南京航空航天大学2020年11至12月政府采购意向-高真空电子束沉积系统
南京航空航天大学2020年11至12月政府采购意向-高真空电子束沉积系统
高真空电子束沉积系统 | |
(略) 在采购意向: | 南 (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | 南 (略) |
采购项目名称: | 高真空电子束沉积系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 其他真空获得及应设备 |
采购需求概况: | ★1、4 英寸范围内薄膜厚度均匀性优于± 3%★2、蒸镀腔室(配备进口冷泵和前级干泵) 极限真空度优于2 × * -7 Torr★3、进样腔室 极限真空度优于5 × * -7 Torr★4、样品台配置水冷装置、可旋转★5、进口电子束蒸发源,功率>5kW,坩埚数量不少于4个★6、蒸镀过程即时化显示,带安全互锁★7、 * L或以上等级不锈钢真空腔室,包括观察窗口、样品传输口等必须法兰口★8、配置国际知名品牌的泵组和宽程真空计★9、可更换的不锈钢腔体内衬不少于 * 套 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: | 刘老师 点击查看>> |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
高真空电子束沉积系统 | |
(略) 在采购意向: | 南 (略) * 月政府采购意向 |
采购单位: | 南 (略) |
采购项目名称: | 高真空电子束沉积系统 |
预算金额: | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
采购品目: | A 点击查看>> 其他真空获得及应设备 |
采购需求概况: | ★1、4 英寸范围内薄膜厚度均匀性优于± 3%★2、蒸镀腔室(配备进口冷泵和前级干泵) 极限真空度优于2 × * -7 Torr★3、进样腔室 极限真空度优于5 × * -7 Torr★4、样品台配置水冷装置、可旋转★5、进口电子束蒸发源,功率>5kW,坩埚数量不少于4个★6、蒸镀过程即时化显示,带安全互锁★7、 * L或以上等级不锈钢真空腔室,包括观察窗口、样品传输口等必须法兰口★8、配置国际知名品牌的泵组和宽程真空计★9、可更换的不锈钢腔体内衬不少于 * 套 |
预计采购时间: | 点击查看>> |
备注: | 刘老师 点击查看>> |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排, (略) 和采购文件为准。
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