清华大学2021年1月政府采购意向-脉冲激光沉积和磁控溅射联用系统
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清华大学2021年1月政府采购意向-脉冲激光沉积和磁控溅射联用系统
| 脉冲激光沉积和磁控溅射联用系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 脉冲激光沉积和磁控溅射联用系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购系统 (略) 件及功能：1、PLD 主腔室 2、进样室进样室用于取放品及靶材，并将再次传送到主腔进样室 用于取放品及靶材，并将再次传送到主腔进样室 用于取放品及靶材，并将再次传送到主腔进样室磁力传样杆1套；3、气路系统含有O2和Ar共2个工艺气路，不锈钢内抛光气管气路；4、样品台加热类型：辐射加热（适合氧气铂金加热丝）；采用基片在上、溅射靶材在下的结构；5、PLD靶台系统靶材尺寸及数量：φ1英寸×6个；6、 (略) 件7、控制系统8、激光光路系统9、水冷系统 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 脉冲激光沉积和磁控溅射联用系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 年1月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 脉冲激光沉积和磁控溅射联用系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 真空应用设备 |
| 采购需求概况： | 拟采购系统 (略) 件及功能：1、PLD 主腔室 2、进样室进样室用于取放品及靶材，并将再次传送到主腔进样室 用于取放品及靶材，并将再次传送到主腔进样室 用于取放品及靶材，并将再次传送到主腔进样室磁力传样杆1套；3、气路系统含有O2和Ar共2个工艺气路，不锈钢内抛光气管气路；4、样品台加热类型：辐射加热（适合氧气铂金加热丝）；采用基片在上、溅射靶材在下的结构；5、PLD靶台系统靶材尺寸及数量：φ1英寸×6个；6、 (略) 件7、控制系统8、激光光路系统9、水冷系统 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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