中国科学院2020年12月政府采购意向-光谱型椭偏仪
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中国科学院2020年12月政府采购意向-光谱型椭偏仪
| 光谱型椭偏仪 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) 微系统与信 (略) |
| 采购项目名称： | 光谱型椭偏仪 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 光谱型椭偏仪，1台， * 万元。该设备主要用于超导集成工艺开发过程中对 * 氧化硅、氮化硅绝缘层薄膜、超导薄膜、各类光刻胶的光学常数、厚度及厚度分布自动测量，反馈指导成膜单元工艺、光刻单元工艺优化，支撑超导大规模集成电路和超导芯片开发。 (略) 购设备为光谱型，波长范围从紫外（≤ * nm）到近红外（≥ * nm）； 配备自动样品台（自动mapping功能），至少支持6英寸晶圆片；角度器范围至少 * - * 度，角度重复性优于0. * 度；具备反射式膜厚测试，CCD相机观察样品表面等功能；具有良好的技术支持，售后服务和零配件供应有保障。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | (略) (略) 微系统与信 (略) |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 光谱型椭偏仪 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) 微系统与信 (略) |
| 采购项目名称： | 光谱型椭偏仪 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他光学仪器 |
| 采购需求概况： | 光谱型椭偏仪，1台， * 万元。该设备主要用于超导集成工艺开发过程中对 * 氧化硅、氮化硅绝缘层薄膜、超导薄膜、各类光刻胶的光学常数、厚度及厚度分布自动测量，反馈指导成膜单元工艺、光刻单元工艺优化，支撑超导大规模集成电路和超导芯片开发。 (略) 购设备为光谱型，波长范围从紫外（≤ * nm）到近红外（≥ * nm）； 配备自动样品台（自动mapping功能），至少支持6英寸晶圆片；角度器范围至少 * - * 度，角度重复性优于0. * 度；具备反射式膜厚测试，CCD相机观察样品表面等功能；具有良好的技术支持，售后服务和零配件供应有保障。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | (略) (略) 微系统与信 (略) |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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