华中科技大学2021年1至6月政府采购意向-磁控溅射
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华中科技大学2021年1至6月政府采购意向-磁控溅射
| 磁控溅射 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 磁控溅射 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 设备名称：磁控溅射数量： * 台技术参数：1、整机分为溅射工艺腔、样品传输腔和控制机柜组成；2、兼容8英寸以下衬底及碎片，8英寸范围内镀膜厚度均匀性小于±5%；3、工艺腔体极限真空优于1* * E-6 Torr；4、配备全量程真空计和大气压传感器；5、支持氩气、氧气、氮气 * 路气体；6、4个4英寸溅射靶枪，配备不小于 * W的射频电源和不小于 * W的直流电源7、样品台最大加热温度不低于 * 度，支持样品台旋转。售后服务：2年免费保修，电话报修后 * 小时内给出解决方案。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 磁控溅射 | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 磁控溅射 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | 设备名称：磁控溅射数量： * 台技术参数：1、整机分为溅射工艺腔、样品传输腔和控制机柜组成；2、兼容8英寸以下衬底及碎片，8英寸范围内镀膜厚度均匀性小于±5%；3、工艺腔体极限真空优于1* * E-6 Torr；4、配备全量程真空计和大气压传感器；5、支持氩气、氧气、氮气 * 路气体；6、4个4英寸溅射靶枪，配备不小于 * W的射频电源和不小于 * W的直流电源7、样品台最大加热温度不低于 * 度，支持样品台旋转。售后服务：2年免费保修，电话报修后 * 小时内给出解决方案。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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