工钝化介电层、绝缘层,如氧化铝、氧化硅、氧化铪;质保期: 1年以上售后维保:国内必须设有维护点; * 小时维修响应 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
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