浙江大学2020年12月政府采购意向-光刻机
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浙江大学2020年12月政府采购意向-光刻机
| 光刻机 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：双面紫外光刻机主要功能目标：设备可以通过精密的光学系统，将光源发出的光变 (略) 光，照射到含有图形的石英玻璃板上（也称为掩模版），进而将掩模版上图形投影到掩模版下方的晶圆或者芯片上，使得在晶圆或者芯片上的预先涂布的光刻胶( * 种对紫外光敏感的聚合物)发生光化学反应，然后通过后续的显影工序，将掩模版上的图形转移到晶圆和芯片上，通过这种 (略) 微小结构的图形转移。 设备还可以将掩模版上的图形和晶圆或者芯片上已 (略) 对准，以实现不同图形之间依次套刻的作用。数量：1需满足的质量服务安全时限等：保修两年，终身维护。提供光刻机的必要培训和使用介绍。交货期5个月内。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 光刻机 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 光刻机 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 采购标的名称：双面紫外光刻机主要功能目标：设备可以通过精密的光学系统，将光源发出的光变 (略) 光，照射到含有图形的石英玻璃板上（也称为掩模版），进而将掩模版上图形投影到掩模版下方的晶圆或者芯片上，使得在晶圆或者芯片上的预先涂布的光刻胶( * 种对紫外光敏感的聚合物)发生光化学反应，然后通过后续的显影工序，将掩模版上的图形转移到晶圆和芯片上，通过这种 (略) 微小结构的图形转移。 设备还可以将掩模版上的图形和晶圆或者芯片上已 (略) 对准，以实现不同图形之间依次套刻的作用。数量：1需满足的质量服务安全时限等：保修两年，终身维护。提供光刻机的必要培训和使用介绍。交货期5个月内。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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