原子层沉积系统招标预告
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原子层沉积系统招标预告
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | 中 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中 (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 采购设备将用于硅基半导体量子点量子芯片的样品制备工艺。硅基量子芯片采用层叠型栅电极工艺，不同功能的栅电极互相交错堆叠，栅电极之间需要保持较好的绝缘性，因此需采购 * 台原子层沉积系统，用于生长高质量的氧化铝薄膜，作为栅电极之间的绝缘介质。 (略) 生长的氧化铝薄膜需具有良好的均匀性，以保证从不同方向和角度对栅电极包覆。同时氧化铝薄膜需具有较高的绝缘质量，5纳米厚度薄膜漏电流<1pA,击穿电压需达到5V以上；采购数量为1台。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 原子层沉积系统 | |
| (略) 在采购意向： | 中 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中 (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积系统 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 采购设备将用于硅基半导体量子点量子芯片的样品制备工艺。硅基量子芯片采用层叠型栅电极工艺，不同功能的栅电极互相交错堆叠，栅电极之间需要保持较好的绝缘性，因此需采购 * 台原子层沉积系统，用于生长高质量的氧化铝薄膜，作为栅电极之间的绝缘介质。 (略) 生长的氧化铝薄膜需具有良好的均匀性，以保证从不同方向和角度对栅电极包覆。同时氧化铝薄膜需具有较高的绝缘质量，5纳米厚度薄膜漏电流<1pA,击穿电压需达到5V以上；采购数量为1台。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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