高密度等离子体增强化学气相沉积系统招标预告
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高密度等离子体增强化学气相沉积系统招标预告
| (略) 度等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) 物 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) 物 (略) |
| 采购项目名称： | (略) 度等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | (略) 度等离子体增强化学气相沉积系统在半导体、氧化物和有机衬底上快速和低温（ 低于 * 摄氏度）沉积高质量低应力低损伤氮化硅、氧化硅、α-硅、SiC等功能材料。例如在制造光波导器件时需要沉积低应力厚膜，国产设备由于应力控制不够低，所以沉积膜厚超过 * um以后就会因应力产生裂纹和衬底变形，不能满足需要。1、电源系统：ICP射频源+RIE射频源；2、真空系统：干泵+分子泵组合，带传送腔；3、样品尺寸：不小于4寸；4、温度控制：下电极带背氦冷；5、气路系统：不少于8路工艺气路 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| (略) 度等离子体增强化学气相沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | (略) (略) 物 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) (略) 物 (略) |
| 采购项目名称： | (略) 度等离子体增强化学气相沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | 电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况： | (略) 度等离子体增强化学气相沉积系统在半导体、氧化物和有机衬底上快速和低温（ 低于 * 摄氏度）沉积高质量低应力低损伤氮化硅、氧化硅、α-硅、SiC等功能材料。例如在制造光波导器件时需要沉积低应力厚膜，国产设备由于应力控制不够低，所以沉积膜厚超过 * um以后就会因应力产生裂纹和衬底变形，不能满足需要。1、电源系统：ICP射频源+RIE射频源；2、真空系统：干泵+分子泵组合，带传送腔；3、样品尺寸：不小于4寸；4、温度控制：下电极带背氦冷；5、气路系统：不少于8路工艺气路 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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