原子层沉积(ALD) 招标预告
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原子层沉积(ALD) 招标预告
| 原子层沉积(ALD) | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积(ALD) |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A 点击查看>> 其他电工电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： |
PEALD(等离子增强原子层沉积)，支持氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡、氮化钛沉积。等离子、NH3、O3源，多路固体源.氧化铪、氧化铝等氧化物、氮化物薄膜制备，分子层级别的沉积，速率稳定，台阶覆盖能力超级好。最高温度可到 * ~ * 度。最高速度可达2秒/周期约0.1nm镀膜。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
| 原子层沉积(ALD) | |
| (略) 在采购意向： | (略) * 月政府采购意向 |
| 采购单位： | (略) |
| 采购项目名称： | 原子层沉积(ALD) |
| 预算金额： | * . 点击查看>> 万元(人民币) |
| 采购品目： |
A 点击查看>> 其他电工电子专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： |
PEALD(等离子增强原子层沉积)，支持氧化铝、氧化铪、氧化锌、氧化锡、氮化钛沉积。等离子、NH3、O3源，多路固体源.氧化铪、氧化铝等氧化物、氮化物薄膜制备，分子层级别的沉积，速率稳定，台阶覆盖能力超级好。最高温度可到 * ~ * 度。最高速度可达2秒/周期约0.1nm镀膜。 |
| 预计采购时间： | 点击查看>> |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排， (略) 和采购文件为准。
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