湖南大学2020年12月政府采购意向-原子层沉积系统
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湖南大学2020年12月政府采购意向-原子层沉积系统
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 1.采购标的名称：原子层沉积系统2.采购标的需实现的主要功能或者目标：用于制备高性能光电器件和集成芯片中 (略) 效应管（MOSFET）的Al2O3, La2O3, Y2O3等各种高 κ 电介质层材料3.采购标的数量：1套4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：可在晶圆、平面物体及粉末、颗粒和多孔的基底材料上镀膜；循环周期小于2秒；可快速加热和冷却的冷壁真空反应腔；可快速更换基底材料并与其他设备集成。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年 * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> |
| 采购需求概况： | 1.采购标的名称：原子层沉积系统2.采购标的需实现的主要功能或者目标：用于制备高性能光电器件和集成芯片中 (略) 效应管（MOSFET）的Al2O3, La2O3, Y2O3等各种高 κ 电介质层材料3.采购标的数量：1套4.采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求：可在晶圆、平面物体及粉末、颗粒和多孔的基底材料上镀膜；循环周期小于2秒；可快速加热和冷却的冷壁真空反应腔；可快速更换基底材料并与其他设备集成。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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