A 点击查看>> 射线式分析仪器

1.名称：X射线光电子能谱仪。2.需实现的主要功能：1） (略) 含元素种类分析，除H、He以外；2）元素化学态（或称价）分析；3）各元素及其化学态定量分析；4）荷电中和枪：半导体、绝缘样品的准确分析；5）XPS成像：对样品表面的元素及 (略) 快速 mapping；6）微区分析功能：可实现最小 * μm微区采谱、成像分析，可针对某些特 微区采谱、成像分析，可针对某些特 (略) 分析；7）深度剖析：分各元素及其化学态在 (略) 的布以界层8）UPS：样品功函数值测试，表面吸附脱、态分析半导体价带结构分析。3.采购数量：1台。4.需满足的技术指标：1）分析器半径： * mm2）能量扫描范围：0~ * eV3）通过能范围： * ~ * eV4）束斑大小： * ~ * μm5）最小分辨率：≤0.5 eV6）空间分辨率：≤ * μm7）刻蚀能量范围：0.2~4 keV8）UPS能量分辨率：≤ * meV9）极限真空：优于7* * - * mbar

A 点击查看>> 射线式分析仪器

1.名称：X射线光电子能谱仪。2.需实现的主要功能：1） (略) 含元素种类分析，除H、He以外；2）元素化学态（或称价）分析；3）各元素及其化学态定量分析；4）荷电中和枪：半导体、绝缘样品的准确分析；5）XPS成像：对样品表面的元素及 (略) 快速 mapping；6）微区分析功能：可实现最小 * μm微区采谱、成像分析，可针对某些特 微区采谱、成像分析，可针对某些特 (略) 分析；7）深度剖析：分各元素及其化学态在 (略) 的布以界层8）UPS：样品功函数值测试，表面吸附脱、态分析半导体价带结构分析。3.采购数量：1台。4.需满足的技术指标：1）分析器半径： * mm2）能量扫描范围：0~ * eV3）通过能范围： * ~ * eV4）束斑大小： * ~ * μm5）最小分辨率：≤0.5 eV6）空间分辨率：≤ * μm7）刻蚀能量范围：0.2~4 keV8）UPS能量分辨率：≤ * meV9）极限真空：优于7* * - * mbar