ICP-RIE加工平台招标预告
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ICP-RIE加工平台招标预告
| ICP-RIE 加工平台 | |
| (略) 在采购意向： | 中 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中 (略) |
| 采购项目名称： | ICP-RIE 加工平台 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 申报ICP-RIE加工系统主要用于微流控器件相关的石英、玻璃材料等微纳米结构和固体量子器件加工，利用微加工技术，在玻璃、硅、高分子材料等基片上制作各种微泵、微阀、微反应器、微过滤器等微流控功能器件，将生物、化 (略) 涉及的样品制备、反应、分离、检测及细胞培养、分选、裂解等基本操作单元集成到 * 块几微米到平方厘米的芯片上，由 (略) 络，用以控制流体贯穿整个系统，从而取代常规生物或化学实验室各种功能的 * 种技术平台。由于石英和玻璃具有良好的电渗和优良的光学性质，其表面吸附和表面反应能力都有利于表面改性，因此它是制作微流控芯片中微流体管道最常用的材料，而ICP——RIE加工系统是制作微流控器件必备设备之 * 。ICP离子源功率大于 * W，可以刻蚀石英，硅片，SiC等。支持6英寸及小片刻蚀，刻蚀均 * 性在5%以内。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| ICP-RIE 加工平台 | |
| (略) 在采购意向： | 中 (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中 (略) |
| 采购项目名称： | ICP-RIE 加工平台 |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： | A 点击查看>> 其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况： | 申报ICP-RIE加工系统主要用于微流控器件相关的石英、玻璃材料等微纳米结构和固体量子器件加工，利用微加工技术，在玻璃、硅、高分子材料等基片上制作各种微泵、微阀、微反应器、微过滤器等微流控功能器件，将生物、化 (略) 涉及的样品制备、反应、分离、检测及细胞培养、分选、裂解等基本操作单元集成到 * 块几微米到平方厘米的芯片上，由 (略) 络，用以控制流体贯穿整个系统，从而取代常规生物或化学实验室各种功能的 * 种技术平台。由于石英和玻璃具有良好的电渗和优良的光学性质，其表面吸附和表面反应能力都有利于表面改性，因此它是制作微流控芯片中微流体管道最常用的材料，而ICP——RIE加工系统是制作微流控器件必备设备之 * 。ICP离子源功率大于 * W，可以刻蚀石英，硅片，SiC等。支持6英寸及小片刻蚀，刻蚀均 * 性在5%以内。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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